SU357177A1 - Способ соединения стекла с металлом - Google Patents
Способ соединения стекла с металломInfo
- Publication number
- SU357177A1 SU357177A1 SU1644273A SU1644273A SU357177A1 SU 357177 A1 SU357177 A1 SU 357177A1 SU 1644273 A SU1644273 A SU 1644273A SU 1644273 A SU1644273 A SU 1644273A SU 357177 A1 SU357177 A1 SU 357177A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- metal
- glass
- connecting glass
- vitrification
- spa
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 title description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
Description
Изобретение относитс к вакуумным микроприборам и интегральным схемам.
Известен способ соединени стекла с металлом путем спаивани с предварительным остекловыванием металла.
Цель изобретени -повысить адгезию стекла к металлу, а также надежность и долговечность спа .
Достигаетс это тем, что на поверхность металла сначала нанос т пленку титана, затем- пленку окиси кремни , после чего-слой стекла и осуществл ют оплавление его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.
В качестве атмосферы может быть применен водород или аргон.
Ианесение слоев титана и SiO производ т
путем последовательного напылени в вакууме . Нанос т стекло методом осаждени сублимационных частиц стекла в центрифуге.
Иредмет изобретени
Способ соединени стекла с металлом путем спаивани с предварительным остекловыванием металла, отличающийс тем, что, с целью
повышени адгезии стекла к eтaллy, а также надежности и долговечности спа , на поверхность металла сначала нанос т пленку титана, затем-пленку окиси кремни , после чего-слой стекла и осуществл ют оплавление его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU357177A1 true SU357177A1 (ru) |
Family
ID=
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2732549C1 (ru) * | 2020-01-16 | 2020-09-21 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Способ соединения изделий из стекла с изделиями из металлов при помощи пайки |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2732549C1 (ru) * | 2020-01-16 | 2020-09-21 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Способ соединения изделий из стекла с изделиями из металлов при помощи пайки |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6887342B2 (en) | Field-assisted fusion bonding | |
| KR102081732B1 (ko) | 기판 상에 구조화된 코팅을 생성하는 방법, 코팅된 기판, 및 코팅된 기판을 갖는 반제품 | |
| TW201016595A (en) | Method for capping a MEMS wafer | |
| JP2017501425A (ja) | 時計ケースに結晶を取り付けるためのデバイス | |
| SU357177A1 (ru) | Способ соединения стекла с металлом | |
| DE69905496T2 (de) | Verbesserungen im beschichten von glass | |
| JPH07326618A (ja) | 配線構造およびその製造方法 | |
| CN103508414B (zh) | 一种mems陀螺仪芯片双面阳极键合工艺 | |
| EP2532619A1 (fr) | Soudure anodique pour dispositif de type MEMS | |
| US4309460A (en) | Process for producing gold films | |
| CN107086174A (zh) | 改善顶层金属层的黏附强度的方法 | |
| JPH07226547A (ja) | 磁気抵抗素子とその製造方法 | |
| US6790478B1 (en) | Method for selectively coating ceramic surfaces | |
| JPS6046036A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH0568085B2 (ru) | ||
| JP2808401B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP6180162B2 (ja) | 基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ基板 | |
| JP2000232090A (ja) | ガラスパッシベーション膜の除去方法 | |
| JPS61137697A (ja) | 成形半田およびその製造方法 | |
| JPS599914A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP2001089192A (ja) | 石英ガラスエッチング加工用マスクおよび石英ガラスエッチング加工方法 | |
| JPS63276228A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS62298188A (ja) | 光素子用キヤツプの製造方法 | |
| JPS59139647A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| KR100953344B1 (ko) | 반도체 금속 배선의 보이드 억제 방법 |