SU1268948A1 - Device for checking angular parameters of plane-parallel plates - Google Patents
Device for checking angular parameters of plane-parallel plates Download PDFInfo
- Publication number
- SU1268948A1 SU1268948A1 SU843787753A SU3787753A SU1268948A1 SU 1268948 A1 SU1268948 A1 SU 1268948A1 SU 843787753 A SU843787753 A SU 843787753A SU 3787753 A SU3787753 A SU 3787753A SU 1268948 A1 SU1268948 A1 SU 1268948A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- telescope
- beams
- highlights
- beam splitter
- source
- Prior art date
Links
Landscapes
- Telescopes (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может использоватьс дл контрол клиновидности. Целью изобретени вл етс повышение точности контрол за счет обеспечени параллельности пучков на входе в зрительную трубу при отсутствии в схеме контролируемого издели , контролируемой по интерференционной картине. Кроме того, благодар введению в схему устройства пол ризатора , полуволновой пластинки и поворотного анализатора возможно выравнивание и регулировка ркости совмещаемых и измер емых бликов в поле зрени зрительной трубы. Это обсто тельство, а также возможность исключени из пол зрени всех бли- . ков, кроме измер емого, достигаютс за счет введени в схему фотозатвора . Параллельный пучок лучей от источника раздел етс на два пучка, которые с помощью зеркал направл ютi с с разных сторон на поверхности контролируемого издели . Отраженные (Л ими пучки объедин ютс на светоделителе и образуют два коллимационС ных блика в поле зрени отсчетной зрительной трубы. Клиновидность издели определ етс по рассто нию между бликами. 1 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used to control a wedge shape. The aim of the invention is to improve the accuracy of control by ensuring the parallelism of the beams at the entrance to the telescope in the absence of a controlled product in the circuit, controlled by the interference pattern. In addition, by introducing a polarizer, a half-wave plate and a rotary analyzer into the device circuit, it is possible to align and adjust the brightness of the combined and measured highlights in the field of vision of the telescope. This circumstance, as well as the possibility of exclusion from the field of view of all glories. Covers, in addition to being measured, are achieved by introducing a photo gate into the circuit. A parallel beam of rays from the source is divided into two beams, which with the help of mirrors direct from different sides on the surface of the test item. Reflected (by them, the beams are combined on a beam splitter and form two collimation highlights in the field of view of the reference telescope. The shape of the product is determined by the distance between the highlights. 1 Il.
Description
0000
соwith
4four
0000
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол клинонидности непрозрачных и прозрачных стержней.This invention relates to a measurement technique and can be used to control the clononidity of opaque and transparent rods.
Целью изобретени вл етс повышение точности измерени клиновидности счет обеспечени параллельности пучков на входе в зрительную трубу при отсутствии в схеме контролируемого издели , контролируемой по интерференционной картине.The aim of the invention is to improve the accuracy of measuring the wedge shape by providing parallel beams at the entrance to the telescope in the absence of a controlled article controlled by an interference pattern in the circuit.
На чертеже представлена схема устройства.The drawing shows a diagram of the device.
Устройство содержит источник Г монохроматического излучени (лазер или обычный источник с интерференционным светофильтром)5 пол ризатор 2 например пол роидна пленка, расшир ющую телескопическую систему, состо п1ую из двух линз 3 и 4, плоские зеркала 5-7, светоделитель 8, контролируемый стержень 9, полуволновую пластинку 10, отсчетнуго зрительную трубу, например теодолит, состо щую из объектива 11 и окул ра 12, анализатор 13, установленный в поворотный механизм, например поворотный пол роид, и фотозатвор 14.The device contains a source of monochromatic radiation (a laser or a conventional source with an interference optical filter) 5 polarizer 2, for example, a polaroid film that expands the telescopic system, consisting of two lenses 3 and 4, flat mirrors 5-7, a beam splitter 8, a controlled rod 9 , a half-wave plate 10, a reading telescope, such as a theodolite consisting of an objective 11 and an eyepiece 12, an analyzer 13 installed in a rotary mechanism, such as a rotary floor, and a photo shutter 14.
Пол ризатор 2 и светоделитель 8 расположены последовательно по ходу пучка излучени , создаваемого источником 1„ Зеркала 6 и 7 ориентированы таким образом, что пучки, выход щие из светоделител 8, отража сь от них идут навстречу друг другу. Зрительна труба, образованна элемент;зми П и 2, установлена на пути лучей, отразившихс последовательно от зеркал 6 и 7 и вторично прошедших светоделитель 8, таким образомf что ее ось совпадает с зеркальным изображением оси пучка источникаJ вход щего в светоделитель, образованный плоскостью делени пучка светоделителем Полуволнова пластинка 10 и фотозатвор 14 расположены по ходу одного из пучков,, выход щих из светоделител 8, а анализатор 13 установлен по ходу пучка на выходе отсчетной зрительной трубы.Polarizer 2 and beam splitter 8 are arranged in series along the beam of radiation emitted by source 1 of Mirrors 6 and 7 are oriented so that beams emanating from beam splitter 8, reflecting from them, go towards each other. The telescope, formed by the element; zmi P and 2, is installed in the path of the rays reflected in succession from mirrors 6 and 7 and passed the second splitter 8 for the second time, so that its axis coincides with the mirror image of the source beam axis entering the beam splitter The half wave plate 10 and the photo shutter 14 are located along one of the beams coming out of the beam splitter 8, and the analyzer 13 is installed along the beam at the output of the viewing telescope.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Излучение источника 1 с помог ью пол ризатора 2 превращаетс з линейно пол ризованное, расшир етс телескопической системой 3 и 4 и зеркалом 5 направл етс на светоделитель 8 Светоделитель 8 раздел етThe radiation from source 1 with the help of polarizer 2 turns into linearly polarized, expands with telescopic system 3 and 4 and is directed by mirror 5 to the beam splitter 8. The splitter 8 separates
689482689482
световой пучок на два, один из которых , проходит полуволновую пластинку 10, установленную так, что она поворачивает плоскость пол ризации наthe light beam into two, one of which passes the half-wave plate 10, set so that it turns the plane of polarization on
5 90° 5 отражаетс от зеркал 7 и 6 и снова от полупрозрачной диагонали светоделител 8. Второй пучок проходит через светоделитель 8, отражаетс от зеркал 6 и 7, проходит полуiO волновую пластинку 10 и вновь светоделитель В, Таким образом, после второго прохождени светоделител 8 получаютс две когерентные волны, которые образуют интерференционную5 90 ° 5 is reflected from mirrors 7 and 6 and again from the semitransparent diagonal of the splitter 8. The second beam passes through the splitter 8, reflects from mirrors 6 and 7, passes the semi-OO wave plate 10 and again the splitter B, Thus, after the second passage of the splitter 8 two coherent waves are produced that form the interference
15 картину. Поворотами светоделител 8 добиваютс настройки интерференционной картины на бесконечно широкую полосу.15 picture. By turning the splitter 8, the settings of the interference pattern to an infinitely wide band are achieved.
При открытом фотозатворе 14 в по20 ле зрени трубы П и 12 при отсутствии стержн 9 видны два блика. При настройке на бесконечно широкую полосу эти два блика сливаютс в один, который разворотом трубы сов25 мещаетс с центром перекрести ее сетки (не показана) . При введении стержн 9 в поле зрени про вл ютс еще два блика, соответствующие отражени м от торцов стержн . СтерженьWith an open photogate 14 in terms of 20 views of pipe P and 12, in the absence of rod 9, there are two highlights. When adjusting to an infinitely wide strip, these two highlights merge into one, which, by turning the tube, coincides with the center to cross its grids (not shown). With the introduction of the rod 9 in the field of view, two more highlights appear, corresponding to reflections from the ends of the rod. Kernel
30 9 закреплен в специальном юстировочном приспособлении, позвол ющем разворачивать стержень вокруг оси,перпендикул рной пучку. При развороте стержн 9 центральный блик,совмещенJ5 ный с центром перекрести , остаетс неподвижным, а два других блика, соответствующие отражени м от торцов стержн , смещаютс , чем достигаетс идентификаци блоков. При раз-The 30 9 is fixed in a special adjustment device allowing the rod to be rotated around an axis perpendicular to the beam. When the rod 9 is turned, the central flare, combined with the center of the cross, remains fixed, and the other two flares, which correspond to reflections from the ends of the rod, are shifted, thus achieving the identification of the blocks. When the
40 вороте стержн 9 один из двух бликов , отраженных от торцов стержн , совмещаетс с неподвижным бликом (и центром перекрести ). Отклонение второго подвижного блика относителБ45 но центра перекрести определ ет угол клиновидности.The collar 40 of the rod 9, one of the two highlights reflected from the ends of the rod, is combined with the fixed glare (and the center of the cross). The deviation of the second moving flare relative to the center of the cross over determines the angle of the wedge shape.
В результате нал1Гчи полуволновой пластинки 10 пучки, отраженные от торцов стержн 9, оказываютс поjQ л ризованными ортогонально остальным пучкам, попадаю1 щм в зрительную трубу. Поэтому развсзротами анализатора 13 можно вьфовн ть ркости бликов , совмещаемых в процессе контрол , что позвол ет повысить точность совмещени .As a result, the half-wave plate 10, the beams reflected from the ends of the rod 9, turn out to be orthogonal to the rest of the beams, getting into the telescope. Therefore, by analyzing the analyzer 13, it is possible to increase the brightness of the glare combined during the control process, which allows an increase in the accuracy of the combination.
При сн тии отсчета положени блика , полученного отражением от пра3When removing the reference position of the flare obtained by reflection from the right
вого торца стержн 9, фотозатвор 14 закрываетс , что позвол ет исключить остальные блики и тем самым повысить точность отсчета.the end face of the rod 9, the photo shutter 14 is closed, which eliminates the remaining glare and thereby increase the accuracy of the reference.
Таким образом, благодар точной настройке схемы, осуществл емой по интерференционной картине, регулировке ркости совмещаемых бликов и вьщелению блика, положение которого измер етс , достигаетс повышение точности .контрол клиновидности,Thus, due to the fine tuning of the scheme, carried out according to the interference pattern, the adjustment of the brightness of the combined highlights and the highlight reflection, whose position is measured, an increase in the accuracy of the wedge shape is achieved.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843787753A SU1268948A1 (en) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | Device for checking angular parameters of plane-parallel plates |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843787753A SU1268948A1 (en) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | Device for checking angular parameters of plane-parallel plates |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1268948A1 true SU1268948A1 (en) | 1986-11-07 |
Family
ID=21137403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843787753A SU1268948A1 (en) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | Device for checking angular parameters of plane-parallel plates |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1268948A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2601530C1 (en) * | 2015-09-14 | 2016-11-10 | Открытое акционерное общество "Корпорация космических систем специального назначения "Комета" | Device for measuring angular movements of object |
-
1984
- 1984-09-07 SU SU843787753A patent/SU1268948A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Афанасьев В.А. Оптические измерени , - М., 1981, с. 82. Авторское свидетельство СССР № 977947, кл. G 01 В 11/26, 1982. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2601530C1 (en) * | 2015-09-14 | 2016-11-10 | Открытое акционерное общество "Корпорация космических систем специального назначения "Комета" | Device for measuring angular movements of object |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6519040B1 (en) | Imaging system and method for Fourier transform spectroscopy | |
KR100639179B1 (en) | Spectroscopic Ellipsometer | |
JPS63311121A (en) | Encoder | |
JPS5837523B2 (en) | Adjustable lens to focus | |
JPS5483854A (en) | Measuring device | |
JPH01284715A (en) | Encoder | |
SU1268948A1 (en) | Device for checking angular parameters of plane-parallel plates | |
US3002419A (en) | Alignment theodolite | |
US3323417A (en) | Testing apparatus for optical lenses | |
SU1727105A1 (en) | Autocollimation device | |
SU380946A1 (en) | INTERFEROMETER FOR QUALITY CONTROL OF THE FLAT OPTICAL SURFACE DETAILS | |
SU561925A1 (en) | Photoelectric autocollimator | |
SU1364865A1 (en) | Device for measuring field of planeness deviation of solid surface | |
US3394628A (en) | Light measuring apparatus | |
SU1656365A1 (en) | Aligning device | |
JPS6244215B2 (en) | ||
SU914943A1 (en) | Apparatus for measuring spectral reflectances | |
SU505943A1 (en) | Interference Shadow Device | |
RU2039948C1 (en) | Device for polarization measurement of characteristic of clear object | |
RU1818547C (en) | Grating interferometer | |
SU1097961A1 (en) | Interferention filter | |
SU758043A1 (en) | Optical device | |
SU1728650A1 (en) | Interferometer for controlling concave aspheric surfaces | |
SU1165878A1 (en) | Interferometer measuring device | |
SU1627829A1 (en) | Interferometer for checking aspherical surface of second order |