SU1649263A1

SU1649263A1 - Device for non-contact quality check of flat part surface finish

Info

Publication number: SU1649263A1
Application number: SU874371391A
Authority: SU
Inventors: Петр Иосифович Дрозд; Леонид Владимирович Поперенко; Игорь Андреевич Шайкевич
Original assignee: Киевский Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко
Priority date: 1987-12-02
Filing date: 1987-12-02
Publication date: 1991-05-15

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике, св занной с определением параметров рельефа и характеристик физико-химического состо ни поверхности плоских деталей на основе рефлектометрии поверхности и может быть использовано в оптической про-The invention relates to a measurement technique associated with the determination of the relief parameters and characteristics of the physicochemical state of the surface of flat parts based on surface reflectometry and can be used in optical imaging

Description

11 .;Ч сине относитс к измерительной технике, св занной с определений параметров рельефа и характеристик физпко химпческого состо ни поверхности плоских деталей на основе рсфлс-ктометрии поверхности, , 6т ь пснолъзо апо в опчичес- j . тфомыктенчос/Шо11;; Blue refers to the measurement technique associated with the definitions of the relief parameters and the characteristics of the physical condition of the surface of flat parts based on surface ф том, том том, the optical characteristics of the surface. tfomyktenhos / sho

Целью изобретени вл етс повы™ иевие точности и производительности бесконтактного контрол качества по- ие..чности деталей за счет выбора беь пегГ .остпровок оптической системы оптп- пол-люго угла падени , при котороп регистрируемый сигнал в наибольшей степени чувствителен к отличию пара- мегрив физико-химического состо ни поверхности эталонной и контролируе- гол деталейThe aim of the invention is to improve the accuracy and performance of contactless quality control in terms of the detail quality due to the choice of optical systems of the optical system of the optical angle of incidence, at which the recorded signal is most sensitive to the difference in parameters. physical and chemical state of the surface of the reference and controlled parts

На чертеже изображена принципиальна схема устройства дл бесконтактного контрол качества обработки поверхности плоских деталейThe drawing shows a schematic diagram of the device for contactless control of the quality of surface treatment of flat parts

Устройство содержит источник излучени (не показан), модул тор 1, плоские зеркала 2 и 3, пол ризатор 4,- столик 5, столик 6, анализатор 7, фотоприемнпк 8 и приемно-регистрацпон- ныл узел 9оThe device contains a radiation source (not shown), a modulator 1, flat mirrors 2 and 3, a polarizer 4, - table 5, table 6, analyzer 7, photodetector 8 and receiving and recording unit 9o

О и 0(0, и - оси вращени столиков 5 и 6 соответственно Осп OjOf и OgO - взаимно перпендикул рные Углы падени Cf света на тталонную деталь 10, установленную на сто- .чиге 5, и на контролируемую деталь 11 установленную на столике 6, равны между собойо Первый гониометр включает зеркала 2 и 3, пол ризатор 4,O and 0 (0, and are the axes of rotation of tables 5 and 6, respectively, Osp OjOf and OgO are mutually perpendicular. The angles of incidence Cf of the light on the ttalon part 10 installed on the stand 5, and on the controlled part 11 mounted on the table 6, equal to each other. The first goniometer includes mirrors 2 and 3, a polarizer 4,

5five

00

5five

00

5five

столик 5, а второй - столик Ь, анализатор 7 и фотоприемник 80table 5, and the second - table b, analyzer 7 and 80 photodetector

Устройство работает следующим об- разомоThe device works as follows.

Излучение от источника излучени направлено по оси (0 После прохождени через модул тор 1 н отражени от плоского зеркала 2, а затем и пюского зеркала 3 излучение проходит через пол ризатор 4 и попадает на эталонную деталь 10, закрепленную на столике 5 первого гониометра0 Пол ризатор 4 установлен с возможностью вращени вокруг направлени проход щего через пего пучка излучени Повороту столика 5 вокруг оси 0. С/ на угол ДСр за счет кинематической св зи зеркалам 2 и 3 соответствует поворот на угол, вдвое больший (2ДЦ)0 Это условие обеспечивает при изменении угла падени излучени на эталонную деталь 10 на столике 5 сохранение направлени отраженного пучка , падающего затем на контролируемую деталь 11, закрепленную на столике bRadiation from the radiation source is directed along the axis (0 After passing through the modulator 1 n reflections from the flat mirror 2 and then the Pus mirror 3, the radiation passes through the polarizer 4 and hits the reference part 10 fixed on the table 5 of the first goniometer 0 Polarizer 4 installed with the possibility of rotation around the direction of the radiation beam passing through it. Turning the table 5 around the axis 0. From / to the corner of the REM due to kinematic connection, mirrors 2 and 3 correspond to a rotation through the angle twice as large (2D). 0 and changing the angle of incidence of the radiation on the reference part 10 on the table 5, maintaining the direction of the reflected beam, then falling on the test piece 11 fixed on the table b

00

5five

второго гониометра, ось вращени которого перпендикул рна осп вращени 0,0. поворотного столика 50 Повороту анализатора 7 и фотоприемника 8 на угол utp соответствует поворот столика 6 на угол ДО /2. После отражени от контролируемой детали 11 закрепленной на столике 6 второго гониометра, излучение через анализатор 7 попадает на фотоприемник 80 Черв чные передачи обеспечивают кинематическую св зь узлов, размещенных перпендикул рно друг к другу, перво5the second goniometer, the axis of rotation of which is perpendicular to the smallpox of rotation 0.0. rotary table 50 Turning the analyzer 7 and the photodetector 8 at angle utp corresponds to the rotation of table 6 at the angle TO / 2. After reflection from the controlled part 11 fixed on the table 6 of the second goniometer, the radiation through the analyzer 7 enters the photodetector 80 The worm gears provide kinematic communication of the nodes placed perpendicular to each other, primary

го и второго гониометров, т0е, между столиками 5 и 6 синхронно измен ютс , углы падени (0 , остава сь равными по величине при непрерывном их изменении в процессе выбора оптимального значени этого угла дл осуществлени - контрол с наивысшей доверительной веро тностью доводки параметров рельефа поверхности контролируемой детали 1 I к соответствующим параметрам эталонной детали 10„second and second goniometers, t0e, between tables 5 and 6 synchronously vary, the angles of incidence (0, remaining equal in magnitude with their continuous change in the process of choosing the optimal value of this angle for implementation — control with the highest confidence probability of fine-tuning the surface relief parameters controlled part 1 I to the relevant parameters of the reference part 10 "

Использование предлагаемого устройства позвол ет повысить производительность и точность контрол с высокой доверительной веро тностью доводки параметров контролируемой детали к параметрам поверхности эталонной детали на основе нулевого метода регистрации полезного сигнала, модулированного по частоте, в услови х массового производства таких деталей и не требует специальной подготовки дл операторов, производ п их контроль .The use of the proposed device improves the performance and accuracy of control with a high confidence probability of adjusting the parameters of the monitored part to the surface parameters of the reference part based on the zero method of recording a useful signal modulated in frequency under conditions of mass production of such parts and does not require special training for operators , the production of their control.

Формула иFormula and

6 з о 6 р6 з about 6 р

е т е н и et e and

00

Устройство дл бесконтактного контрол качества обработки поверхности плоских деталей, содержащее источник излучени , установленные по ходу излучени модул тор, -пол ризатор, два плоских зеркала, два гониометра, каждый из которых включает столик, и фотоприемник , отличающеес тем, что, с целью повышени точности и производительности контрол , оно снабжено анализатором, установленным по ходу излучени перед фотоприемником , а два плоских зеркала жестко соединены между собой, установлены между модул тором и пол ризатором с возможностью поворота вокруг оси первого гониометра и кинематически св заны со столиками обоих гониометров, а гониометры установлены так, что их оси взаимно перпендикул рны.A device for contactless control of the surface quality of flat parts, comprising a radiation source, a modulator, a polarizer, two flat mirrors, two goniometers, each of which includes a table, and a photodetector, which in order to improve the accuracy, and control performance, it is equipped with an analyzer installed along the radiation in front of the photodetector, and two flat mirrors are rigidly interconnected, installed between the modulator and polarizer with the possibility they rotate around the axis of the first goniometer and are kinematically connected with the tables of both goniometers, and the goniometers are set so that their axes are mutually perpendicular.

Claims

Claim

A device for contactless quality control of surface treatment of flat parts, containing a radiation source, a modulator, a polarizer, two flat mirrors, two goniometers, each of which includes a table, installed in the direction of radiation, and a photodetector, characterized in that, in order to increase the accuracy and performance of the control , it is equipped with an analyzer installed along the radiation in front of the photodetector, and two flat mirrors are rigidly interconnected, installed between the modulator and the polarizer with the possibility of the gates around the axis of the first goniometer are kinematically connected to the tables of both goniometers, and the goniometers are set so that their axes are mutually perpendicular to the role. ”