SU1635064A2 - Способ испытани диэлектрических пленок - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и  вл етс  усовершенствованием способа по авт. св. № 1270638. Цель изобретени  - повышение точности путем создани  под поверхностью индентора однородного напр женного состо ни . На поверхность пленки, помещенную на электропроводную подложку, в область контакта с индентором, выполненным с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, нанос т слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки Определ ют силу вдавливани  и по соотношению электрической емкости воздушного зазора и емкости между индентором и подложкой с пленкой - глубину внедрени  индентора. С учетом этих величин определ ют твердость, диэлектрическую проницаемость и другие свойства пленки СП

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок , и  вл етс  усовершенствованием известного способа по основному авт. св. № 1270638.

Цель изобретени  - повышение точности путем создани  под поверхностью индентора однородного напр женного состо ни .

Способ реализуетс  следующим образом .

Пленку помещают на электропроводную подложку, на ее поверхность в области контакта с индентором нанос т слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости , выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки, нагружают индентор с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, вдавливают его в пленку, определ ют силу вдавливани , в процессе которого измер ют электрические емкости между индентором и подложкой с пленкой и воздушного зазора, завис щего от перемещени  индентора, производ т сравнени  их, определ ют глубину внедрени  индентора и с ее учетом определ ют твердость, диэлектрическую проницаемость , пористость, пластические, прочностные и в зкоупругие свойства пленки.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ испытани  диэлектрических пленок по авт. св. N 1270638, отличающийс  тем, что. с целью повышени  точности, на поверхность пленки в область контакта с индентором нанос т слой жидкости с величиной диэлектрической проницаО

   со

   СП

   о о

   ю

   емости, выбираемой в диапазоне заданной внедр ют индентор, имеющий поверхность, диэлектрической проницаемости пленки, и эквидистантную поверхности пленки.