SU508825A1 - Травитель дл растворени слоевсурьм но-силикатного стекла и двуо-киси кремни - Google Patents
Травитель дл растворени слоевсурьм но-силикатного стекла и двуо-киси кремниInfo
- Publication number
- SU508825A1 SU508825A1 SU2030162A SU2030162A SU508825A1 SU 508825 A1 SU508825 A1 SU 508825A1 SU 2030162 A SU2030162 A SU 2030162A SU 2030162 A SU2030162 A SU 2030162A SU 508825 A1 SU508825 A1 SU 508825A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- etchant
- silicon
- silicate glass
- hydrofluoric acid
- mol
- Prior art date
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
силикатного стекла и двуокиси кремни , содержащей воду и фтористоводородную кислоту , введен йодистый а:ммоний, а компоненты травител вз ты в следующем соотношении, моль/л:
Фтористоводородна кислота 18,34-27,34 Вода (деио,низованна )0,06-11,11
йодистый аммоний0,03- 9,00
Травитель обеспечивает полное удаление слоев сурьм но-силикатного стекл-а и двуокиси К1рем и с поверхности кремни без возниюновени на последнем окрашенных пленок как при наличии обоих слоев, так по отдельности .
Пример 1. Травитель, изготовленный согласно изобретению, содержит, моль/л: Фтористоводородна кислота 27,34 Вода (дeиcfI изolвaннa )0,06
Иод истый аммоний0,03
Приготовление травител производитс следующим образом.
Первоначально готовитс 50%-ный водный раствор NH4I, получаемый при растворении 0,03 мол NHil (1 г) в 0,06 мол дионизованной воды (1 Мл). Затем полученный раствор смешиваетс с 27,34 мол фтористоводородной кислоты (999 мл HF, конц. 48%).
Врем травлени слоев сурьм но-силикатного стекла и двуокисей кремни , обща толщи)на которых равна 0,36 мкм, составл ет примерно 1 минуту.
Призер 2. Травитель содержит, моль/л: Фто1ристоводородна кислота 18,34 Дежюнизованна вода11,11
Йодистый а.м-моний9,00
Способ ориготовлени этого травител аналопичен описанному в примере 1.
Врем травлени слоев сурьм но-силикатного стекла и двуокиси иремни толщиной 0,32 мкм составл ет примерно 1,5 мин.
Пример 3. Травитель содержит, моль/л: Фтористоводородна кислота 27,09 ДеиоН|Изованна вода0,56
Йоднстый ам1моний0,07
Пер1воначально готовитс 20%-ный водный раствор NH4I, 10 мл которого смешиваетс с
27,09 мол фторисюводородной кислоты (990 мл HF, конд, 48%).
Врам Т равлени слоев сурьм но-силикатного стекла и двуокиси кремни толщиной
0,56 MiKM сосггавл ет около I мин.
Растворение указанных сл.рев происходит без образовани окрашенных пленок на поверхности кремни при использовании всех описанных составов.
При содержании в травителе йодистого аммони менее 0,03 мол /литр трааитель не обеспечивает достижение поставленной цели, т. е. происходит образование окрашенных пленок. При содержании в травителе фтористоводородной кислоты менее 18,34 мол /литр значительно возрастает врем травлени (примерно в 2-3 раза), поэтому максимально возможное содержание йодистого аммони в травителе может составить 9,00 мол /литр.
При таком содержании йодистого аммони его водный раствор в 11,11 мол х воды оказываетс насыщенным.
Наиболее целесообразным представл етс травйтель, приготовленный по при-меру 3.
Этот травитель содержит мало йодистого аммони и довольно много фтористоводородной кислоты, что обеспечивает достижение постав- ленной цели прн довольно высокой скорости травлени .
Claims (1)
- Формула изобретениТравитель дл растворени слоев сурьм но-оиликатного стекла и двуокиси кремни с поверхности кремниевой полупроводниковой пластины, содержащий воду и фтористоводородную кислоту, отличающийс тем, что, с целью предотвращен1и образовани окрашенных пленок на поверхности кремни , в него введен йодистый ам.мовий, а компоненты травител вз ты в следующем соотношении, моль/л:Фтористоводородна кислота 18,34-27,34Вода (деионизованна )0,06-11,11Йодистый аммоний0,03- 9,00
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2030162A SU508825A1 (ru) | 1974-06-03 | 1974-06-03 | Травитель дл растворени слоевсурьм но-силикатного стекла и двуо-киси кремни |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2030162A SU508825A1 (ru) | 1974-06-03 | 1974-06-03 | Травитель дл растворени слоевсурьм но-силикатного стекла и двуо-киси кремни |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU508825A1 true SU508825A1 (ru) | 1976-03-30 |
Family
ID=20586495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2030162A SU508825A1 (ru) | 1974-06-03 | 1974-06-03 | Травитель дл растворени слоевсурьм но-силикатного стекла и двуо-киси кремни |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU508825A1 (ru) |
-
1974
- 1974-06-03 SU SU2030162A patent/SU508825A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4171242A (en) | Neutral pH silicon etchant for etching silicon in the presence of phosphosilicate glass | |
| Greenhalgh et al. | The determination of fluorides in natural waters, with particular reference to sea water | |
| US4113551A (en) | Polycrystalline silicon etching with tetramethylammonium hydroxide | |
| SU471402A1 (ru) | Травильный раствор | |
| Bertocci et al. | Equilibria between tri-n-octylamine and some mineral acids | |
| GB1213588A (en) | A process for the production of stable silicate solutions | |
| SU508825A1 (ru) | Травитель дл растворени слоевсурьм но-силикатного стекла и двуо-киси кремни | |
| GB1588843A (en) | Etching composition | |
| Fairbrother et al. | 961. Water-soluble complexes of niobium (columbium) and tantalum. Part I. Complexes with α-hydroxy-acids and (2-hydroxyethyl)-amines | |
| Schweitzer et al. | The solvent extraction of zinc with dithizone | |
| JP2000160367A (ja) | エッチレートが高速化されたエッチング液 | |
| CN111925801A (zh) | 高选择比氮化硅蚀刻液，其制备方法及应用 | |
| SU391613A1 (ru) | Травитель для снятия пленок титана | |
| SU816983A1 (ru) | Травильный раствор | |
| SU137113A1 (ru) | Способ получени высокодисперсного и гидрофобного порошка кремнезема | |
| SU111623A1 (ru) | Способ изготовлени порошкообразного сорбента | |
| JPS5256869A (en) | Production of semiconductor element | |
| SU380586A1 (ru) | Способ определения сульфата натрия | |
| KR930005920B1 (ko) | 반도체 소자의 세척액 제조방법 | |
| Neogi et al. | V.—Period of induction in chemical reactions. Interaction of mercuric chloride and sodium hydrogen carbonate | |
| Dacre | Solutions in oleum. Part 3.—Cryoscopic behaviour of acids, bases and salts in disulphuric acid | |
| SU1074327A1 (ru) | Травитель дл кремни | |
| SU557434A1 (ru) | Анизотропный травитель | |
| SU860645A1 (ru) | Полирующий травитель дл полупроводниковых кристаллов и способ травлени | |
| SU1082821A1 (ru) | Способ получени минерального дубител |