SU433252A1

SU433252A1 - Испаритель

Info

Publication number: SU433252A1
Application number: SU1680384A
Authority: SU
Original assignee: В. В. Горбачев, В. Г. Дзевалтовский , Г. П. Жариков Ордена Ленина институт кибернетики
Priority date: 1971-07-16
Filing date: 1971-07-16
Publication date: 1974-06-25

Description

1

Изобретение относитс к электронной технике , а именно к устройствам дл нанесени покрытий в вакууме носредством термического испарени , и может найти .применение в технологии пленочных элементов электронных схем.

Известны испарители, содержащие тигель, разделенный перегородками из материала тигл на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испар емых компонент , и нагреватели, расположенные в секци х тигл и служащие дл поддержани заданной температуры испарени дл каждой компоненты .

Однако известные испарители не обеспечивают стабилизацию конденсата пленок заданного состава.

Целью изобретени вл етс обеспечение стабилизации конденсата пленок заданного состава.

Дл этого поперечные сечени секций тигл выбраны в соответствии с требуемым соотношением парциальных давлений паров компонент .

На чертеже приведена схема конструкции испарител .

Испаритель содержит вакуумную камеру 1, манипул тор 2 с подложками а кассетах 3, имеющий отверстие-4-тЦл$.арохода..паров конденсируемого на подложках материала, заслонку 5, испаритель 6 с тиглем, разделенным коаксиальной перегородкой на секции 7 и 8, нагревателем 9 и термопарой 10.

Устройство работает следующим образом.

В секции 7 и 8 испарител 6 загружаютс навески компонент испар емых материалов, например в секцию 7 загружаетс л елезо, а в секцию 8 - никель. После откачки вакуумной камеры 1 испаритель 6 нагреваетс нагревателем 9 до заданной температуры, контролируемой термопарой 10. Открываетс заслонка 5 и поочередным продвижением кассет 3 над отверстием 4 в манипул торе 2 производитс конденсаци сплава на поверхности подложек.

Требуемое соотношение парциальных давлений паров компонент достигают за счет подбора соотношени площадей испарени (площадей горизонтального сечени секций тигл ) и температуры испарени . При изменении температуры испарени соотношение парциальных давлений паров компонент . измен етс вследствие различи в зависимости от скоростей испарени компонент материалов от температуры .

Усредненное рассто ние от разных участков площадей испарени каждой секции до поверхности подлол ек практически одинаково и, следовательно,-одинаково соотношение парциальных давлений паров компонент над разными участками поверхности подложек и одинаков состав конденсата по площади подложек .

При расположении испарител б .под центром отверсти 4 в манипул торе 2, усредненный УГОЛ .падени пучков паров компонент максимально приближен к нормали к поверхности лодложек. При этом «тени на кра х элементов, конденсируемых через трафарет, минимальны. Минимальна также и анизотропи , возникающа в магнитных пленках вследствие косого угла падени пучков пара на поверхность подложек.

Предмет изобретени

Испаритель, содержащий тигель, разделенный .перегородками из .материала тигл на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испар емых компонент, и нагреватели, служан;ие дл поддержани заданной температуры испарени , отличающийс тем, что, с целью обеспечени стабилизации конденсата пленок заданного состава, по.перечные сечени секций тигл выбраны в соответствии с требуемым соотношением парциальных давлений паров компонент.