SU361228A1 - Испаритель металла, реагирующего с вольфрамом - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к области занесени  покрытий в вакууме.

Известен испаритель металла, реагирующего с вольфрамом, содержащий нагреватель из вольфрамовой проволоки и тигель с испар емым веществом. Однако в этом испарителе затруднена очистка его и зар дка испар емым металлолг.

Цель изобретени  - создание испарител , в котором нагреватель из вольфрама был бы отделен от испар емого металла. Это достигаетс  тем, что нагреватель выполнен в виде плоской спирали и помещен внутри тигл , выполненного в виде колпачка из керамики, на наружной поверхности дна которого расположен испар емый металл, а на внутренней - нанесено покрытие из вольфрама.

На чертеже представлен испаритель, общий вид.

Испаритель состоит из нагревател  У В виде плоской спирали, и помещенного внутри тигл  2, выполненного в виде колпачка из керамики , па наружной поверхности дна которого расположен испар емый металл, а на внутренней - нанесено покрытие из вольфрама.

На спираль -надет тонкостенный колпачок из нитрида бора, на дно которого сверху -кладетс  зар д алюмини  в виде фольги или пластинки . Така  форма зар да благопри тствует быстрой теплопередаче от раскаленного нагревател  через тонкостенный колпачок к испар емому металлу.

Плавление и испарение протекает быстро, причем металл испар етс  в широком телесном угле, что благопри тствует получению сло  равномерной толщины на больших поверхност х . Вольфрам полностью отделен от алюм.ини , благодар  чему нагреватель служит долго. Так как нагреватель находитс  внутри испарител , то при монтаже нового испарител  не имеет места перенос случайных загр знений с -нагревател  иа поверхности оптических деталей, благодар  чему уже перва  парти  деталей получаетс  с нормальным сцеплением сло  металла с подложкой, не нарушаемым при механических воздействи х на слой.

Укладка нового зар да алюмини  на испаритель не составл ет труда. Конструкци  испарител  не исключает возможности подзар да его алюминием известными способами без нарушени  вакуума. Колпачок, служащий испарителем , теплоизолирует помещенный внутри него нагреватель. Дл  еще лучшей теплоизол ции можно цилиндрическую поверхность колпачка окружить металлическим экраном из любого тугоплавкого металла, а под колпачком поставить зеркало, например алюмннированное стекло, отражающее радиацию внутрь колпачка.

3 Пред м е т изобретени 

Р1спаритель металла, реагирующего с вольфрамом , содержащий нагреватель из вольфрамовой проволоки и тигель, отличающийс  тем, что, с целью отделени  нагревател  от вольфрама от испар емого металла и удобства зар дки, испар етс  испар емым металлом, нагреватель выполнен в виде плоской сппрали и помещен внутри тигл , на наружной поверхности дна которого нанесено покрытие из вольфрама.