SU237733A1 - Способ очистки инертных газов от примесей - Google Patents
Способ очистки инертных газов от примесейInfo
- Publication number
- SU237733A1 SU237733A1 SU1162813A SU1162813A SU237733A1 SU 237733 A1 SU237733 A1 SU 237733A1 SU 1162813 A SU1162813 A SU 1162813A SU 1162813 A SU1162813 A SU 1162813A SU 237733 A1 SU237733 A1 SU 237733A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- impurities
- inert gas
- ppm
- temperature
- cleaning inert
- Prior art date
Links
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 title description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 title description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium(0) Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 titanium Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
Изобретение относитс :К способам очистки инертных газов от примесей, кислорода, азота, водорода и влаги, ирисутствующих в инертных газах,позвол ющим получить последние высокой степени чистоты.
Известен способ очистки инертного газа от азота, кислорода, вла1ги, заключающийс в том, что исходиый газ пропускают через р д реакторов с титаном при температуре 815- 875°С.
Чтобы упростить процесс в его аппаратурном оформлении, в предложенном способе процесс очистки провод т в температурном интервале от 1050 до 350°С при ступенчатом снижении температуры в направлении потока исходного продукта. При этом s реакционной трубке при температуре 800-1050°С происходит очистка от азота, при 700-1050С - от кислорода и разложение влаги, при 350-500°С - очистка от водорода.
Пример. Кварцевую реакционную трубку с внутренним диа.метром 20 мм и длиной 800 мм заиолн ют чешуйчатым титаном размером 8-20 меш и вставл ют в электропечь. Электрическую печь устанавливают так, чтобы иоддерживать реакционную трубку нагретой ступенчато и обеспечить иостепенное снижение температуры в пределах от 1050 до 700°С вдоль по длине - 300 мм и от 500 до вдоль по длине 200 мм по направлению потока исходного инертного газа гели , содерл ащего 9,8 ррт No, 2,1 ррт Оа, 4+2 ррт По, 3,0 ррт НоО. После прохождени через реакционную трубку гелий содержит азот 0,0048 ррт, кислород 0,0 ррт, водород не определен, вода ,00 ррт.
Предмет изобретени
Способ очистки инертных газов от примесей путем контактированн с редкими металлами, например титаном, при Повышенных температурах , отличающийс тем, что, с целью упрощени процесса, последний провод т при стуиеичатом снижении темиературы в направлении потока исходного продукта от 1050 до 700С и от 500 до 350°С.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU237733A1 true SU237733A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3909385B2 (ja) | テトラフルオロシランの製造方法およびその用途 | |
| KR19990007143A (ko) | 불소 함유 화합물의 분해 처리 방법, 촉매 및 분해 처리 장치 | |
| RU2008111871A (ru) | Реактор, установка и промышленный способ для непрерывного получения высокочистого тетрахлорида кремния или высокочистого тетрахлорида германия | |
| SU237733A1 (ru) | Способ очистки инертных газов от примесей | |
| JPH07138007A (ja) | アルゴンガスの精製方法及び装置 | |
| US4238465A (en) | Removal of phosgene from boron trichloride | |
| JPH07112925B2 (ja) | 熱処理雰囲気下の炉内での金属熱処理方法 | |
| JP4843635B2 (ja) | フッ化水素の含有量が低減されたフッ化カルボニルの製造方法 | |
| Dainton et al. | A study of sensitized explosions. V. Some new experiments on the hydrogen-oxygen reaction sensitized by nitrogen peroxide | |
| JPH03126846A (ja) | 排気ガス清浄化用アモルフアス合金触媒 | |
| KR101222780B1 (ko) | 방향족 요오드화 화합물의 제조방법 | |
| JP5495642B2 (ja) | 二フッ化カルボニルの精製方法 | |
| KR101897802B1 (ko) | 아산화질소 함유 기체화합물의 고주파 유도 열분해 장치 | |
| JPH03249944A (ja) | フロン分解用アモルファス合金触媒 | |
| JPS5860603A (ja) | 六方晶窒化硼素の高純度化方法 | |
| JPH04265217A (ja) | 一酸化炭素を主成分とするガスの精製方法 | |
| RU2786525C2 (ru) | Способ получения особо чистого синтетического кристобалита фракцией 74-390 мкм | |
| KR101937414B1 (ko) | 아산화질소 함유 기체화합물의 고주파 유도 가열 열분해 공정 | |
| SU193462A1 (ru) | ||
| RU2777321C1 (ru) | Способ получения безводного трифторида плутония | |
| JP4859384B2 (ja) | 金属フッ化物脱酸剤及びその製造方法 | |
| RU2226501C1 (ru) | Способ получения высокочистого изотопно-обогащенного силана | |
| RU2542286C1 (ru) | Способ очистки тетрафторида урана | |
| SU233643A1 (ru) | Способ очистки тетрахлорида титана | |
| JPH01188413A (ja) | 半導体シリコン製造用黒鉛材料の精製方法 |