SU1283521A1 - Интерферометр дл контрол изменени формы поверхности оптических элементов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано , в частности, до  непре- рьшного контрол  измерений оптических параметров полимерных материалов в процессе изготовлени  из них фоторе гистрирующих сред. Цель изобретени  - возможность контрол  изменени  формы и одновременно толщины полимерных оптических элементов с отражающими поверхност ми в процессе насьпдени  их газом, фотоэкспони- ровани , газоотделени  после фотоэкспонировани . Пучок лучей от монохроматического источника 1 света преобразуетс  коллиматором 2 в параллельный пучок, делитс  на рабочий и эталонный пучки светоделителем 3, рабочий пучок отражаетс  от отражающих поверхностей элементов 4, 5, зеркала 6, а эталонный - от зеркал 7, 8, 9. Далее на светоделителе 3 они совмещаютс , интерферируют пары пучков, отражеюн,1Х от оптически сопр женных зеркальных пар 6-9, 5-8, 4-7. Интерференционные картины рассматриваютс  с помощью наблюдательной системы 10. 1 ил. (О W

Description

ю

00

со ел

fO

15

20

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано , в частности, дл  непрерывного контрол  изменений оптических параметров полимерных материалов в процессе изготовлени  из них фото- ре гистрирующих сред.

Цель изобретени  - возможность контрол  изменени  формы и одновременно толщины полимерных оптических элементов с отражающими поверхност ми в процессе насьпцени  их газом, фотоэкспонировани , газоотделени  после фотоэкспонировани .

На чертеже изображена принципиальна  схема предлагаемого интерферометра .

Интерферометр содер сит последовательно установленные монохроматический источник 1 света, коллиматор 2 и светоделитель 3, дел щий световой поток на две ветви - рабочую и эталонную, два полимерных оптических элемента 4 и 5 с зеркалый ми поверхност ми и плоское зеркало 6, уставов- ходит относительное ленные в рабочей ветви, два образцовых зеркала 7 и 8 и плоское зеркало 9, установленные в эталонной ветви, наблюдательную систему 10. Зеркало 6 выполнено с возможностью размещени  на нем двух полимерных элементов 4 и 5. Зеркала 7 и 8 оптически сопр жены с элементами 4 и 5 через светоделитель 3. I

Интерферометр работает следующим

образом.

Пучок лучей от монохроматического источника 1 счета преобразуетс  коллиматором 2 в параллельный пучок, делитс  на рабочий и эталонный пучки светоделителем 3, рабочий пучок отражаетс  от отражающих поверхностей элементов 4 и 5, зеркала 6, а эталонный - от зеркал 7-9. Далее на светоделителе 3 они совмещаютс , интерферируют пары пучков, отраженных от оптически сопр женных зеркальных пар, образованных зеркалами 6 и 9, элементом 5 и зеркалом 8, элементом 4 и зеркалом 7, Интерференционные картины рассматриваютс  с помощью наблюдательной: системы 10.

Перед началом работы необходимо произвести следующее: к оптической поверхности зеркала 6 в центральной его зоне приклеиваютс  элементы 4 и 5 в виде двух полукругов плоско- параллельной пластинки полимерного

материала, изготавли одной пластинки путе на две части, а прик образом, чтобы полу зором примерно I мм ми. Диаметр разрезае го круга равен приме диаметра зеркала 6. 9-7, оптически сопр  ственно с зеркалом 6 4 и имеющие независи юстируютс  таким обр выходе наблюдательно лучилось три интерфе тины с нулевым цвето элементы 4 и 5 насыщ газом. После заверш с помощью специальн ( не показан) на элем дliтc  фоторегистраци информации путем фот В процессе этих опер изменение формы и ра тов 4 и 50 в резуль

ческих поверхностей зеркала 6, элемент элементов 5 и 4.

Так как зеркало риала. Который не н либо газом, то его танетс  неизменной. ни  насыщени  элем начнет выходить из

По тому, как буд терференционна  кар ности элемента 4 от ференционной картин зеркала 6, можно оп мен етс  толщина и ти элемента 4 в про

По тому, как буд интерференционна  к ности элемента 5 от терференционной кар ности зеркала 6, мо как мен етс  толщин ности элемента 5 в ни  его каким-либо 50 цессе экспонировани . некоторое врем  пос

По тому, как буд интерференционна  к ности элемента 5 от ференционной картин элемента 4, можно о измен етс  толщин ности элементов 4 и

30

35

40

O

15

0

ходит относительное

материала, изготавливаютс  они из одной пластинки путем ее разрезани  на две части, а приклеиваютс  таким образом, чтобы получилс  круг с зазором примерно I мм между половинками . Диаметр разрезаемого полимерного круга равен примерно половине диаметра зеркала 6. Далее зеркала 9-7, оптически сопр женные соответственно с зеркалом 6 и элементами 5, 4 и имеющие независимые подвижки, юстируютс  таким образом, чтобы на выходе наблюдательной системы 10 получилось три интерференционные картины с нулевым цветом. После чего элементы 4 и 5 насыщшот каким-либо газом. После завершени  насыщени  с помощью специального устройства (не показан) на элемент 5 произво- дliтc  фоторегистраци  какой-либо информации путем фотоэкспонировани . В процессе этих операций происходит изменение формы и размеров элементов 4 и 50 в результате чего происсмещение оптических поверхностей элемента 5 и зеркала 6, элемента 4 и зеркала 6, элементов 5 и 4.

Так как зеркало б сделано из материала . Который не насыщаетс  каким- либо газом, то его поверхность останетс  неизменной. После завершени  насыщени  элементов 4 и 5 газ начнет выходить из них.

По тому, как будет мен тьс  интерференционна  картина от поверхности элемента 4 относительно интерференционной картины от поверхности зеркала 6, можно определить, как измен етс  толщина и форма поверхности элемента 4 в процессе насыщени .

По тому, как будет мен тьс  интерференционна  картина от поверхности элемента 5 относительно ин- терференционной картины от поверхности зеркала 6, можно определить как мен етс  толщина и форма поверхности элемента 5 в процессе насыщени  его каким-либо газом и в про- 50 цессе экспонировани , а также через .некоторое врем  после экспонировани .

По тому, как будет измен тьс  интерференционна  картина от поверхности элемента 5 относительно интерференционной картины от поверхности элемента 4, можно определить как измен етс  толщина и форма поверхности элементов 4 и 5 в процессе

30

35

40

фотоэкспонировани . В данном случае вли ние выхода газа из элемента 5 не помешает определить абсолютное вли ние, фотоэкспонировани  на толщину и форму поверхности элемента 5.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Интерферометр дл  контрол  изменени  формы поверхности оптических элементов, содержащий последовательно установленные источник света, коллиматор и светоделитель, дел щий световой поток на две ветки - рабочую и эталоннук}, плоское зеркало в эталонной ветви, плоское зеркало в рабочей ветви и наблюдательную

   систему, отличающийс  тем, что, с целью возможности контрол  изменени  формы и одновременно толщины полимерных оптических элементов с отражающими поверхност ми в процессе насыщени  их газом, фотоэкспонировани , газоотделени  после фотозкспрнировани , он снабжен двум  образцовыми зеркалами, установленными перед плоским зеркалом эталонной ветви в плоскости, параллельной его отражающей поверхности, плоское зеркало рабочей ветв выполнено с возможностью размещени  на нем даух полимерных элементов, оптически сопр женных с образцовыми зеркалами через светоделитель.