SU1474453A1 - Интерферометр сдвига - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  изучени  статических и динамических фазовых объектов интерферометрическими методами. Цель изобретени  - увеличение производительности путем получени  нескольких интерферограмм с различным направлением и шириной полос за одну экспозицию. Объект 7 исследовани  помещаетс  в параллельный пучок света, сформированный коллиматором 2 от источника 1. Объектив 3 направл ет пучок на светоделительный элемент 4, выполненный в виде N пар дифракционных решеток с различным периодом решеток в паре и углом пересечени  решеток в каждой паре. Диафрагма 5 отфильтровывает первые пор дки дифракции от решеток, которые формируют в плоскости регистрации 6 N интерференционных картин, расположенных по окружности относительно оси прибора. 2 ил.

Description

Наклон полос на интерферограммах определ етс  по формуле

cosot

lLiIzlL.

или

21,1.

cos об --АжЩЈ1- ш..Ш 1-|4 t Ty/2 )+V+4 tg (у/2) V- sin(y/2)

Claims (1)

1. Формула изобретени  э: тительную систему/ включающую источник излучени  и коллиматор, и прием- Интерферометр сдвига, содержащийную систему, содержащую объектив и последовательно установленные осве-светоделительный элемент, о т п и чающийс  тем, что, с целью

   увеличени  производительности путем получени  нескольких интерферограмм с различным направлением и шириной полос в результате одной экспозиции, интерферометр снабжен диафрагмой с п радиальными щел ми, установленной

   ъ- З --1474453 4

   в фокальной плоскости объектива, а

   светоделительный элемент выполнен в виде п пар дифракционных решеток, имеющих разный период в паре и установленных так, что штрихи решеток в каждой паре пересекаютс  под разными углами.

   V

   Фиг.1