SU1054680A1 - Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов - Google Patents

Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов Download PDF

Info

Publication number
SU1054680A1
SU1054680A1 SU813366174A SU3366174A SU1054680A1 SU 1054680 A1 SU1054680 A1 SU 1054680A1 SU 813366174 A SU813366174 A SU 813366174A SU 3366174 A SU3366174 A SU 3366174A SU 1054680 A1 SU1054680 A1 SU 1054680A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
opaque
electric signal
linear dimensions
boundary
opaque objects
Prior art date
Application number
SU813366174A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Казимирович Чехович
Original Assignee
Институт электроники АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН БССР filed Critical Институт электроники АН БССР
Priority to SU813366174A priority Critical patent/SU1054680A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1054680A1 publication Critical patent/SU1054680A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

сл
О)
00
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть иtпoльзoвaнo дл  измерени  линейных размеров непро. зрачных объектов, например ширины проката.5
Известен способ измерени  линейных размеров непрозрачных объектов, заключающийс  в том, что проецируют пучок света на непрозрачный обгект, перемещают непрозрачный объект относи-. Q тельно пучка света, преобразуют световой поток, диафрагмированный границей объекта, в измен ющийс  по амплитуде электрический сигнал, выдел ют характерные точки электрического сиг- j нала, например экстремальные, наход т временной интервал между экстремальными точками, по которому суд т о линейном размере епрозрачного объектгО 1Недостатком известного способа  в- Q л етс  невысока  точность измерени , вызываема  наличием в электрическом сигнале монотонных участков, затрудн ющих формирование экстремальных точек.25
Цель изобретени  - повышение точности измерени .
Указанна  цель достигаетс  тем, что согласно способу измерени  линейных размеров непрозрачных объектов.
заключающемус  в том, что проецируют пучок света на непрозрачный перемещают объект относительно пучка света, преобразуют световой поток, диафрагмированный границей объекта, в измен ющийс  по амплитуде электри- 35
ческий сигнал, выдел ют характерные точки электрического сигнала, например экстремальные точки, наход т временной интервал между экстремальными очками, по которому суд т о линейном О размере непрозрачного объекта, в измен юшийс  по амплитуде электрический, сигнал преобразуют диафрагмированный границей объекта световой поток в
аправлении, не совпадающем с направ- 5 ением пучка лучей, проецируемого на бъект.
На чертеже представлена функциональна  схема устройства, осуществ ющего способ.50
Устройство содержит источник 1 когерентного монохроматического излуени , фокусирующий объектив 2, переещающийс  столик 3 объектив k, аер-
кало 5 фотоприемник 6, блок 7 диффе- 55 енцировани , блок 8 выделени  моду , блоки 9 и 10 дифференцировани .
датчик 11 линейных перемещений, блок 12 регистрации, измер ющий линейный размер объекта 13;
Устройство работает следующим образом .
Пучок лучей, сформированный источником I когерентного монохроматического излучени , фокусируетс  на поверхности объекта 13, установленного на перемещающемс  столике 3/
При диафрагмировании пучка лучей границей объекта 13 при его перемещении возникает дифракционна  картина , центральный дифракционный максимум которой не попадает в поле зрени  объектива , который собирает пучки лучей в направлении, не совпадающем с направлением падающего на объект 13, пучки лучей.
Пучки лучей, прошедшие через объектив k, отклон ютс  зеркалом 5 и гюпадают на фотоприемник б, выходной сигнал с которого дифференцируетс  блоком 7 дифференцировани , выде .л етс  по модулю блокрм 8 выделени  модул , дважды дифференцируетс  блоками 9 и 10 дифференцировани . .
При диафрагмировании одной из границ объекта 13 светового пучка, сформированного фокусирующим объективом 2, на выходе блока 10 дифференцировани  формируетс  первый импульс а при диафрагмировании второй границей объекта 13 светового пучка на выходе блока 10 фор1 1руетс  вторбй импульс.
Сформированный временной интервал пропорциональный линейному размеру объекта 13, заполн етс  импульса «1 формируемыми датчиком 11 линейных перемещений , св занным со столиком 3, и регистрируетс  блоком 12 регистрации .
Таким образом, при измерении согласно предлагаемому способ исключаютс  погрешности, св занные самплитудными изменени ми, искажающими форму фронтов импульсов, с. наличием линейных участков на фронтах, с флуктуаци ми прозрачности или коэффициента отражени  и т.д., так как нет необходимости определ ть точки перегиба на фронтах и(тульса, поскольку он имеет треугольную форму с вершинами, соответствующими моментам сканировани  границ элементов предмета. При этом точность измерени  повышаетс  при|14ерно в два раза.
11
8
I
a
dt
I
Ю
& di

Claims (1)

  1. . СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ НЕПРОЗРАЧНЫХ ОБЪЕКТОВ, заключающийся в том, что проецируют пучок света на непрозрачный объект, перемещают объект'относительно пучка света, преобразуют световой поток, диафрагмированный границей объекта, в изменяющийся по амплитуде электрический сигнал, выделяют характерные' точки электрического сигнала, например экстремальные точки, находят временной интервал между экстремальными точками, по которому судят о линейном размере Непрозрачного объекта, отличающийся тем, что, с це лью повышения точности измерения, в· изменяющийся по амплитуде электрический сигнал преобразуют диафрагмирован ный границей объекта световой поток в направлении, не совпадающем с направлением пучка лучей, проецируемого на объект.
SU813366174A 1981-12-15 1981-12-15 Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов SU1054680A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813366174A SU1054680A1 (ru) 1981-12-15 1981-12-15 Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813366174A SU1054680A1 (ru) 1981-12-15 1981-12-15 Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1054680A1 true SU1054680A1 (ru) 1983-11-15

Family

ID=20986827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813366174A SU1054680A1 (ru) 1981-12-15 1981-12-15 Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1054680A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Зарезанков Г.Х. Фотоэлектронные приборы автоматического контрол размеров проката. М,, Госуд. научнотехним. изд-во литературы по черной и цветной металлургии, 19б2, . *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4717255A (en) Device for measuring small distances
US4701049A (en) Measuring system employing a measuring method based on the triangulation principle for the non-contact measurement of a distance from the surface of a contoured object to a reference level. _
US4573193A (en) Individual identification apparatus
US4744661A (en) Device for measuring small distances
US4299491A (en) Noncontact optical gauging system
US4813782A (en) Method and apparatus for measuring the floating amount of the magnetic head
US3554646A (en) Optical distance gage
NL8005258A (nl) Interferometer.
US3900264A (en) Electro-optical step marker
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
SU1054680A1 (ru) Способ измерени линейных размеров непрозрачных объектов
EP0310231B1 (en) Optical measuring apparatus
RU2092787C1 (ru) Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления
US4601581A (en) Method and apparatus of determining the true edge length of a body
JPH06258040A (ja) レーザー変位計
JPS57190202A (en) Device for reading optical scale
SU1320663A1 (ru) Устройство дл измерени рассто ни до отражающей поверхности
SU1681168A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
RU2085836C1 (ru) Оптическое устройство для измерения расстояния от поверхности до исходной точки
SU1508092A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
SU1620829A1 (ru) Фотометрический способ измерени угла конуса детали
SU1384948A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
SU1523907A1 (ru) Сферометр
SU968603A1 (ru) Датчик линейных перемещений
SU1188535A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл измерени линейных и угловых перемещений