SU257628A1 - Манипулятор для переноса тонких полупроводниковых пластин - Google Patents
Манипулятор для переноса тонких полупроводниковых пластинInfo
- Publication number
- SU257628A1 SU257628A1 SU1007515A SU1007515A SU257628A1 SU 257628 A1 SU257628 A1 SU 257628A1 SU 1007515 A SU1007515 A SU 1007515A SU 1007515 A SU1007515 A SU 1007515A SU 257628 A1 SU257628 A1 SU 257628A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- transfer
- head
- manipulator
- thin semiconductor
- plate
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Description
Существующие устройства дл переноса тонких пластин основаны на использований механических захватов или на .вакуумном подсосе , что приводит к об зательному контакту пластин с чужеродными телами и увеличивает возможность «х поломки и загр знени .
Предлагаемый маиипул тор позвол ет осуществить беско-нта.ктный перенос пластин, а с„1едовательно, устра-н ет механические поверхности повреждени и загр знени переносимых Т1ласти«.
На фиг. 1 изображена головка захвата, на фиг. 2 - вид по стрелке А на фиг. 1.
Полупроводникова пластина / с полироваиной поверхностью находитс в головке захвата 2.
В центре головк1И 2 имеетс канал 3, соединенный с пневмосопротивлением. Инертный газ повыщенного давлени от пневмосопротивлени проходит по каналу 3 и, радиально распредел сь , истекает с большой скоростью через зазор между оптической плоскостью 4 головки и пластиной / (пластину с полироваНной поверхностью можно рассм атривать как вторую оптическую плоскость). При больщих скорост х движени газа образуетс полость низкого давлени (закон Бернулли). Атмосферное давление поднимает и удерживает пластину во взвещенном состо нии в зазоре относительно захвата, равном 0,05 мм. Истечение газа осуществл етс через отверсти 5 и 6, выполненные по периферии головки. При этом отверсти 5 расположены выще зазора между пластиной и оптической плоскостью головки, а отверсти 6 несколько смещены относительно того же зазора, что дает направленное движение истекаемому газу и не позвол ет газовому потоку отжимать пластину от головки. Дл обеспечени устойчивого положени пластины в горизонтальной плоскости захват имеет ограждение 7. Освобождение переносимой пластины осуществл етс сн тием давлени .
Предмет изобретени
Манипул тор дл переноса тонких полупроводниковых пластин, содержащий захват, вьтолненный в виде головки с краевыми буртиками , отличающийс тем, что, с целью предотвращени механических повреждений и загр знений переносимых пластин, головка имеет в центре канал,, соединенный с источником инертного газа повышенного давлени , а по периферии головки выполнены отверсти сброса газа, причем эти отверсти расположены выш« зазоров между пластиной и оптической плоскостью головки.
f I t f f t t fix.
Нстече мие газа
ЛаКление из пнеЛ«со/ ютиблени W.
Атмосферное дад ение
fuz.l
ВидА
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU257628A1 true SU257628A1 (ru) |
Family
ID=
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4735449A (en) * | 1985-05-04 | 1988-04-05 | Kabushiki Kaisha Seibu Giken | Method of supporting and/or conveying a plate with fluid without physical contact |
| US5066058A (en) * | 1988-10-03 | 1991-11-19 | Cogema Compagnie Generale Des Matieres Nuclearies | Pneumatic gripper |
| US5067762A (en) * | 1985-06-18 | 1991-11-26 | Hiroshi Akashi | Non-contact conveying device |
| RU2767926C2 (ru) * | 2016-09-28 | 2022-03-22 | Бретье-Аутомацион Гмбх | Захватное устройство с захватным узлом бернулли и вакуумным захватным узлом |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4735449A (en) * | 1985-05-04 | 1988-04-05 | Kabushiki Kaisha Seibu Giken | Method of supporting and/or conveying a plate with fluid without physical contact |
| US5067762A (en) * | 1985-06-18 | 1991-11-26 | Hiroshi Akashi | Non-contact conveying device |
| US5066058A (en) * | 1988-10-03 | 1991-11-19 | Cogema Compagnie Generale Des Matieres Nuclearies | Pneumatic gripper |
| RU2767926C2 (ru) * | 2016-09-28 | 2022-03-22 | Бретье-Аутомацион Гмбх | Захватное устройство с захватным узлом бернулли и вакуумным захватным узлом |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2919158B2 (ja) | 基板保持装置 | |
| US20150170954A1 (en) | Substrate support apparatus having reduced substrate particle generation | |
| JP5144434B2 (ja) | 支持装置 | |
| JP2004193195A (ja) | 搬送装置 | |
| JP4040254B2 (ja) | 吸引装置 | |
| KR970077478A (ko) | 반도체 웨이퍼를 고정하기 위한 그립핑 시스템 및 그 방법 | |
| JP2017522738A (ja) | 基板移送ロボットエンドエフェクタ | |
| US11222809B2 (en) | Patterned vacuum chuck for double-sided processing | |
| US11764099B2 (en) | Patterned chuck for double-sided processing | |
| US11975422B2 (en) | Minimal contact gripping of thin optical devices | |
| SU257628A1 (ru) | Манипулятор для переноса тонких полупроводниковых пластин | |
| JP2000243814A (ja) | ウエハ保持方法及び装置 | |
| JP2002329769A (ja) | アライメント装置 | |
| JPH0750336A (ja) | 差動排気型真空吸着治具 | |
| TWI611499B (zh) | 搬送機構 | |
| US6771482B2 (en) | Perimeter seal for backside cooling of substrates | |
| KR20140120822A (ko) | 척 테이블 | |
| CN214643745U (zh) | 真空吸附式环形末端夹持器 | |
| CN115083986A (zh) | 一种具有End effect的SCARA机器人手臂 | |
| US20220059406A1 (en) | Method for manufacturing semiconductor package | |
| JP2001162575A (ja) | 搬送装置 | |
| KR100824721B1 (ko) | 유리 대상물을 비접촉 취급 또는 고정하기 위한 방법 및장치 | |
| JPS62128539A (ja) | ウエハの搬送装置 | |
| CN216980525U (zh) | 一种晶圆对准装置 | |
| JP2002280439A (ja) | 搬送装置 |