SU430878A1

SU430878A1 - METHOD OF REGULATING THE POWER OF THE BESTIGELUM ZONE MELTING

Info

Publication number: SU430878A1
Application number: SU1344402A
Authority: SU
Original assignee: В. М. Бындин, Г. С. Новиков , Д. Г. Ратников
Priority date: 1969-07-14
Filing date: 1969-07-14
Publication date: 1974-06-05

Description

Изобретение относитс к металлургии кремни и других материалов, подвергаюпшхс бестигельной зонной плавке.This invention relates to the metallurgy of silicon and other materials, subject to crucibleless zone melting.

Известны способы регулировани мон;ности бестигельной зонной плавки путем регулировани диаметра слитка.Methods are known for controlling the monolithiness of a crucibleless zone melting by adjusting the diameter of the ingot.

Дл получени монокристаллов с заданными структурными и электрофизическими свойствами необходимо в процессе бестигельной зонной плавки поддерживать не только заданное поперечное сечение зоны, но и ее определенную высоту, а также положение фронта кристаллизации.To obtain single crystals with given structural and electrophysical properties, it is necessary to maintain in the process of crucibleless zone melting not only a predetermined cross section of the zone, but also its definite height, as well as the position of the crystallization front.

Цель изобретени - получение монокристаллов с улучшенными физическими свойствами - достигаетс тем, что по предлагаемому способу стабилизируют положение фронта кристаллизации изменением мощности нагрева .The purpose of the invention — the production of single crystals with improved physical properties — is achieved by stabilizing the position of the crystallization front by varying the heating power of the proposed method.

При использовании функциональной зависимости между диаметром выращиваемого монокристалла и оптимальной высотой зоны можно автоматически измен ть мощность нагревател , оптимальную дл выращиваемого в данный момент диаметра слитка. При этом все другие параметры плавки (изменившеес напр жение сети, скорость прохода, рассто ние от конца слитка и т. п.) на высоту зоныWhen using the functional relationship between the diameter of the single crystal being grown and the optimal zone height, the power of the heater can be automatically changed, which is optimal for the ingot diameter currently being grown. At the same time, all other melting parameters (varied net voltage, passage speed, distance from the end of the ingot, etc.) to the height of the zone

22

вли ть не будут, зона будет оставатьс оптимальной .there will be no influence, the zone will remain optimal.

На чертенке представлена схема регулировани , с помощью которой реализуетс предлагаемый способ.The imp is a control scheme with which the proposed method is implemented.

Схема состоит из датчика 1, например фотоэлектрического или телевизионного, блока 2 задатчика, блока 3 сравнени , исполнительного устройства 4 и генератора 5.The circuit consists of a sensor 1, for example, a photoelectric or television, a control unit 2, a comparison unit 3, an actuator 4 and a generator 5.

Граница между зоной 6, созданной при помощи нагревател (индуктора) 7, и твердой частью 8 (выход фронта кристаллизации на поверхность) наблюдаетс при помощи датчика . В блоке сравнени сигнал с датчикаThe boundary between zone 6 created using a heater (inductor) 7 and a solid part 8 (crystallization front surface) is monitored with a sensor. In the comparison block, the signal from the sensor

сравниваетс с эталонным сигналом и подаетс на исполнительное устройство 4, которое обеспечивает соотвегствующую регулировку генератора 5, измен ющую мощность нагревател .is compared with the reference signal and fed to the actuator 4, which provides the appropriate adjustment of the generator 5, which changes the power of the heater.

Предмет изобретени Subject invention

Способ регзлировани мощности бестигельной зонной плавки путем регулировани диаметра слитка, отличающийс тем, что, с целью получени монокристаллов с улучшенными физическими свойствами, стабилизируют положение- фронта кристаллизации изменением мощности нагрева.The method of reglating the power of the crucibleless zone melting by adjusting the diameter of the ingot, characterized in that, in order to obtain single crystals with improved physical properties, they stabilize the position of the crystallization front by varying the heating power.