SU954812A1 - Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми,одна из которых прозрачна - Google Patents
Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми,одна из которых прозрачна Download PDFInfo
- Publication number
- SU954812A1 SU954812A1 SU813245382A SU3245382A SU954812A1 SU 954812 A1 SU954812 A1 SU 954812A1 SU 813245382 A SU813245382 A SU 813245382A SU 3245382 A SU3245382 A SU 3245382A SU 954812 A1 SU954812 A1 SU 954812A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- light source
- gap
- branches
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к контрольнонзмеритепьной технике и может €ыть использовано дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми, в частности дл измерени динамического неконтакта между магнитной голоыюй и поверхностью диска.
Цель изобретени - обеспечение изме- . рени зазоров между поверхност ми различной формы.
Указанна цель достигаетс тем, что устройство снабжено втйрым светоделителем , расположенным на пути отражен- ного от первого светоделител светового потока и дел щим свеговой поток на две ветви, двум светофильтрами дл пропускани световых потоков определенных частот, каждый из которых располсисен 20 в одной из этих ветвей, а в качестве осветител использован источник света излучающий световой поток не менее двух определенных частот.
На чертеже изображена приншшиаль- , на -схема устройства дл измерени малых зазоров между, двум поверхност ми одна из которых прбзрачна .
, Устрой(ство содержит последовательно расположенные осветитель 1 - источник света, излучающий световой поток, не менее двух определенных частот, т.е. полихроматический световой поток, первый светоделитель 2, второй светоделитель 3, светофильтры 4 и 5 дл пропускани световых потоков определенных частот к блок регистрации интенсивности световых потоков, включающий фотодетекторы 6 и 7 и двухканальный осциллограф 8..
Устройство работает следующим образом .
Claims (1)
- Излучаемый источником света полихроматический световой поток проходит через первый светоделитель 2 и направл етс на измер емый зазор, образуемый поверхност ми 9 и 10. Отраженные этими поверхност ми интерферирующие лучи первым светоделителем 2 направл ютс на второй светоделитель 3, который направл ет их через светофильтры 4 и 5, каждый из которых пропускает свет определеннор частоты не фотодетекторы 6и 7. Сигналы от фотодетекторов 6 и 7поступают на двухканальный осциллограф 8. Зарегистрированные моментные величины световых потоков вл ютс исходными данными дл определени по известному алгоритму абсолютной момент нрй величины зазора, в точке падени луча от источника света. Так как на измер емый зазор направл етс вместо двух лучей одаш луч света, т ощибка из-за разной длины их оптических путей в зазоре исключаетс полностью. Следовательно, форма поверхностей, о&разук цих зазор, не оказывает никакого вли ни на точность измерени . 95 24 Формула изобретени Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми, одна из которых прозрачна , содержащее последовательно расположенные осветитель, светоделитель и блок регистрации интенсивности световых потоков, отличающеес тем, что, с целью измерю- ни зазоров между поверхност ми различной формы, оно снаб(жено вторым светоделителем , расположенным на пути отраженного от первого светоделител светового патока и дел щим световой пот .ок на две ветви, двум светофшшграми лп пропусканий световых потоков определенных частот, каждый из которых расположен в одной из этих ветвей, а в качестве осветител использован источник света, излучающий све говой поток не менее двух определенных частот
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813245382A SU954812A1 (ru) | 1981-02-09 | 1981-02-09 | Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми,одна из которых прозрачна |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813245382A SU954812A1 (ru) | 1981-02-09 | 1981-02-09 | Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми,одна из которых прозрачна |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU954812A1 true SU954812A1 (ru) | 1982-08-30 |
Family
ID=20942136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813245382A SU954812A1 (ru) | 1981-02-09 | 1981-02-09 | Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми,одна из которых прозрачна |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU954812A1 (ru) |
-
1981
- 1981-02-09 SU SU813245382A patent/SU954812A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4828387A (en) | Film measuring device and method with internal calibration to minimize the effect of sample movement | |
| KR960035057A (ko) | 표면간 거리의 광학적 측정방법 및 장치 | |
| US4711578A (en) | Optical displacement sensors | |
| JPS58191907A (ja) | 移動量測定方法 | |
| SU954812A1 (ru) | Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми,одна из которых прозрачна | |
| US4487503A (en) | Refractometer using the limiting angle method | |
| SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
| JP2005274429A (ja) | 形状測定装置 | |
| RU2152588C1 (ru) | Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов | |
| JPH01143906A (ja) | 不透明体表裏面の平行度測定装置 | |
| SU1303816A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины слоев многослойной движущейс полимерной пленки | |
| SU940018A1 (ru) | Двухлучевой фотометр | |
| SU1675663A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
| DE69310969D1 (de) | Vorrichtung zum Messen der axialen Geschwindigkeit | |
| SU1515106A1 (ru) | Устройство дл контрол плотности трикотажного полотна | |
| JPS6050403A (ja) | 距離センサ | |
| JP3230977B2 (ja) | 光波干渉装置の被検体ポジショニング装置 | |
| JPS57190202A (en) | Device for reading optical scale | |
| SU868348A1 (ru) | Устройство дл контрол шероховатости поверхности | |
| SU844995A1 (ru) | Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли | |
| SU847805A1 (ru) | Способ регистрации изменений оптического пути | |
| SU1515039A2 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор дл фиксации углового положени объекта | |
| SU1254847A1 (ru) | Фотометр дл измерени прозрачности материалов | |
| SU872955A1 (ru) | Способ измерени толщины сло и устройство дл его осуществлени | |
| RU2148790C1 (ru) | Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей |