SU1562704A1 - Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта - Google Patents

Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1562704A1
SU1562704A1 SU884465724A SU4465724A SU1562704A1 SU 1562704 A1 SU1562704 A1 SU 1562704A1 SU 884465724 A SU884465724 A SU 884465724A SU 4465724 A SU4465724 A SU 4465724A SU 1562704 A1 SU1562704 A1 SU 1562704A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
collimating lens
light source
output
unit
photodetector
Prior art date
Application number
SU884465724A
Other languages
English (en)
Inventor
Виталий Николаевич Нищенец
Василий Александрович Кузьменко
Константин Андреевич Комаров
Виктор Андреевич Соколюк
Original Assignee
Институт проблем материаловедения АН УССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт проблем материаловедения АН УССР filed Critical Институт проблем материаловедения АН УССР
Priority to SU884465724A priority Critical patent/SU1562704A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1562704A1 publication Critical patent/SU1562704A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности измерени  за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани  устройства. Источник 4 света с помощью объективов 5, 6 формирует на диффузно отражающей поверхности 21 световое п тно. Объектив 3 осуществл ет построение отраженного светового п тна на фотоприемнике 2. При перемещении диффузно-отражающей поверхности 21 измен етс  сигнал, снимаемый с фотоприемника 2. Сигнал выдел етс  в измерительном блоке 9 с помощью блока 11 выделени  переменной и посто нной составл ющих. Генератор 15 с помощью привода 8 осуществл ет перемещение плоскопараллельной пластины 7, периодически осуществл ющей изменение длины хода лучей, что приводит к перефокусировке п тна на диффузно отражающей поверхности 21. Динамически запоминающие устройства 12, 13, 14 с помощью генератора 15 и инвертора 16 осуществл ют синхронную обработку сигнала. Калибровочный сигнал выдел етс  блоком 17 вычитани  и с помощью блоков 18, 19, 20 измен ет интенсивность излучени  источника 4 света. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использова- но дл  бесконтактного измерени  величины линейных микроперемещений и амплитуды вибраций участков объектов с диффузно отражающими поверхност ми.
Цель изобретени  - повышение точ- ности измерени  за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани  устройства.
На чертеже приведена функциональна  схема устройства.
Устройство содержит оптический блок 1, выполненный в виде оптически св занных фотоприемника 2, коллимиру- н цего объектива 3, источника 4 света, коллимирующего объектива 5, фокусиру- ющего объектива 6, плоскопараллельной пластины 7, св занной с приводом 8, измерительный блок 9, выполненный в виде усилител  10, вход которого Подключен к фотоприемнику 2, блока 11 выделени  переменной и посто нной Составл ющих, вход которого подключен К выходу усилител  10, динамических запоминающих устройства 12-14, информационный вход динамического запоми- нающего устройства 12 подключен к Первому выходу, а информационные входы динамических запоминающих устройств 13 и 14 подключены к второму выходу блока 11 выделени  переменной и посто нной составл ющих, генератора 15, выход которого соединен с приводом 8 и управл ющим входом динамического запоминающего устройства 14 и инвертора 16, вход которого подклю- пен к генератору 15, выход инвертора 16 соединен с управл ющими входами динамических запоминающих устройств 12 и 13, блока 17 вычитани , входы которого подключены к выходам динамических запоминающих устройств 13 и 14, источника 18 опорного напр жени , блока 19 сравнени , входы которого подключены к источнику 18 опорного
5
«;
0
5
о Q
5
напр жени  и выходу блока 17 вычитани , блока 20 питани , вход и выход которого подключены соответственно к выходу блока 19 сравнени  и источнику 4 света.
Контролируют перемещение диффузно отражающей поверхности 21, совпадающее с направлением оптической оси оптического блока 1, и амплитуду ее колебаний.
Устройство работает следующим образом .
Пучок света от источника 4 света, проход  через коллимирующий объектив 5 и фокусирующий объектив 6, образует на измер емой поверхности 21 световое п тно. Коллимирующий объектив
5позвол ет обеспечить фокусировку светового п тна вблизи фокальной плоскости фокусирующего объектива 6. Если измер ема  поверхность 21 находитс  вблизи этой плоскости, то фокусирующий объектив 6 формирует из диффузно отраженного измер емой поверхностью 21 света близкий к параллельному пучок, который направл етс  через коллимирующий объектив 3 на фотоприемник 2. Изменение положени  измер емой поверхности 21 на оптической оси приводит к изменению угла схождени  светового пучка регистрируемого излучени  между объективами
6и 3 и, следовательно, к изменению величины падающего на фотоприемник 2 светового потока. Пропорционально этому изменению мен етс  также и электрический сигнал на выходе фотоприемника 2. Дополнительный коллимирующий объектив 3 позвол ет оптически св зать фотоприемник 2 с фокусиру ,ющим объективом 6 и повысить чувствительность измерени  благодар  более полному использованию регистрируемого светового потока.
Электрический сигнал от фотоприемника 2 попадает в измерительный блок
9, где усиливаетс  усилителем 10, и подаетс  на блок 11 выделени  переменной и посто нной составл ющих сиг- нала, с которого продетектированна  переменна  составл юща  сигнала подаетс  на информационный вход динамического запоминающего устройства 12, а посто нна  составл юща  сигнала - на информационные входы динамических запоминающих устройств 13 и 14.
Оптический калибр представл ет собой прозрачную дл  излучени  источника 4 света плоскопараллельную пластину 7, расположенную таким образом, что в исходном состо нии она исключена из оптической схемы устройства, а при подаче на привод 8 управл ющего импульса от генератора 15 устанавливаетс  на оптическую ось между излучателем 4 и коллимирующим объективом 5. При этом измен етс  положение фокусировки светового п тна на поверхности 21, что эквивалентно смещению поверхности 21 на известную величину и, соответственно, заданному изменению выходного сигнала, снимаемого с фотоприемника 2.
Управл ющий импульс с генератора 15 подаетс  также на управл ющие входы динамических запоминающих устройств 12-14, причем на динамические запоминающие устройства 12 и 13 - через инвертор 16. Это приводит к тому, что на врем  действи  оптического калибра динамические запоминающие устройства 12 и 13 переключаютс  в режим хранени  переменной и посто нной составл ющих сигнала, динамическое запоминающее устройство 14 - в режим записи измененной на калиброванную величину посто нной составл ющей сигнала. В блоке 17 вычитани  выдел етс  разностный сигнал, поступающий с динамических запоминающих устройств 13 и 14, и сравниваетс  с опорным напр жением источника 18 опорного напр жени  в блоке 19 сравнени . Если разность отличаетс  от опорного напр жени , то с блока 19 сравнени  на блок 20 питани  подаетс  управл ющий сигнал, измен ющий напр жение питани  источника 4 света. Така  калибровка осуществл етс  кратковременно и позвол ет вести процесс измерени  непрерывно.
Сигнал на выходе динамического запоминающего устройства 13 св зан с величиной перемещени  измер емого
0
5
0
5
0
5
0
5
0
5
участка поверхности 21, а на ныходе динамического запоминающего ус грой- сгва 12 - с величиной амплитуды вибраций того же участка.
Использование устройства позвол ет повысить точность измерени  за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани .

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Устройство дл  измерени  перемещени  диффузно отражающей поверхности объекта, содержащее оптически св занные источник света, фокусирующий объектив, фотоприемник, измерительный блок, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени  за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани  устройства , оно снабжено первым коллимирующим объективом, установленным между источником света и фокусирующим объективом , диаметр зрачка коллимирую- щего объектива меиыле диаметра зрачка фокусирующего объектива, источник света расположен в фокальной плоскости первого коллимирующего объектива, вторым коллимирующим объективом, установленным меаду фотоприемником и источником света, диаметр зрачка второго коллимирующего объектива равен или больше диаметра зрачка фокусирующего объектива, фотоприемник установлен в фокальной плоскости второго коллимирующего объектива, фотоприемник , второй коллимирующий объектив, источник свегл, первый коллимирующий объектив, фокусирующий объектив расположены на одной оптической оси, при- водом, плоскопараллельной пластиной, св занной с приводом, имеющей возможность периодической установки между источником света и первым коллимирующим объективом, измерительный блок выполнен в виде блока выделени  переменной и посто нной составл ющих, вход которого св зан с фотоприемни- ком, трех динамических запоминающих устройств, информационный вход первого динамического запоминающего устройства подключен к первому выходу, а информационные входы второго и третьего динамических запоминающих устройств - к второму выходу блока выделени  переменной и посто нной составл ющих , генератора, выход которого соединен с приводом и управл ющим входом третьего динамического запо7 1562704. 8
    минающего устройства, инвертора, входкоторого подключены к выходам -второ-
    которого подключен к генератору, вы-го и третьего запоминающих устройств,
    ход инвертора соединен с управл ющими источника опорного напр жени , блока
    входами первого и второго динамичес-,. сравнени , входы которого подключены
    ких запоминающих устройств, выходык источнику опорного напр жени  и
    которых  вл ютс  выходами измеритель-выходу блока вычитани , выход блока
    ного блока, блока вычитани , входывычитани  св зан с источникам света.
SU884465724A 1988-07-20 1988-07-20 Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта SU1562704A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884465724A SU1562704A1 (ru) 1988-07-20 1988-07-20 Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884465724A SU1562704A1 (ru) 1988-07-20 1988-07-20 Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1562704A1 true SU1562704A1 (ru) 1990-05-07

Family

ID=21391996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884465724A SU1562704A1 (ru) 1988-07-20 1988-07-20 Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1562704A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2688877A1 (fr) * 1992-03-17 1993-09-24 Peugeot Appareil optique de mesure de microdeplacements dans son plan d'un objet perpendiculairement a un axe optique de visee.

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР (f 832350, кл. G 01 Н 9/00, 1981. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2688877A1 (fr) * 1992-03-17 1993-09-24 Peugeot Appareil optique de mesure de microdeplacements dans son plan d'un objet perpendiculairement a un axe optique de visee.

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69920023D1 (de) Vermessen eines dreidimensionalen körpers durch konfokale fokussierung einer matrix von lichtstrahlen
WO1988002846A1 (en) Optical measuring probe
JPS62201301A (ja) レ−ザ−干渉測長機
SU1562704A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта
JPH11201718A (ja) センサ装置及び距離測定装置
JPH04283683A (ja) 光波測距装置
JPS58169008A (ja) 光学式位置測定装置
SU1067353A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
SU1312384A1 (ru) Устройство дл измерени линейного смещени объекта
CN210802701U (zh) 一种基于干涉方式的激光波长测量装置
CN210689822U (zh) 一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置
SU371429A1 (ru) Автоколлимационный фотоэлектрический датчик угла рассогласования
JPH11142110A (ja) 電荷結合素子型光検出器及びそれを用いた距離測定装置
SU1523921A1 (ru) Фотоимпульсный способ измерени линейных размеров
SU1548669A1 (ru) Оптический профилометр
SU1208478A2 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
RU2044264C1 (ru) Оптический датчик перемещений
SU1188538A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров прозрачных и полупрозрачных тел
SU1241062A1 (ru) Лазерный измеритель линейных перемещений поверхности
SU1471069A1 (ru) Устройство дл измерени геометрических параметров поверхностей
SU1054680A1 (ru) Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов
SU1569533A1 (ru) Устройство дл контрол качества поверхности плоских деталей
JPS57113342A (en) Eccentricity measurement
SU1186942A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени профил полированных поверхностей
SU1481602A1 (ru) Прозрачномер