SU1619016A1 - Способ измерени поперечных размеров микроизделий - Google Patents
Способ измерени поперечных размеров микроизделий Download PDFInfo
- Publication number
- SU1619016A1 SU1619016A1 SU894636254A SU4636254A SU1619016A1 SU 1619016 A1 SU1619016 A1 SU 1619016A1 SU 894636254 A SU894636254 A SU 894636254A SU 4636254 A SU4636254 A SU 4636254A SU 1619016 A1 SU1619016 A1 SU 1619016A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- micro
- product
- controlled micro
- controlled
- control
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол поперечных размеров длинномерных изделий, например оптического волокна . Цель изобретени - расширение видов контролируемых микроизделий за счет обеспечени контрол прозрачных микроизделий путем исключени вли ни прелом- ленного пучка на формирование дифракционной картины. Пучком лазера освещают контролируемое микроизделие, наклон ют изделие в плоскости, проход щей через освещающий пучок и контролируемое микроизделие, на угол а 50° и анализируют дифракционную картину контролируемого микроиздели , после чего суд т о поперечном размере контролируемого микроиздели . 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол поперечных размеров длинномерных изделий, например, оптического волокна .
Цель изобретени - расширение видов контролируемых микроизделий за счет обеспечени контрол прозрачных микроизделий .
На чертеже представлена схема устройства , реализующего способ.
Устройство содержит лазер 1, держатель 2 оптического волокна, установленного с возможностью поворота на угол а 50° в плоскости, проход щей через освещающий пучок и микроизделие, пространственный фильтр 3 и фотоприемник4, расположенный за фильтром по ходу пучка.
Способ осуществл етс следующим образом .
Когерентный пучок лазера 1 направл ют на микроизделие, оптическое волокно, установленное в держателе 2. В зоне дифракции Фраунгофера устанавливаетс пространственный фильтр 3, представл ющий собой негативное изображение дифракционной картины микроиздели с возможностью перемещени вдоль оси пучка лазера 1. Держатель 2 оптического волокна наклон ют на угол а : 50° в плоскости, проход щей через пучок лазера 1 и оптическое волокно, при этом преломленна составл юща пучка в дифракционной картине отсутствует . Перемеща пространственный фильтр 3 вдоль пучка лазера 1 с помощью шкалы, проградуированной в соответствии с формулой дифракции Фраунгофера и установленной параллельно пучку лазера, опре- дел ют контролируемый поперечный размер. Погрешность измерени прозрачных оптических волокон не превышает 0,5%.
Claims (1)
- Формула изобретени Способ измерени поперечных размеров микроизделий, заключающийс в том, что формируют когерентный пучок, освещаЈCSN0оют им контролируемое микроизделие, формируют дифракционное изображение, анализируют дифракционное изображение микроиздели и определ ют контролируемый размер микроиздели , отличающийс тем, что, с целью расширени видовконтролируемых микроизделий за счет обеспечени контрол прозрачных микроиэ- делий, перед формированием дифракционного изображени наклон ют микроиэделие в плоскости, проход щей через освещающий пучок и микроизделие, на угол а 50°./
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894636254A SU1619016A1 (ru) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | Способ измерени поперечных размеров микроизделий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894636254A SU1619016A1 (ru) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | Способ измерени поперечных размеров микроизделий |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1619016A1 true SU1619016A1 (ru) | 1991-01-07 |
Family
ID=21422247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894636254A SU1619016A1 (ru) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | Способ измерени поперечных размеров микроизделий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1619016A1 (ru) |
-
1989
- 1989-01-12 SU SU894636254A patent/SU1619016A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 925168, кл. G01 В 11/10,1981. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE163476T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung der abmessung eines objekts | |
| ATE295551T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung der teilchengrössenverteilung unter verwendung von laserstreuung | |
| Persson | Measurement of surface roughness on rough machined surfaces using spectral speckle correlation and image analysis | |
| SU1619016A1 (ru) | Способ измерени поперечных размеров микроизделий | |
| WO1997002477A1 (en) | Imaging and characterisation of the focal field of a lens by spatial autocorrelation | |
| SE7612568L (sv) | Radavkenningsanordning for materialbanor for detektering av felstellen | |
| DK0380046T3 (da) | Fremgangsmåde til afprøvning af målere, især elektricitets-, gas- og vandmålere, samt anordning til brug ved udøvelse af fremgangsmåden | |
| JPS57204437A (en) | Measuring method for interval of inspection body in concentration measuring apparatus | |
| SU1605140A1 (ru) | Способ контрол размера элементов топологической структуры и устройство дл его осуществлени | |
| FR2235354A1 (en) | Photoelectric optical test sensor - measures displacement of a diffraction screen with constant spacing in the test sensor plane | |
| SU1677506A1 (ru) | Микроинтерферометр | |
| SU1620826A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий и устройство дл его осуществлени | |
| SU1219917A1 (ru) | Способ контрол формы вогнутых оптических поверхностей | |
| SU1302140A1 (ru) | Устройство дл измерени поперечных размеров микрообъектов | |
| SU1226195A1 (ru) | Устройство дл измерени градиента показател преломлени | |
| SU1044969A1 (ru) | Способ измерени профил оптических поверхностей | |
| SU1733920A1 (ru) | Сканирующий интерферометр | |
| SU954813A1 (ru) | Устройство дл измерени деформаций деталей | |
| SU1421996A1 (ru) | Способ измерени шероховатости поверхности издели | |
| SU714253A1 (ru) | Способ измерени градиента показател преломлени оптически прозрачных сред | |
| SU1464046A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды угловых колебаний | |
| RU1770739C (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
| SU1247776A1 (ru) | Способ оптического спектрального анализа двумерных сигналов | |
| SU1388482A1 (ru) | Устройство дл контрол линейной плотности волокнистого продукта | |
| JPH0210230A (ja) | 光強度測定装置 |