SU1183494A1 - Способ изготовлени элементов керамических корпусов - Google Patents

Abstract

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ КЕРАМИЧЕСКИХ КОРПУСОВ интегральных схем, включающий прессование порошка стекла, его оплавление и соединение с керамической деталью, отличающийс  тем, что, с целью интенсификации и упрощени  процесса, а также снижени  дефектов стекла по геометрическим параметрам и сколам, порошок припоечного стеклу содержа1ций 60-90 частиц размером 150-100 мкм и 10-40% частиц размером 60-30 мкм, нанос т на керамическую деталь, а затем осуществл ют прессование , спекание и оплавление стекла. 2. Способ ПОП.1, отличающийс  тем, что прессование осуШ ществл ют при удельном давлении 50-200 кгс/см.

Description

00

Изобретение относитс  к производству керамических корпусов дл  герметизации схем (ИС) и, в частности стекла на керамические детали, а также на детали из других диэлектрических материалов..

Целью изобретени   вл етс  интенсификаци  и упрощение процесса, а также снижение дефектов стекла по геометрическим параметрам и сколам.

Пример. Пресс-порошок, приготовленньй смешиванием Порошка припоечного стекла со св зующим, состо щим из смеси 10-15% раствора сополимера - бутилметакрилата в ксилоле с 1% диметилфталата, с последующим пропусканием порошка через сито 200 меш, и имеющий гранулометрический состав: 100-150 мкм - 60%, 3060 мкм - 40% помещают в гнездо матрицы пресс-формы, на слой порошка устанавливают керамическую деталь и производ т прессование при удельном давлении 50 кгс/см и 20 С. Керамическую деталь с нанесенным слоем стекла выгружают из гнезда матрицы и помещают в печь, где провод т одновременно спекание при 320+20 С в течение 30 мин и оплавление при 410-420 0 в течение 10 мин.

Пример 2. Процесс осуществл ют аналогично примеру 1, но при давлении прессовани  200 кгс/см.

В таблице приведены данные по качеству получаемых изделий.

Врем  нанесени  стекла предлагаемым способом вдвое меньше, чем известным, кроме того, исключена операци  сборки хрупкой стеклозаготовки с керамической деталью,что упрощает процесс и исключает брак по сколам стекла.

Claims (2)

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ КЕРАМИЧЕСКИХ КОРПУСОВ интегральных схем, включающий прессова ние порошка стекла, его оплавление и соединение с керамической деталью, отличающийся тем, что, с целью интенсификации и упрощения процесса, а также снижения дефектов стекла по геометрическим параметрам и сколам, порошок припоечного стеклу содержащий 60-90 частиц размером 150-100 мкм и 10-40% частиц размером 60-30 мкм, наносят на керамическую деталь, а затем осуществляют прессование, спекание и оплавление стекла.

2. Способ поп.1, отличающийся тем, что прессование осуществляют при удельном давлении 50-200 кгс/см².

г·* >

1 183494

В таблице приведены данные по качеству получаемых изделий.