SU557434A1 - Анизотропный травитель - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области электронной техники, а именно, к технологии производства полупроводниковых приборов. Оно может быть использовано при анизотроном травлении кремни  в процессе произвол ства полупроводниковых структур с диэлектрической изол цией.

Известен анизотропный травитель кремни  ij , состо щий из гидроокиси кали  или натри  и воды. Недостатком травите- л   вл етс  неудовлетворительное качество вытравленного рельефа,

Наиболее близким техническим решением  вл етс  анизотропный гразигель 2 пре

имущественно дл  кремни  с ориентацией (100), содержаший, вес.%: гидроокись шелочного металла, например кали , 50 и вод 50.

Недостатком травител   вл етс  низкое полирующее действие в кристаллографической плоскости (100), что приводит к образованию дефектов травлени  в плоскости дна вытравливаемого рельефа в виде пира-. МИД с гран ми (Ш).

Целью изобретени   вл етс  повышение полирующего действи  в направлении ц оскости (100) дл  широкого диапазона глубин вытравливаемого рельефа.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в травитель дополнительно введена перекись водорода при следующем соотношении компо нентов, вес.%:

Гидроокись кали 2-15

Перекись водорода0,3-4,0

Вода97.6-81,0

Использование предложенного анизотропного травител  кремни  позвол ет повысить чистоту поверхности дна вытравливаемых впадин (плотность пирамид с гран ми (Ш) составл ет менее 10 см ); при этом скорость травлени  кремни  в направлении плоскости (10О) равЕШ 0,2-1,5 мкм/мин при температуре травител  80-2 С.

Пример 1. Травитель составлен из следующих компонентов, вес.%: Гидроокись кали 2,5

Перекись водорода0,4

Деконизованна  вода97,1

Claims (2)

1. В кварцевом стакане приготавливают 1 л 2,5%-ного водного раствора гидроокиси каа  , приливают 3,5 мл 30%-ного раствора перек св водорода. Смесь нагревают в стакане, закрытом водоохлаждаемой крышкой, до температуры 8О-2 С. Затем в нагретую смесь помешаю одастины кремни  КДБ-4,5 с ориентацией .поверхности в плоскости (100) и с защитной маской из двуокиси кремни  толщиной 0,8 мкм.. Элементы защитной маски выполнены в виде окон пр моугольной формы с размерами сторон 160х8О мкм. В течение 30 мин травлени  образуетс  рельеф глу 1иной 40 мкм, при этом средн   скорость травлени  кремни  составл ет , 1,3 мкм /мин. Поверхность рельефа выгл дит зеркальной (дефекты в виде пирамид с гран ми (Ш) лаблюдаютс  редко, плотность их не превышает 1О см). Оценка качества поверхности микрорелье фа проводилась с помощью микроинтерферометра МИИ-4. Пример 2. Проводилось травление такихже, какв примере 1, кремниевых плас тин в травителе состава, вес.%: Гидроокись кали 8,0 Перекись водорода2,0 Деионизованна  вода 9О,О Температуру травител  поддерживают на уровне 8О i 2 С, при этом скорость травлени  кремни  равна 0,6 мкм/мин. Поверхность дна впадип аыгл цит зеркальной, плот ность пирамид с гран ми (Ш) составл ет 0,8 . 1О± см . Пример 3. Проводилось травление таких же, как и в примерах 1, 2, кремниевы пластин в травителе состава (вес.%): 34 Г шроокись .кали 15 П4рекись водорода4 Деиониэованна  вода81 Температуру травител  поддерживают на уровне 80 2 С, при этом средн   скорость травлени  кремни  равна 0,2 мкм/мин. По верхность дна отверстий выгл дит зеркальной (плотность пирамвд с гран ми ( Ш ) составл ет 0,3 . 10 см. Травитель обеспечивает высокое качест во вытравливаемого рельефа и позвол ет повысить процент выхода годных структур на операции вытравливани  релье Формула изобретени  Анизхэтропный травитель, преимущественно дл  кремни  с ориентацией (100), содержащий гидроокись щелочного металла, например кали , и воду, отличаюшийс   тем, что, с целью повышени  его полируюшего действи  в направлении плоскости (1ОО) дл  широкого диапазона глубин вытравливаемого рельефа, он дополнитель но содержит перекись водорода при еледующем соотношении компонентов, вес.%: Гидроокись кали 2-15 Перекись водорода 0,3-4 Вода81-97,7 i . , .1 Источники информаичи, прин тые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 352539,. С 01 В 33/02, 1974.
2. 2.Патент Японии № 48-26568, кл. 99 (5) С 3, 1974.