SU1293486A1

SU1293486A1 - Device for checking quality of telescopic optical systems

Info

Publication number: SU1293486A1
Application number: SU853983774A
Authority: SU
Inventors: Исак Яковлевич Бубис; Юрий Васильевич Канатов; Сергей Владимирович Любарский; Елена Константиновна Соболева; Владимир Борисович Хорошкеев
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1985-12-03
Filing date: 1985-12-03
Publication date: 1987-02-28

Description

раций контролируемой системы определ етс величина разворота контрольного зеркала, 3 при пергходе из одно го положени в другое. Определ -разворот зеркала 3 в каждом положе Изобретение относитс к измери- тельной технике и может быть использовано , в частности, дл контрол качества телескопических оптических Систем.radios of the monitored system, the magnitude of the reversal of the reference mirror is determined, 3 when they are moved from one position to another. Detection of the flip of a mirror 3 in each position The invention relates to measurement techniques and can be used, in particular, to control the quality of telescopic optical systems.

Цель изобретени - возможност1з КОНТРО41Я крупногабаритных систем.The purpose of the invention is the possibility of controlling large-sized systems.

На чертеже изображена принципиальна схема устройства дл контрол качества телескопических оптических систем.The drawing shows a schematic diagram of a device for controlling the quality of telescopic optical systems.

Устройство содержит последовательно расположенные монохромати-:- ческий источник 1 света, интерференционный блок 2 в виде интерферометра типа Физо, плоское контрольное зеркало 3, плоское зеркало 4, жестко св занное с зеркалом 3 и установленное под пр мым углом к нему, регистрирующий узел - автоколлиматор 5 и направл ющие 6 дл перемещени зеркала 3The device contains consecutive monochromat -: - a source of light 1, an interference unit 2 in the form of a Fizeau interferometer, a flat control mirror 3, a flat mirror 4 rigidly connected to the mirror 3 and installed at a right angle to it, the registering node is an autocollimator 5 and guides 6 for moving the mirror 3

Контролируема телескопическа оптическа система представл ет собой два зеркала - вогнутое 7 и выпуклое 8 (хот в общем случае она может состо ть и из большего числа оптических элементов). Перед контролируемой телескопической системой установлен монохроматический источник 1 света и интерферендионньш блок 2 - интерферометр типа.Физо, Выход щий из интерференционного бло- 2 параллельный пучок лучей расшир етс контролируемой системой и часть этого пучка падает на контрольное зеркало 3, диаметр которого може быть существенно меньше диаметра зеркала 7 контролируемой системы, Отраженный от зеркала 3 пучок лучей возвращаетс контролируемой системой и Интерферирует с пучком, отраженнымThe controlled telescopic optical system consists of two mirrors — concave 7 and convex 8 (although in general it may consist of a larger number of optical elements). In front of the monitored telescopic system, a monochromatic light source 1 is installed and the interference unit 2 is an interferometer of the type. mirrors 7 of the controlled system; A beam reflected from the mirror 3 is returned by the controlled system and interferes with the beam reflected

нии, стро т кривую угловых аберра- . ций контролируемого волнового фронта , однозначно св занных с другими геометрическими или волновыми абер- раци ми системы. 1 ил.nii, build the curve of angular aberra-. controlled wavefront unambiguously associated with other geometrical or wave aberrations of the system. 1 il.

00

5five

00

5five

00

5five

от эталонной поверхности пластины интерферометра типа Физо. Соответст вующей настройкой схемы -добиваютс .по влени в поле зрени интерференционной картины. В данном, случае, в поле зрени интерферометра будет видна интерференционна картина вол- :нового фронта, проход щего через I верхнюю краевую часть контролируемой системы. Затем.контрольное зеркало 3 по направл ющим 6 перемещают перпендикул рно параллельному пучку лучей, выход щему из контролируемой системы, так, чтобы сечение контролируемого пучка измер лось не менее чем в 16-18 точках и в каждом сечении настраивают интерференционную картину на минимальное число интерференционных полос. Направл ющие 6 расположены перпендикув нгно параллельному пучку лучей, выход щему из контролируемой системы, и обеспечивают перемещение зеркала 3 по всему сечению этого пучка. С зеркалом 3 жестко св зано плоское зеркало 4, которое вл етс отражателем автоколлиматора 5, оптическа ось которого совпадает с направлением перемещени зеркал 3 и 4. При этом при переходе зеркала 3 в очередное положение с помощью автоколлиматора 5 определ ют величину разворота зеркала 3, вызванного ошибками волнового фронта контролируемой системы , т.е. ее угловые аберрации. Следовательно, определ разворот зеркала 3 в каждом положении, стро т кривую угловых аберраций контролируемого волнового фронта, однозначно св занных с другими геометрическими или во(новыми аберраци м системы. Таким образом с помощью зеркала 3 небольшого диаметра может контролироватьс волновой фронт неограниченного размера.from the reference surface of a plate of a Fizo interferometer. The corresponding setting of the scheme is similar to those in the field of view of the interference pattern. In this case, in the field of view of the interferometer, the interference pattern of the wave-: new front passing through the first upper edge part of the monitored system will be visible. Then, the control mirror 3 along the guides 6 is moved perpendicular to the parallel beam of rays emerging from the system being monitored, so that the cross section of the monitored beam is measured at least 16-18 points and in each section adjust the interference pattern to the minimum number of interference fringes . The guides 6 are arranged perpendicular to the parallel beam of radiation coming out of the system being monitored, and provide the movement of the mirror 3 over the entire cross section of this beam. Mirror 3 is rigidly connected to a flat mirror 4, which is a reflector of autocollimator 5, whose optical axis coincides with the direction of movement of mirrors 3 and 4. In this case, when the mirror 3 moves to the next position, the magnitude of the turn of the mirror 3 caused by errors of the wave front of the controlled system, i.e. her angular aberrations. Therefore, the rotation of the mirror 3 is determined at each position, and a curve of the angular aberrations of the controlled wave front is clearly associated with other geometrical or new aberrations of the system. Thus, the wave front can be controlled with a small diameter and of unlimited size.

3. 129348643. 12934864

Claims

Claims of the invention of the ability to control large-sized

systems, it is equipped with a flat mirror.

A device for quality control of scrap, rigidly connected with a control telescopic optical system, a mirror mounted under the direct holding is sequentially located - 5 ANGLE to it, the control mirror monochromatic light source, is arranged to move the interference unit and flat perpendicularly parallel to it beam control mirror installed. rays, and the registering node is performed in a parallel beam of rays, the output is not in the form of an autocollimator, which is installed from the controlled system, which is designed so that its optical axis is a core node, coincides with the direction moving so that, with the aim of the appearance of the control mirror.