JP5353708B2 - 干渉計 - Google Patents
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Description
低空間コヒーレント特性を有する面光源と、
前記面光源と前記被検物とを光学的に共役に配置する導光光学系と、
前記被検物と光学的に共役な位置に配置された検出面を有する光検出器とを備え、
前記検出面の有効画素数をN×Mとし、前記有効画素に光学的に対応する前記面光源の有効面積をa×bとするとき、前記面光源上でa/N及びb/Mのうちの小さい方の長さ離れた位置からの光は互いに干渉しないことを特徴とする干渉計を提供する。
7 ハーフミラー
8,10 集光レンズ
9 被検面
11 参照面
12 結像レンズ
13 イメージセンサ(光検出器)
14 信号処理系
Claims (12)
- 被検物の面形状または透過波面を測定する干渉計において、
低空間コヒーレント特性を有する面光源と、
前記面光源と前記被検物とを光学的に共役に配置する導光光学系と、
前記被検物と光学的に共役な位置に配置された検出面を有する光検出器とを備え、
前記検出面の有効画素数をN×Mとし、前記有効画素に光学的に対応する前記面光源の有効面積をa×bとするとき、前記面光源上でa/N及びb/Mのうちの小さい方の長さ離れた位置からの光は互いに干渉しないことを特徴とする干渉計。 - 前記面光源は、互いに低干渉性を有する複数の面光源を有することを特徴とする請求項1に記載の干渉計。
- 前記導光光学系は、前記面光源からの光を前記被検物に集光する集光レンズを有することを特徴とする請求項1または2に記載の干渉計。
- 前記被検物と前記集光レンズとは、一体的に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項3に記載の干渉計。
- 前記集光レンズは、前記集光レンズの光軸方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項3に記載の干渉計。
- 前記被検物は、前記集光レンズの光軸方向に対して垂直な方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項3に記載の干渉計。
- 前記被検物は、前記集光レンズの光軸方向に対して傾斜可能に構成されていることを特徴とする請求項3に記載の干渉計。
- 前記面光源は、前記導光光学系の光軸方向に対して垂直な方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の干渉計。
- 前記導光光学系は、前記面光源からの光を平行光にして前記集光レンズに入射させるコリメータレンズを有することを特徴とする請求項3乃至8のいずれか1項に記載の干渉計。
- 前記集光レンズと前記コリメータレンズとの間の光路中に配置された光分離素子を有することを特徴とする請求項9に記載の干渉計。
- 前記被検物は、前記集光レンズの焦点位置に配置されていることを特徴とする請求項3乃至10のいずれか1項に記載の干渉計。
- 前記検出面の各画素の前に、前記画素の面積より小さい開口を持つマスクを備えていることを特徴とする請求項1に記載の干渉計。
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