SU1668864A1

SU1668864A1 - Laser interfering flatness meter

Info

Publication number: SU1668864A1
Application number: SU894663317A
Authority: SU
Inventors: Алексей Алексеевич Смирнов; Анатолий Михайлович Шаркин; Любовь Анатольевна Карпова
Original assignee: Предприятие П/Я В-2190
Priority date: 1989-03-16
Filing date: 1989-03-16
Publication date: 1991-08-07

Abstract

Изобретение относитс к средствам измерени отклонени от пр молинейности и плоскости. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени отклонени от плоскостности и пр молинейности. Луч лазерного интерферометра 1 направл етс плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, проходит оптические клинь 10 и 11 и попадает на уголковый отражатель 9, проходит через оптические клинь 12 и 13 и, отразившись от грани призмы 14, направл етс в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности происходит изменение оптической длины пути лазерного луча, который и характеризует отклонение. 1 ил.The invention relates to measuring the deviation from straightness and plane. The aim of the invention is to improve the accuracy of measuring the deviation from flatness and straightness. The beam of the laser interferometer 1 is guided by a flat mirror 2 through the optical plate 15 into the measuring unit at the corner reflector 14, passes the optical wedge 10 and 11 and hits the corner reflector 9, passes through the optical wedge 12 and 13 and, having reflected from the face of the prism 14, in the sight mark 3. When the measuring unit moves along the test surface, the optical path length of the laser beam changes, which characterizes the deflection. 1 il.

Description

КTO

С О 00 00C 00 00

оabout

Изобретение относитс к средствам измерени отклонени от пр молинейности и плоскостности.The invention relates to measuring the deviation from straightness and flatness.

Цель изобретени - повышение точности измерени отклонени от плоскостности и пр молинейности.The purpose of the invention is to improve the accuracy of measuring the deviation from flatness and straightness.

На чертеже представлена схема плоско- мера.The drawing shows the plan of the flat.

Лазерный интерференционный плоско- мер содержит последовательно расположенные лазерный интерферометр 1, плоское зеркало 2, установленное с возможностью вращени перпендикул рно оптической оси, визирную, марку 3 и блок обработки информации, измерительный блок в виде установленного с возможностью перемещени вдоль оси корпуса 5 с трем наконечниками 6-8, один из которых установлен с возможностью перемещени перпендикул рно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оптической оси корпуса 5 уголкового отражател 9, двух пар оптических клиньев 10, 11 и 12, 13 и второго уголкового отражател 14. Плоскомер содержит также две оптические пластины 15 и 16, расположенные с противоположных сторон корпуса 5 и предназначенных дл создани замкнутой оптической системы.The laser interference plane meter contains successively located laser interferometer 1, a flat mirror 2 mounted for rotation perpendicular to the optical axis, a sighting device, a mark 3 and an information processing unit, a measuring unit in the form of an axis movable along the axis of the body 5 with three tips 6 -8, one of which is mounted for movement perpendicular to the optical axis, and successively along the optical axis of the housing 5 of the corner reflector 9, two pairs of 10, 11 and 12, 13 and the second corner reflector 14. The flat meter also contains two optical plates 15 and 16 located on opposite sides of the housing 5 and designed to create a closed optical system.

Плоскомер работает следующим образом .Ploskomer works as follows.

Луч лазерного интерферометра 1 направл етс плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, отразившись от которого проходит оптические клинь 10 и 11, отражатель 9, отразившись от него, луч проходит вторую оптических клиньевThe beam of the laser interferometer 1 is guided by a flat mirror 2 through the optical plate 15 into the measuring unit onto the corner reflector 14, reflecting from which optical wedges 10 and 11 pass, the reflector 9 reflecting from it, the beam passes the second optical wedges

00

5five

00

5five

00

5five

12 и 13, преломл етс и, отразившись от грани призмы 14, направл етс в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности наконечник 7 и измерительный блок перемещаютс в вертикальной плоскости, что влечет за собой изменение оптической длины пути лазерного луча, величина которого характеризует отклонение от пр молинейности и плоскостности,12 and 13, is refracted and, reflected from the face of the prism 14, is guided to the sight mark 3. When the measuring unit is moved along the test surface, the tip 7 and the measuring unit move in the vertical plane, which entails a change in the optical path length of the laser beam, which characterizes the deviation from linearity and flatness,

Claims

Claims of the invention A laser interference plate containing a successive laser interferometer, a flat mirror mounted for movement in a direction perpendicular to the optical axis, a target mark and an information processing unit associated with a laser interferometer, which is in order to improve the accuracy of measuring the deviation from flatness and straightness, it is equipped with a measuring unit made in the form of a body mounted for movement along the axis with three tips, one of which is installed symmetrically with respect to the other two with the possibility of moving perpendicular to the optical axis, and successively located along the axis of the casing of the corner reflector, oriented with the base parallel to the optical axis and fastened with a moving tip, two pairs of optical wedges oriented with bases opposite sides, and the second corner reflector, oriented similarly to the first.