SU1201673A1 - Способ измерения толщины - Google Patents

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь^ эовано для определения толщины стравленного слоя металла с поверхности излома образцов, исследуемых 5 методами разрушающего контроля.

Целью изобретения является повышение точности измерения средней толщины слоя металла, стравленного с крупношероховатой поверхности об- ¹⁰ разцов. ;

На чертеже представлена схема осуществления способа измерения средней толщины стравленного с по-. верхности образца слоя металла. ^,5

На схеме изображены базовая плоскость 1, установленный на ней контролируемый образец 2 с крупношероховатой поверхностью 3 (после его травления) , установленный параллельно 20

поверхности 3 с зазором плоский электрод 4 и подключенный между ним и образцом 2 измеритель 5 емкости (пунктирной линией показана контролируемая поверхность 3 и положение ²⁵

электрода 4 до травления образца).

Способ осуществляют следующим образом.

Контролируемый образец 2 устанавливают основанием на базовую плос- 30 кость 1. Параллельно контролируемой крупношероховатой поверхности 3 образца· 2 до его травления устанавливают плоский электрод 4 (показан пунктиром) с зазором, величина кото- 35 рого соизмерима с амплитудой впадин и гребней поверхности 3 образца 2.

С помощью измерителя 5 емкости измеряют электрическую емкость между ним и образцом 2, измеренную величину емкости до травления образца фиксируют не меняя положения электрода 4, образец 2 снимают с базовой плоскости 1, его контролируемую поверхность 3 подвергают травлению и затем вновь устанавливают на базовой плоскости 1. Контролируя величину емкости между электродом 4 и образ*цом 2 с помощью измерителя 5 емкости перемещают плоский электрод 4 параллельно самому себе в направлении к контролируемой поверхности 3 до тех пор, пока значение измеряемой емкости не сравняется с зафиксированной величиной емкости до травления образца 2. С помощью преобразователя перемещений (не показан) определяют величину перемещения электрода 4. Среднюю толщину стравленного с поверхности образца слоя металла принимают равной величине измеренного перемещения электрода 4. Так как средние величины зазора между точками контролируемой поверхности 3 образца и электродом 4 до и после травления образца равны между собой, нелинейный характер изменения величины емкости между электродом и образцом в зависимости от величины зазора не влияет на ре- < зультаты измерений. Благодаря этому повышается точность измерения средней толщины слоя металла, стравленного с крупношероховатой поверхности образца, высота гребней которой соизмерима с толщиной стравленного слоя. ·

Claims (1)

1. СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ стравленного с поверхности образца слоя металла, заключающийся в том, что образец устанавливают на базовую плоскость, параллельно его контролируемой поверхности размещают с зазором плоский электрод емкостного датчика зазора, измеряют электрическую емкость между ним и контролируемой поверхностью образца до травления, перемещают электрод параллельно самому себе в направлении к поверхности и измеряют электрическую емкость между ним и контролируемой поверхностью образца после травления, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения средней толщины слоя металла, стравленного с крупношероховатой поверхности образца, перемеще' ние электрода относительно поверхности образца после его травления осуществляют до тех пор, пока емкость между ним и контролируемой поверхностью образца станет равной © емкости между электродом и контролируемой поверхностью образца до травления, а затем измеряют величину перемещения электрода, по которой определяют контролируемую величину .

   5ϋ „„1201673

   < 1201673 ¹