SU1137513A1 - Способ изготовлени оптической сервоповерхности дискового магнитного носител информации - Google Patents

Description

/ /

ГУ у ла,

л / J

:о ч :л

9 Изобретение относитс  к области накоплени  информации, а именно к способам изготовлени  магнитных носителей информации. Известен способ изготовлени  сервоповерхности, при котором растр получают .маскировани  магнитного регистрирующего материала в местах расположени  элементов растра с высоким отражением и формировани  элементов растра с низким отражением путем окрашивани  магнитного регистрирующего материала в немаскированных местах Uj « Недостатками известного способа  вл ютс  мала  разность коэффициентов отражени  и мала  механическа  стойкость .элементов растра Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемо му результату  вл етс  способ изготовлени  оптической сервоповерхности при котором вс  поверхность, основы, диска анодируетс , затем анодна  пленка маскируетс  фоторезистом в местах расположени  элементов растра с высоким отражением, после чего фор мируютс  элементы растра с низким от ражением путем -окрашивани  анодной пленки в немаскированных местах, а слой магнитного регистрирующего мате риала наноситс  поверх растра, выпол ненного на основе, после удалени  маски из фоторезиста 2. Недостатками этого способа  вл юте  малые коэффициенты отражени  элемеитов растра и мала  их разность а также повышенные шумы носител , вы ( зываемые модул цией толщинь мaгнитнoг регистрирующего материала из-за пористой структуры поверхности анодной пленки. Цель изобретени  - повышение технологичности при одновременном повышении качества сервоповерхности. I Поставленна  цель достигаетс  тем что согласно способу изготовлени  оптической сервоповерхности дискового магнитного носител  информации, включающему нанесение маски на поверхность основы, заполнение немаскированных участков поверхности диффузно-отражаю пщм материалом и удаление маски с поверхности основы, предварительно производ т электрохимическое полирование поверхности основы, перед заполнением производ т травление тех же участков, а заполнение осуществл ют анодированием в том же электролите, что и при травлении.. На фиг. 1 (а,б5в) показаны .сечени  основы на различных этапах формировани  растра (на фиг. 1а - основа с нанесенной маской из фоторезиста 2; на фиг. 16 то же, после травлени ; на фиг. 1в - то же, после заполнени  анодной оксидной пленкой 3); на фиг.2фрагмент носител  ,с оптической серво поверхностью. Носитель информации на фиг. 2 содержит основу 1, участок 3 растра с низким коэффициентом отражени  (анодную пленку) , участок 4 с высоким коэффициентом отражени  и,магнитный регистрирующий слой 5. Оптическую сервоповерхность дискойого магнитного носител  информации изготовл ют следующим образом. После чистовой механической обработки провод т электрохимическое полирование основы 1 носител . Затем нанос т маску из фоторезиста 2, по конфигурации соответствующую участкам растра с высоким коэффициентом отражени , производ т экспонирование и про влеиие фоторезиста. В комбинированном электролите на основе хромовой или щавелевой кислот или их солей при плотности тока 8-10 А/дм производ т травление немаскированных участков поверхности основы до образовани  впадин. Затем в том же электролите при плотности тока 0,81 ,0 А/дм производ т анодирование впаДин - заполнение наращиванием анодной оксвдной пленки 3 до исчезновени  рельфера поверхности, т.е. формирование участков pacTpj с низким коэффициентом отражени . Под маской из фоторезиста 2 остаютс  участки 4 с высоким коэффициентом отражени , который обеспечиваетс  электрохимическим полированием. После удалени  оторезистивной маски 2 производ т анесение магнитного регистрирующего сло  5. Изобретение позвол ет значительно повысить технологичность процесса, повысить качество сёрвопо ерхности - при уменьшении шумов носител , поскольку повьш1аетс  контраст между участками с высоким и низким коэффииентами отражени , а также уменьшатс  пористость структуры поверхности нодной пленки.

Claims (1)

1. <57)’ СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ СЕРВОПОВЕРХНОСТИ ДИСКОВОГО МАГ-

   НИТНОГО НОСИТЕЛЯ ИНФОРМАЦИИ, включающий нанесение маски на поверхность основы, заполнение немаскированных участков поверхности диффузно-отражающим материалом и удаление Маски с поверхности основы, отличающийся тем, что, с целью повышения технологичности при одновременном повышении качества сервоповерхности, предварительно производят электрохимическое полирование поверхности основы, перед заполнением производят травление,тех же участков, а заполнение осуществляют анодированием в том же электролите, что при травлении.