SU200226A1 - Двухлучевой интерферометр - Google Patents
Двухлучевой интерферометрInfo
- Publication number
- SU200226A1 SU200226A1 SU1108515A SU1108515A SU200226A1 SU 200226 A1 SU200226 A1 SU 200226A1 SU 1108515 A SU1108515 A SU 1108515A SU 1108515 A SU1108515 A SU 1108515A SU 200226 A1 SU200226 A1 SU 200226A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- model
- pattern
- double
- transparent
- interferometer
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating Effects 0.000 description 1
Description
устройство относитс к оптическим приборам дл определени параметров обтекани и деформации модели, например, в аэродинамических установках.
Известны двухлучевые интерферометры (типа Маха-Цендера), содержащие осветительную систему, ветвь сравнени , рабочую ветвь, в которой установлена камера с исследуемой газовой неоднородностью, и регистрирующую систему.
Предложенное устройство отличаетс от известных тем, что в его осветительной системе в плоскости, сопр женной с плоскостью модели , установлена оптическа прозрачна решетка , создающа муаровую картину.
Это позвол ет проводить одновременное исследование параметров газового потока и напр женного состо ни модели путем совместного наблюдени муаровых и интерференционных полос.
На чертеже изображена схема предложенного устройства.
Свет от источника света / с помощью конденсора 2 преобразуетс в параллельный пучок , проходит оптическую прозрачную решетку 3, установленную в плоскости, сопр женной с плоскостью прозрачной модели 4, и через линзу 5, диафрагму 6, конденсор 7 нопадает на светоделительную пластину S. После светоделительной нластины 8 свет распростран етс по двум оптическим ветв м интерферометра . Ветвь сравнени образуетс оптическими элементами 8, 9, 10, а друга рабоча ветвь - оптическими элементами 8, 1},10Световые пучки, распростран ющиес по двум ветв м интерферометра, проход т через нолупрозрачную пластину 10 и интерферируют между собой. Интерференционна картина, локализованна в плоскости прозрачной модели 4, расположенной в камере 12 с исследуемой , неоднородностью, наблюдаетс в приемной части /5. При воздействии на модель 4 газового потока в приемной части 13 интерференционна картина измен етс вне прозрачной модели 4. Внутри модели 4 интерференционна картина не наблюдаетс из-за большой разности хода между интерферирующими лучами, возникающей при прохождении света через прозрачную модель 4. По изменению интерференционной картины определ ютс параметры газового потока вне модели .
Воздействие газового потока на модель 4 в камере 12 с газовой неоднородностью вызывает ее деформацию и, следовательно, искажение одного из изображений оптической прозрачной решетки 3. В нриемной части 13 устройства происходит наложение искаженного (в рабочей ветви) и неискаженного (в ветви сравиени ) изображений онтической решетки 3, в результате этого возникает картина муаровых полос, по виду которой можно судить о величине деформации модели.
Таким образом, в ириемной части 13 устройства одновременно наблюдаютс муаровые и интерференционные полосы, что дает возможность одновременно определ ть взаимозависимые параметры обтекани и деформации модели.
Предмет изобретени
Двухлучевой интерферометр, содержащий осветительную систему, ветвь сравнени , рабочую ветвь, в которой установлена камера с исследуемой газовой неоднородностью и прозрачной моделью, и регистрирующую систему, отличающийс тем, что, с целью одновременного исследовани параметров газового потока и напр женного состо ни модели цутем совместного наблюдени муаровых и интерференционных полос, в осветительной системе в плоскости, сопр женной с плоскостью модели , установлена оптическа прозрачна решетка , создающа муаровую картину.
/ 2 3 5
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU200226A1 true SU200226A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100785818B1 (ko) | 파면 검출장치 | |
KR960020553A (ko) | 회절 광학장치를 이용한 표면 윤곽 묘사방법 및 묘사기 | |
US5909282A (en) | Interferometer for measuring thickness variations of semiconductor wafers | |
US20110085173A1 (en) | Phase From Defocused Color Images | |
US6643024B2 (en) | Apparatus and method(s) for reducing the effects of coherent artifacts in an interferometer | |
US10612905B2 (en) | Interferometer using tilted object waves and comprising a Fizeau interferometer objective | |
US7023562B2 (en) | Characterization of period variations in diffraction gratings | |
JPS61198012A (ja) | 表面検査装置 | |
CN102645181A (zh) | 确定光学测试表面的形状的方法和设备 | |
SU200226A1 (ru) | Двухлучевой интерферометр | |
CN109716056A (zh) | 干涉确定光学表面的形状的测量装置 | |
JP4667965B2 (ja) | 光ビーム測定装置 | |
JP2003302205A (ja) | シアリング干渉測定方法及びシアリング干渉計、投影光学系の製造方法、投影光学系、及び投影露光装置 | |
RU178706U1 (ru) | Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения на основе световодной пластины с синтезированными голограммами | |
JP5353708B2 (ja) | 干渉計 | |
KR20060080878A (ko) | 광학부품의 검사방법 및 검사장치 | |
Rana et al. | Automated collimation testing in Lau interferometry using phase shifting technique | |
TW202232475A (zh) | 光學測定系統及光學測定方法 | |
US20240003672A1 (en) | Single frame-tilted wave interferometer | |
SU180377A1 (ru) | ||
Towers et al. | Analysis of holographic fringe data using the dual reference approach | |
SU1712778A1 (ru) | Интерферометр дл контрол асферических поверхностей второго пор дка | |
JP2008209365A (ja) | 干渉測定装置及び干渉測定方法 | |
SU920367A1 (ru) | Интерферометр дл контрол вогнутых сферических поверхностей | |
SU200816A1 (ru) | Устройство для исследования газовых неоднородностей |