SU1233208A1

SU1233208A1 - Способ измерени толщины многослойной полимерной пленки

Info

Publication number: SU1233208A1
Application number: SU843683463A
Authority: SU
Inventors: Александр Иванович Березовчук; Владимир Матвеевич Кокун; Владимир Федорович Кузнецов; Людмила Никитична Остапчук; Валерий Евгеньевич Погорелов; Владимир Ильич Кабыш; Олег Борисович Скворцов; Анатолий Григорьевич Тарасевич
Original assignee: Киевский Ордена Ленина Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко
Priority date: 1984-01-02
Filing date: 1984-01-02
Publication date: 1986-05-23

Abstract

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл контрол толщины слоев пленки. Изобретение позвол ет автоматически контролировать толщину полимерной пленки при непрерывном ее производстве с более высокой точностью. Перемещающуюс пленку одновременно облучают излучением двух длин волн, одна из которых (Д ) лежит в области поглощени контролируемого сло пленки, друга - в области независимой от ее собственного поглощени . Прошедшее излучение спектрально раздел ют и измер ют интенсивность излучени на длинах волн и Л . Наход т отношени интенсив- ностей излучени на длине волн Д и Л, и по известной коррел ционной зависимости и известному коэффициенту поглощени на длине волны определ ют толщину контролируемой пленки. 1 ил. о (Л ю оо оэ ю о 00

Description

Изобретение относитс к изм€;ри- тельной технике н может быть использовано ДД1Я ;контрол толщины отдельных слоев многослойных покрытий оптически прозрачных пленок в химической , радиотехнической и электронной промышленности.

Цель изобретени - повышение точности и производительности измерений путем одновременного облучени контролируемого участка, заепрерьгоно перемещающейс пленки, излучением: различных длин волн с последующим их спектральным разделением.

На чертеже представлена схема устройства

Устройство содержит источник 1 излучени 5 пленку 2, входную щель 3, спектральньй светоделитель 4, оптические фильтры 5 и 6j фотоприемники 7 и 8, блоки 9 и 10 преббразовани сигналов и блок 11 регистрации.

Источник излучени излучает не менее двух длин волн / и Л .

Способ осуществл етс следующим образом.

Излучение от источника 1 направл ют на непрерывно перемещаемую пленку 2. Спектр излучени источника 1 перекрьшает область собственного поглощени контролируемого сло многослойной пленки и область ее прозрачности ( Л)о Оба излучени на двух д.ш-1нах волн А и Д идут по одному и току же пути.

Излучение, прошедшее через пленку 2э попадает на входную щель 3, .котора формирует требуемую апертуру пучка излучени . Сформированньй пространственно пучок излучени направл ют на спектральный сзетод|алитель 4 дел щий излучение на два пучка, один из которых проходит светоделитель 45 а другой отражаетс от него. Прошедшее светоделитель 4 излучение попадает на оптический фильтр 5, выдел ющий излучение с дщиной волны j , лежащей в области поглощени контролируемого сло полимера, а от- раженньй направл ют на оптический фильтр 6 „ зьщел гющий излучение с длиной волны А , лежащей в области, независимой от собственного поглощени пленки 2. Спектрально зьщеленное излучение, пролтедшее через оптический фильтр 5, перехватываетс фотоприемником 7, а излучение иа другой длтине волны,, прошедшее

фильтр 6, перехватываетс фотоприемником 8.

Интенсивность прдшедших через пленку 2 лучей света с длинами волн

А и Л, с помощью фотоприемников 7 и 8 преобразуют в электрический сигнал . Электрические сигналы устанавливаютс в блоках 9 и 10 и регистрируютс блоком 11 регистрации.Предварительно в эту же схему на место измер емой пленки помещают эталонные образцы из того же материала, что и измер ема пленка известной толщины, наход т коррел ционную зависимость

отношени интенсивностей прошедшего излучени с длинами волн А и от толщины (d).

Затем по установленной коррел ционной зависимости и известному

коэффициенту поглощени на Д калибруют блок 11 регистрации. В результате этого приход щий в этот блок электрический сигнал, пропорциональ- ньш отношению интенсивностей лучей

света с длинами волн А и А ,прошедших через пленку 2, позвол ет установить толщину пленки d.

Преиь{ущество предлагаемого спосо- 6а по сравнению с известным заключаетс в автоматизации- процесса измерени толщины, следовательно., в повышении производительности контрол толщины при непрерывном производстве пленки.

Прохождение излучени на длинах волн и Д одновременно через одни и те же участки контролируемой пленки обеспечивает повьш1ение точности контрол .

Claims

Формула изобретени

Способ измерени толщины многослойной полимерной пленки, заключающийс в TOMj, что облучают перемещающуюс пленку излучением не менее двух длин волн, одна из которых ( ) ) лежит в области поглощени контролируемого сло полимера, друга ( hj)

в области независимой от собственного поглощени пленки, измер ют ин- ; тенсивность прошедшего через пленку излучени , определ ют отношение интенсивностей излучени д,п двух длин

волн /1 и | и по полученному отношению интенсивностей и коэффициенту поглощени на длине волны k, определ ют контролируемог сло полимера многослойной пленки, о т чающийс тем, что, с целью повышени точности и производительности измерений, перед облучением

л и

2 5

12332084

пленки совмещают излучение обоих

длин волн и Д, а перед измерением интенсивностей это излучение спектрально раздел ют.