SU1302140A1 - Устройство дл измерени поперечных размеров микрообъектов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  возможность непрерывного измерени  поперечных размеров микрообъекта в процессе его производства. Луч лазера 1, попада  на контролируемый объект 7, образует позади него в дальней зоне дифракционную картину Фраунгофера, котора  анализируетс  с помощью пространственного фильтра, состо щего из двух половин 2 и 3, установленных с возможностью положительного и отрицательного смещений относительно положени  фильтра на оси лазера и соответствукнцих номи- мальным значени м контролируемых поперечных размеров объекта на величину +uL и -дЪ, где &L - величина допуска на номинальный поперечный размер . Освещенности позади пространственного фильтра регистрируютс  фотоприемниками 4 и 5, а номинальный поперечный размер контролируемого объекта 7 задаетс  положением пространственного фильтра на оси устройства с помощью шкалы 6. 1 ил. ю (Л

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано при контроле диаметра длинномерных изделий типа проволоки, волокон в процессе их изготовлени .

Цель изобретени  - возможность непрерывного измерени  поперечных размеров микрообъекта в процессе его производства.

половин 2 и 3, установленных с возможностью положительного и отрицательного смещений относительно положени  фильтра на оси лазера и соответствующих номинальным значени м контролируемых поперечных размеров объекта на величину +&L и -лЬ, где uL - величина допуска на номинальный поперечный размер, фотоприемный блок, вьшолненный из двух фотоприемников 4 и 5, и шкалу 6, установленную параллельно оси перемещени  фильтра.

20

На чертеже изображена принципиаль- W одной стороны, увеличиваетс , с дру- на  схема устройства дл  измерени  гой - уменьшаетс . Так, например, при поперечных размеров микрообъектов. увеличении размеров объекта 7 по

Устройство содержит последователь- сравнению с заданным освещенность по- но расположенные лазер 1, простран- зади половины 3 пространственного ственный фильтр, выполненный из двух 15 фильтра, расположенного на рассто нии L + iL, увеличиваетс , а освещенность позади половины 2 пространственного фильтра, расположенного на рассто нии L - дЬ, уменьшаетс . Разностный сигнал об освещенност х позади каждой из половин 2 и 3 пространственного фильтра соответствует величине отклонени  диаметра объекта 7 от номинального значени . При измене- 25 НИИ величины заданного номинатьного размера объекта 7 половины 2 и 3 пространственного фильтра совместно перемещаютс  вдоль оси луча лазера 1 в Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Луч лазера 1, попада  на контролируемый объект 7, образует позади него в дальней зоне дифракционную картину Фраунгофера, котора  анализируетс  с помощью пространственного фильтра, состо щего из двух половин 2 и 3. Освещенности позади пространственного фильтра регистрируютс  фотоприемниками 4 и 5, а номинальный поперечный размер контролируемого объекта 7 задаетс  положением пространственного фильтра на оси устройства с помощью шкалы 6.

При Освещении ; лучом лазера 1 контролируемого объекта 7 образуетс  45 целью непрерывного измерени  попереч- дифракционна  картина, характеризуе- ных размеров микрообъекта в процессе ма  угловыми размерами направлений его производства, фильтр вьшолнен из на экстремумы освещенности в ней, ко- двух половин, установленных с возмож- торые определ ютс  поперечными разме- ностью положительного и отрицатель- рами контролируемого объекта 7. При jO ного смещений относительно положени  совпадении размеров контролируемого фильтра на оси лазера.

X) мощью шкалы 6. Величины +ьЬ и -U.L определ ют поле допуска на поперечный размер контролируемого объекта 7.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   35

   Устройство дл  измерени  поперечных размеров микрообъектов, содержащее последовательно расположенные лазер, пространственный фильтр, ус- 40 тановленный с возможностью перемещени  вдоль оси лазера, фотоприемный блок и шкалу, установленную парал- лельно оси перемещени  фильтра, о т- личающеес  тем что, с

   21402

   обьекта 7 с заданным номинальным значением , освещенности позади каждой из половин 2 и 3 пространственного фильтра, регистрируемые фотоприемниками 4 и 5, равны в силу симметрии дифракционной картины. При изменении размеров объекта 7 освещенность позади каждой из половин 2 и 3 пространственного фильтра измен етс : с

   сравнению с заданным освещенность по- зади половины 3 пространственного 5 фильтра, расположенного на рассто нии L + iL, увеличиваетс , а освещенность позади половины 2 пространственного фильтра, расположенного на рассто нии L - дЬ, уменьшаетс . Разностный сигнал об освещенност х позади каждой из половин 2 и 3 пространственного фильтра соответствует величине отклонени  диаметра объекта 7 от номинального значени . При измене- 5 НИИ величины заданного номинатьного размера объекта 7 половины 2 и 3 пространственного фильтра совместно перемещаютс  вдоль оси луча лазера 1 в

   5 целью непрерывного измерени  попереч- ных размеров микрообъекта в процессе его производства, фильтр вьшолнен из двух половин, установленных с возмож- ностью положительного и отрицатель- O ного смещений относительно положени  фильтра на оси лазера.

   ) мощью шкалы 6. Величины +ьЬ и -U.L определ ют поле допуска на поперечный размер контролируемого объекта 7.

   Формула изобретени 

   35

   Устройство дл  измерени  поперечных размеров микрообъектов, содержащее последовательно расположенные лазер, пространственный фильтр, ус- 0 тановленный с возможностью перемещени  вдоль оси лазера, фотоприемный блок и шкалу, установленную парал- лельно оси перемещени  фильтра, о т- личающеес  тем что, с