SU1363935A1

SU1363935A1 - ELLIPSOMETER

Info

Publication number: SU1363935A1
Application number: SU4025024/25A
Authority: SU
Inventors: Н.Н. Беккауер; Н.В. Загоруйко; Л.А. Осадчев; К.К. Свиташев; А.А. Тищенко
Original assignee: Университет дружбы народов им.Патриса Лумумбы
Priority date: 1985-10-21
Filing date: 1985-10-21
Publication date: 2000-03-27

Abstract

1. Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные лазерный источник излучения и круговой поляризатор, поляризатор и компенсатор, расположенные в плече поляризатора, а также зеркальную диафрагму, экран для визуального наблюдения и фотоприемник, расположенные в плече анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений оптических характеристик анизотропных и не однородных по поверхности образцов, он дополнительно содержит кинематически сопряженную с плечом поляризатора диафрагму, расположенную после компенсатора по ходу излучения лазерного источника.2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что перед анализатором по ходу излучения лазерного источника расположена диафрагма.1. An ellipsometer containing a sequentially installed and optically coupled laser radiation source and a circular polarizer, a polarizer and a compensator located in the shoulder of the polarizer, as well as a mirror aperture, a screen for visual observation and a photodetector located in the analyzer shoulder, characterized in that increase the accuracy of measurements of the optical characteristics of anisotropic and non-uniform samples over the surface, it additionally contains a kinematically coupled diaphragm with a polarizer arm, after the compensator during the course of the laser source radiation. The ellipsometer according to claim 1, wherein a diaphragm is located in front of the analyzer as the laser source is emitted.