SU1425434A1

SU1425434A1 - Interfercmeter for measuring linear displacements of object

Info

Publication number: SU1425434A1
Application number: SU864139983A
Authority: SU
Inventors: Владимир Яковлевич Бараш; Геннадий Степанович Пресняков; Александр Леонидович Резников
Original assignee: Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Метрологической Службы
Priority date: 1986-10-28
Filing date: 1986-10-28
Publication date: 1988-09-23

Abstract

Изобретение относитс к интерференционным измерени м линейных перемещений. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени . Излучение от источника 1 светоделителем 2 раздел етс на два потока, один из которых направл ют на отра жающее покрытие светоделител 2, а другой - на трехгранный уголковый отражатель 3. После отражени его от боковой грани поток направл ют на дво копреломл ющий кристалл 8, а на выходе из него - на четвертьволновую пластину 7, затем на плоское зеркало 6, после которого поток попадает снова на четвертьволновую пластину 7, котора сообщает ему линейную пол ризацию. Указанный поток направл ют на дво копреломп ю- щий кристалл В, который отклон ет его на основание трехгранного уголкового отражател 3 и т.д. Далее поток проходит по тому Же пути, но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного пол , по которой определ ют величину перемещени . 1 ил. (ЛThe invention relates to interference measurements of linear displacements. The aim of the invention is to improve the measurement accuracy. The radiation from the source 1 by the splitter 2 is divided into two streams, one of which is directed to the reflecting coating of the splitter 2, and the other to the three-sided corner reflector 3. After reflecting it from the side face, the flow is directed to the double-refractive crystal 8, and at the exit from it, onto a quarter-wave plate 7, then onto a flat mirror 6, after which the stream falls again onto the quarter-wave plate 7, which tells it linear polarization. This flow is directed to a double copreusable crystal B, which diverts it to the base of the triangular corner reflector 3, etc. Further, the flow goes the same way, but in the opposite direction. The photodetector 8 senses the averaged intensity of the interference field, from which the magnitude of the displacement is determined. 1 il. (L

Description

DD

1C СЛ 1C SL

4 004 00

Изобретение относитс к интерфе- ренционным измерени м линейных перемещений .The invention relates to interference measurements of linear displacements.

Цель изобретени - повышение точности измерени .The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy.

На чертеже представлена схема интерферометра.The drawing shows the scheme of the interferometer.

Интерферометр содержит источник 1 и|злучени , светоделитель 2 в виде Kk76-npH3Mbi с зеркальным покрытием I грани I-I, противоположной источнику 1| излучени , дел щий излучение на два потока, трехгранный уголковый отражатель 3 с отражающим покрытием 4 в сече- кии со стороны вершины, параллельном (Основанию, отражатель 5, состо щий из фследовательно установленных плоско- rjo зеркала 6, четвертьволновой пласти- 7, дво копреломл ющего кристал- 8 и ориентированных параллель- нр друг другу и основанию трехгран- н0го уголкового отражател 3, отража 5 установлен с возможностью перемещени в одном из потоков от светоделител 2 со смещением относительно трехгранного уголкового от- рджател 3 и фотоприемник 9, установленный в другом потоке от светодели- тЬл 2.The interferometer contains a source of 1 and | radiation, a beam splitter 2 in the form of Kk76-npH3Mbi with a mirror coating of the I face I-I opposite to the source 1 | radiation, dividing radiation into two streams, a triangular angular reflector 3 with a reflective coating 4 in the section from the apex side, parallel (Bottom, reflector 5, consisting of the subsequently mounted flat-rjo mirrors 6, quarter-wave plate 8 and oriented parallel to each other and the base of the triangular corner reflector 3, reflecting 5 is mounted to move in one of the streams from the splitter 2 with an offset relative to the triangular angle reflector 3 and ph The receiver 9 installed in another stream from the beam splitter 2.

I Интерферометр работает следующим образом.I The interferometer works as follows.

I Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделител 2 раздел етс на два потока, один из кото направл ют на отражающее покры- светоделител 2, а другой - на т|)ехгранный уголковый отражатель 3, отражени от его боковой грани потока направл ют на дво копреломл ю щий кристалл 8, а на выходе из него на четвертьволновую пластину 7, котора сообщает ему циркул рную пол ризацию , а затем на плоское зеркало 6, после которого поток поцадает снова на четвертьволновую пластину 7, котора сообщает ему линейную лол риза- щпо. Указанный поток направл ют на , дво копреломл ющий кристалл 8, котоI Radiation from the source 1 by the diagonal face of the splitter 2 is divided into two streams, one of which is directed to the reflecting cover of the splitter 2 and the other to the infrared corner reflector 3, and reflections from its side face of the flow are directed to The head crystal is 8, and at the exit from it is a quarter-wave plate 7, which informs it of circular polarization, and then a flat mirror 6, after which the stream reappears on the quarter-wave plate 7, which informs it of linear laser. This flow is directed to a double-refractive crystal 8, which

Редактор Л.ЗайцеваEditor L.Zaytseva

Составитель Н. Техред М. ДидыкCompiled by N. Techred M. Didyk

Q 5 0 5 0Q 5 0 5 0

5five

Н. кN. to

рый отклон ет его на угол (90 -oi), где аС - угол преломлени потока, в дво копреломл ющем кристалле Вив свою очередь направл ет на основание трехгранного уголкового отражател 3 и т.д. Поток, отраженньй от покрыти 4, направл ют на дво копреломл ющий кристалл 8 по тому же пути, но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного пол , по которой определ ют величину перемещени . Величина перемещени определ етс либо способом счета интерференционных полос, либо способом нулей функции Бессел .It deflects it by an angle (90-oi), where aC is the angle of refraction of the flow, in a double-rimming crystal, Viv, in turn, directs to the base of the trihedral corner reflector 3, etc. The flow reflected from the coating 4 is directed to the double rifle crystal 8 along the same path, but in the opposite direction. The photodetector 8 senses the averaged intensity of the interference field, from which the magnitude of the displacement is determined. The magnitude of the displacement is determined either by the method of counting interference fringes or by the method of zeros of the Bessel function.

Claims

Invention Formula

An interferometer for measuring the linear displacements of an object containing a radiation source, a beam splitter that divides radiation from a source into two streams, two reflectors, one of which is designed as a triangular corner reflector with a reflective coating in cross section on the side of the top parallel to the base, the second is installed movable in one of the streams from the beam splitter in a direction perpendicular to the radiation from the source, and a photodetector mounted in another stream, characterized in that, in order to increase the NOSTA, it is provided with successive quarter-wave plate and concave on Ko yuschim refractive crystal, The relative second.

The razhel is made in the form of a flat mirror, the quarter-wave plate on the double-rifle crystal is oriented parallel to each other and the base of the triangular corner reflector, and the second reflector, the quarter-wave plate and double refractive crystal are offset from the triangular corner reflector. I Zakharenko

Proofreader L. Patay