SU1562704A1 - Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта - Google Patents
Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1562704A1 SU1562704A1 SU884465724A SU4465724A SU1562704A1 SU 1562704 A1 SU1562704 A1 SU 1562704A1 SU 884465724 A SU884465724 A SU 884465724A SU 4465724 A SU4465724 A SU 4465724A SU 1562704 A1 SU1562704 A1 SU 1562704A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- collimating lens
- light source
- output
- unit
- photodetector
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени - повышение точности измерени за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани устройства. Источник 4 света с помощью объективов 5, 6 формирует на диффузно отражающей поверхности 21 световое п тно. Объектив 3 осуществл ет построение отраженного светового п тна на фотоприемнике 2. При перемещении диффузно-отражающей поверхности 21 измен етс сигнал, снимаемый с фотоприемника 2. Сигнал выдел етс в измерительном блоке 9 с помощью блока 11 выделени переменной и посто нной составл ющих. Генератор 15 с помощью привода 8 осуществл ет перемещение плоскопараллельной пластины 7, периодически осуществл ющей изменение длины хода лучей, что приводит к перефокусировке п тна на диффузно отражающей поверхности 21. Динамически запоминающие устройства 12, 13, 14 с помощью генератора 15 и инвертора 16 осуществл ют синхронную обработку сигнала. Калибровочный сигнал выдел етс блоком 17 вычитани и с помощью блоков 18, 19, 20 измен ет интенсивность излучени источника 4 света. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использова- но дл бесконтактного измерени величины линейных микроперемещений и амплитуды вибраций участков объектов с диффузно отражающими поверхност ми.
Цель изобретени - повышение точ- ности измерени за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани устройства.
На чертеже приведена функциональна схема устройства.
Устройство содержит оптический блок 1, выполненный в виде оптически св занных фотоприемника 2, коллимиру- н цего объектива 3, источника 4 света, коллимирующего объектива 5, фокусиру- ющего объектива 6, плоскопараллельной пластины 7, св занной с приводом 8, измерительный блок 9, выполненный в виде усилител 10, вход которого Подключен к фотоприемнику 2, блока 11 выделени переменной и посто нной Составл ющих, вход которого подключен К выходу усилител 10, динамических запоминающих устройства 12-14, информационный вход динамического запоми- нающего устройства 12 подключен к Первому выходу, а информационные входы динамических запоминающих устройств 13 и 14 подключены к второму выходу блока 11 выделени переменной и посто нной составл ющих, генератора 15, выход которого соединен с приводом 8 и управл ющим входом динамического запоминающего устройства 14 и инвертора 16, вход которого подклю- пен к генератору 15, выход инвертора 16 соединен с управл ющими входами динамических запоминающих устройств 12 и 13, блока 17 вычитани , входы которого подключены к выходам динамических запоминающих устройств 13 и 14, источника 18 опорного напр жени , блока 19 сравнени , входы которого подключены к источнику 18 опорного
5
«;
0
5
о Q
5
напр жени и выходу блока 17 вычитани , блока 20 питани , вход и выход которого подключены соответственно к выходу блока 19 сравнени и источнику 4 света.
Контролируют перемещение диффузно отражающей поверхности 21, совпадающее с направлением оптической оси оптического блока 1, и амплитуду ее колебаний.
Устройство работает следующим образом .
Пучок света от источника 4 света, проход через коллимирующий объектив 5 и фокусирующий объектив 6, образует на измер емой поверхности 21 световое п тно. Коллимирующий объектив
5позвол ет обеспечить фокусировку светового п тна вблизи фокальной плоскости фокусирующего объектива 6. Если измер ема поверхность 21 находитс вблизи этой плоскости, то фокусирующий объектив 6 формирует из диффузно отраженного измер емой поверхностью 21 света близкий к параллельному пучок, который направл етс через коллимирующий объектив 3 на фотоприемник 2. Изменение положени измер емой поверхности 21 на оптической оси приводит к изменению угла схождени светового пучка регистрируемого излучени между объективами
6и 3 и, следовательно, к изменению величины падающего на фотоприемник 2 светового потока. Пропорционально этому изменению мен етс также и электрический сигнал на выходе фотоприемника 2. Дополнительный коллимирующий объектив 3 позвол ет оптически св зать фотоприемник 2 с фокусиру ,ющим объективом 6 и повысить чувствительность измерени благодар более полному использованию регистрируемого светового потока.
Электрический сигнал от фотоприемника 2 попадает в измерительный блок
9, где усиливаетс усилителем 10, и подаетс на блок 11 выделени переменной и посто нной составл ющих сиг- нала, с которого продетектированна переменна составл юща сигнала подаетс на информационный вход динамического запоминающего устройства 12, а посто нна составл юща сигнала - на информационные входы динамических запоминающих устройств 13 и 14.
Оптический калибр представл ет собой прозрачную дл излучени источника 4 света плоскопараллельную пластину 7, расположенную таким образом, что в исходном состо нии она исключена из оптической схемы устройства, а при подаче на привод 8 управл ющего импульса от генератора 15 устанавливаетс на оптическую ось между излучателем 4 и коллимирующим объективом 5. При этом измен етс положение фокусировки светового п тна на поверхности 21, что эквивалентно смещению поверхности 21 на известную величину и, соответственно, заданному изменению выходного сигнала, снимаемого с фотоприемника 2.
Управл ющий импульс с генератора 15 подаетс также на управл ющие входы динамических запоминающих устройств 12-14, причем на динамические запоминающие устройства 12 и 13 - через инвертор 16. Это приводит к тому, что на врем действи оптического калибра динамические запоминающие устройства 12 и 13 переключаютс в режим хранени переменной и посто нной составл ющих сигнала, динамическое запоминающее устройство 14 - в режим записи измененной на калиброванную величину посто нной составл ющей сигнала. В блоке 17 вычитани выдел етс разностный сигнал, поступающий с динамических запоминающих устройств 13 и 14, и сравниваетс с опорным напр жением источника 18 опорного напр жени в блоке 19 сравнени . Если разность отличаетс от опорного напр жени , то с блока 19 сравнени на блок 20 питани подаетс управл ющий сигнал, измен ющий напр жение питани источника 4 света. Така калибровка осуществл етс кратковременно и позвол ет вести процесс измерени непрерывно.
Сигнал на выходе динамического запоминающего устройства 13 св зан с величиной перемещени измер емого
0
5
0
5
0
5
0
5
0
5
участка поверхности 21, а на ныходе динамического запоминающего ус грой- сгва 12 - с величиной амплитуды вибраций того же участка.
Использование устройства позвол ет повысить точность измерени за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани .
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта, содержащее оптически св занные источник света, фокусирующий объектив, фотоприемник, измерительный блок, отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерени за счет оперативной калибровки коэффициента преобразовани устройства , оно снабжено первым коллимирующим объективом, установленным между источником света и фокусирующим объективом , диаметр зрачка коллимирую- щего объектива меиыле диаметра зрачка фокусирующего объектива, источник света расположен в фокальной плоскости первого коллимирующего объектива, вторым коллимирующим объективом, установленным меаду фотоприемником и источником света, диаметр зрачка второго коллимирующего объектива равен или больше диаметра зрачка фокусирующего объектива, фотоприемник установлен в фокальной плоскости второго коллимирующего объектива, фотоприемник , второй коллимирующий объектив, источник свегл, первый коллимирующий объектив, фокусирующий объектив расположены на одной оптической оси, при- водом, плоскопараллельной пластиной, св занной с приводом, имеющей возможность периодической установки между источником света и первым коллимирующим объективом, измерительный блок выполнен в виде блока выделени переменной и посто нной составл ющих, вход которого св зан с фотоприемни- ком, трех динамических запоминающих устройств, информационный вход первого динамического запоминающего устройства подключен к первому выходу, а информационные входы второго и третьего динамических запоминающих устройств - к второму выходу блока выделени переменной и посто нной составл ющих , генератора, выход которого соединен с приводом и управл ющим входом третьего динамического запо7 1562704. 8минающего устройства, инвертора, входкоторого подключены к выходам -второ-которого подключен к генератору, вы-го и третьего запоминающих устройств,ход инвертора соединен с управл ющими источника опорного напр жени , блокавходами первого и второго динамичес-,. сравнени , входы которого подключеныких запоминающих устройств, выходык источнику опорного напр жени икоторых вл ютс выходами измеритель-выходу блока вычитани , выход блоканого блока, блока вычитани , входывычитани св зан с источникам света.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884465724A SU1562704A1 (ru) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884465724A SU1562704A1 (ru) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1562704A1 true SU1562704A1 (ru) | 1990-05-07 |
Family
ID=21391996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884465724A SU1562704A1 (ru) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1562704A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2688877A1 (fr) * | 1992-03-17 | 1993-09-24 | Peugeot | Appareil optique de mesure de microdeplacements dans son plan d'un objet perpendiculairement a un axe optique de visee. |
-
1988
- 1988-07-20 SU SU884465724A patent/SU1562704A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР (f 832350, кл. G 01 Н 9/00, 1981. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2688877A1 (fr) * | 1992-03-17 | 1993-09-24 | Peugeot | Appareil optique de mesure de microdeplacements dans son plan d'un objet perpendiculairement a un axe optique de visee. |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69920023D1 (de) | Vermessen eines dreidimensionalen körpers durch konfokale fokussierung einer matrix von lichtstrahlen | |
WO1988002846A1 (en) | Optical measuring probe | |
JPS62201301A (ja) | レ−ザ−干渉測長機 | |
SU1562704A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени диффузно отражающей поверхности объекта | |
JPH11201718A (ja) | センサ装置及び距離測定装置 | |
JPH04283683A (ja) | 光波測距装置 | |
JPS58169008A (ja) | 光学式位置測定装置 | |
SU1067353A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений объекта | |
SU1312384A1 (ru) | Устройство дл измерени линейного смещени объекта | |
CN210802701U (zh) | 一种基于干涉方式的激光波长测量装置 | |
CN210689822U (zh) | 一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置 | |
SU371429A1 (ru) | Автоколлимационный фотоэлектрический датчик угла рассогласования | |
JPH11142110A (ja) | 電荷結合素子型光検出器及びそれを用いた距離測定装置 | |
SU1523921A1 (ru) | Фотоимпульсный способ измерени линейных размеров | |
SU1548669A1 (ru) | Оптический профилометр | |
SU1208478A2 (ru) | Устройство дл измерени перемещений объекта | |
RU2044264C1 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
SU1188538A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров прозрачных и полупрозрачных тел | |
SU1241062A1 (ru) | Лазерный измеритель линейных перемещений поверхности | |
SU1471069A1 (ru) | Устройство дл измерени геометрических параметров поверхностей | |
SU1054680A1 (ru) | Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов | |
SU1569533A1 (ru) | Устройство дл контрол качества поверхности плоских деталей | |
JPS57113342A (en) | Eccentricity measurement | |
SU1186942A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени профил полированных поверхностей | |
SU1481602A1 (ru) | Прозрачномер |