SU1303816A1 - Устройство дл измерени толщины слоев многослойной движущейс полимерной пленки - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к изме|эи- тельной технике. Цель изобретени  - повышение точности измерени . Широкополосное электромагнитное излучение от источника 1, модулированное по амплитуде модул тором 2, попадает на линзу 3 конденсатора. После этого параллельный пучок проходит через контролируемую пленку I5 и линзой 4 конденсатора фокусируетс  на щель 5. Прошедший через щель 5 пучок раздел етс  светоделителем 6 на два. Часть пучка отражаетс  от поверхности све- тодечител  6 и формирователем 10 пучка излучени  направл етс  последовательно на интерференционный фильтр с ICt /4

Description

11 и фотоприемник 12. Фильтр 11 выдел ет излучение с длиной волны, котора  попадает в спектральную область поглощени  излучени  контролируемым пленки 15. Сигнал на входе фотоприемника 12 зависит от толщины контролируемого сло  пленки 15. Друга  часть пучка проходит через светоделитель 6 и формирователь 7 пучка излучени , через интерференционный .фильтр 8 и попадает на фотоприемник 9. Фильтр 8 выдел ет в потоке излуче- ние с длиной волны вне спектральной области поглощени  излучени  ,контроИзобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  толщины отдельных слоев многослойной полимерной пленки в процессе ее производства в химической , радиотехнической и электронной промышленности.

Цель изобретени  - повьшение точности измерени  за счет исключени  ошибок, вызванных тем, что на пути пучков с разными длинами волн могут оказатьс  участки с разной толщиной контролируемого сло , когда неконтролируема  запыленность или дефект на пути одного из пучков понижает точность измерени .

На чертеже изображена принципиальна  схема предложенного устройства.

Устройство содержит последовательно расположенные источник 1 широкополосного электромагнитного излучени , модул тор 2, конденсатор, включающий линзы 3 и 4, щель 5, светоделитель 6, формирователь 7 пучка излучени , интерференционный фильтр 8, фотоприемник 9, расположенные на пути пучка, прошедшего через светоделитель 6, второй формирователь 10 пучка излучени , интерференционный фильтр 11, второй фотоприемник 12, расположенные на пути пучка, отраженного от светоделиг тельной грани светоделител  о, блок 13 обработки сигнала и регистрирующий блок 14.

Устройство работает следующим образом .

03816

лируемым слоем пленки 15, Сигнал на выходе фотоприемника 9 зависит от ослаблени  потока другими сло ми, отра- жени  и рассе ни  полимерной пленкой 15 падающего на нее излучени  и не зависит от толщины контролируемого сло . Сигналы с фотоприемников 9 и 12 попадают в блок 13 обработки сигнала одновременно и несут информацию « об одном и том же участке пленки 5. С выхода блока 13 обработки сигнал, пропорциональный толщине контролируемого сло , выводитс  на регистрирующий блок 14. 1 ил.

5

0

5

0

5

. Широкополосное электромагнитное излучение от источника 1, модулиро ,ванное по амплитуде модул тором 2, попадает на линзу 3 конденсора. После этого параллельный пучок проходит через контролируемую пленку 15 и линзой 4 конденсора фокусируетс  на щель 5. Прошедший через щель 5 пучок раздел етс  светоделителем 6

на два. Часть пучка отражаетс  от поверхности светоделител  6 и формирователем 10 пучка излучени  направл етс  последовательно на интерференционный фильтр 11 и фотоприемник 12. Фильтр 11 выдел ет излуче ние с длиной волны, котора  попадает в спектральную область поглощени  излучени  контролируемым, слоем пленки 15, Сигнал на входе фотоприемника 12 зависит от контролируемого сло  пленки .15. Друга  часть пучка проходит через светоделитель 6 и формирователь 7 пучка излучени  через интерференционный фильтр 8 и попадает на фотоприемник 9. Фильтр 8 выдел ет в потоке излучение с длиной волны вне спектральной области поглощени  излучени  контролируемым слоем пленки 15. Сигнал на выходе фотоприемника 9

зависит от ослаблени  потока другими сло ми, отражени  и рассе ни  полимерной пленкой 15 падающего на нее из- л учени  и не зависит от толщины контролируемого сло .

Сигналы с фотоприемников 9 и 12 попадают в блок 13 обработки сигнала одновременно и несут информацию об одном и том же участке пленки 15. С выхода блока 13 обработки сигнал, пропорциональный толщине контролируемого сло , выводитс  на регистрирующий блок 14.

Таким образом, устройство позвол ет измер ть толщину отдельных слоев движущейс  многослойной полимерной пленки 15.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  измерени  толщины слоев многослойной движушейс  полимерной пленки, содержащее последовательно расположенные источник широкополосного электромагнитного излучени , модуРедактор М.Келемеш

   Составитель Л.Лобзова

   Техред Н.Глущенко Корректор С.Черни

   Заказ 1295/39 Тираж 678Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   .Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Прректна , 4

   л тор, конденсатор, формирователь пучка излучени , фотоприемник, блок обработки сигнала и регистрирующий блок, интерференционные фильтры, один из которых предназначен дп  выделени  излучени  в области полосы поглощени  контролируемого сло , а другой- в области его прозрачности, о т - лич ающее с  тем, что, с целью повышени  точности измерени , оно снабжено светоделителем, установленным между конденсором и формирователем пучка излучени , вторым фор- мироаателем пучка излучени  и вторым фотоприемником, последовательно рас- .воложенными на пути пучка, отраженного от светоделительной грани светоделител .