SU1136191A2 - Устройство дл распознавани дефектов изображений объектов - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПОЗНАРА НИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТОВ по авт. св. W 1023356, of ли ч а ющ е е с   тем, что, с целью повышени  надежности распознавани , оно содержит последовательно соединентеге второй селектор, вход которого подклкг чей к соответствующему формирователю сигналов, детектор, элементы ИЛИ четвертой группы, другие входы которых подключены к рагспределитепю импульсов , второй блок пам ти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен с входами триггера и блока регистрации.

Description

Изобретение относитс  к автомати и вычислительной технике и может бы использовано у системах автоматическо визуального контрол , изделий микро электроники, в частности дл  контро топологии фотошаблонов, кристаллов ИС, печатных плат. Известно устройство дл  распозна вани  дефектов По основному авт.св. № 1023356 известно устройство дл  распознавани  дефектов изображений объектов, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов, а выходы подключены к соответствующим формировател сигналов, группу детекторов, соединенных с соответств ощими ;формирова тел ми сигналов, первый селектор, подключенный к одному формирователю сигнала и к первому блоку пам ти, первую группу элементов ИЛИ, входы которых соединены с распределителем импульсов, и с одним детектором гру пы, а вых.оды подключены к первому блоку пам ти, триггер, один вход которого соединен с распределителем импульсов, подключенным.к блоку регистрагщи , первый счетчик, соединен ньй с первым блоком пам ти, с распр делителем импульсов, с блоком регистр адаи и с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распределителю импульсов, с блоком регистрации и с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распределителю импульсов, а выходы соединены с первым блоком пам ти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю импульсов, элемент НЕ,, соединенный с распределителем импульсов, вторую группу элементов И, входы которых соединены с триггером , с элементом НЕ и с распределителем импульсов, и третью группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к выходам элементов И перво и второй группы, а выходы соединены с блоком регистрации Щ Недостаток известного устройства заключаетс  в его невысокой надежности распознавани  таких дефектов изображений как сужение и сближение , под которыми понимают участ ки проводников, минимальна  ширина которых меньше минимально допустимой , rt участки топологии изображений , в которых минимальное рассто ние между проводниками меньше минимально допустимого. Цель изобретени  - повышение надежности распознавани . Поставленна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  распознавани  дефектов изображений объектов содержит последовательно соединенные второй селектор, вход которого подключен к соответствуищему формирователю сигналов, детектор, элементы ИЛИ четвертой группы, другие входы которых подключет. к распределителю импульсов, второй блок пам ти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен с вxoдa ffl триггера и блока регистрации . На фиг. t представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг.2 конструктивнЬе выполнение селектора; на фиг. 3 - конструктивное выполнение формирователей последовательности сигналов; на фиг. 4 - расположение точек в электронном;окне. Устройство содержит телевизионные датчики t и 2, формирователи 3 и 4 видеосигналов, детектор 5, группу детекторов 6 и 7, селекторы 8 и 9, блок 10 пам ти, группы 11 и 12 эле-, ментов ШШ, блок 13 пам ти, счетчики 14 и 15, ipyimy 16 элементов и}ш, триггер 17, элемент НЕ 18, группы 19 и 20 элементов И, группу 21 элементов ИЛИ, распределитель 22 импульсов и блок 23 регистрации. Селектор 9 (фиг. 2) состоит иэ четырех формирователей 24 - 27 последовательности видеосигналов, элементов ИЛИ 28 и 29 и элементов И 30 и 31. При этом каждый из формирователей 24-27 состоит из группы 32 элементов задержки на Сторону и на элемент 33 разложени  в строке и предназначен дл  формировани  электронного окна в форме круга. Устройство работает следукицим образом. Дефекты типа разрьш и закоротка в изображении контролируемой топологии обнаруживаютс  известным устройством. Рассмотрим работу уст- ройства при распознавании дефектов типа сужение и сбл1€кение, Видеосигнал развертки изображени  контролируемой топологии с выхода те левизионного датчика 1 поступает на вход первого фчэмироеател  3, который квантует его по уровн м логических 1 и О. Уровень логической 1 квантованного видеосигнала соответствует объектам изображени , а О их отсутствию (фону). Сигнал с выход формировател  3 поступает на вход селектора 9, который преобразует его .в видеосигнал, соответствук 191й изображению после иоследовательного применени  операций раст жение - сжатие и сжатие - раст жение различного диаметра. Сигнал с выхода селектора 9 посту пает на вход детектора 5, который преобразует его в последовательнслтъ кодов, так что коды отображают прииадлбжность отдельных точек изображе ни  к соответствукирм объектам (св з ным област м). На «дходе детектора 6 по вл ютс  сигнапы, соответствующие исходному изображению после операции кодировани . Коды св зных областей преобраэова11ного и контролируемого изображений через соответствующие группы элементов ШШ tt и 21 поступают на первый и второй адресные входы блока t3. Блок t3 представл ет собой матриц оперативно запоминахицих устройств (ШЗУ). Первый и втсфой адресный входы блока 13 пам ти служат дл  выборки соответственно столбцов и строк МОЗУ. До начала развертки изображени  контролируемой топологии все  чейки бгэка 13 обнулены. Во врем  развертки этого изображени  на информационный вход блока 13 пам ти подаетс  посто нный сигнал с уровнем логической 1, а в момент сканировани  контактной площадки проводника с выхода селектора 8 на его вход Запись - считывание подаетс  сигнал записи. Поэтому если в этот момент на первьй адресный вход, блока 13 пам ти приходит сигнал коДа со значением, равным номеру строки, а на второй - со значением, равным номеру столбца, то в соответствующую  чейку МОЗУ будет записана 1. В момент окончани  развертки изображени  контролируемой топологии с выхода селектора 8 на вход запись считывание блока 13 пам ти подаетс  . сигнал считывани . Считывание из блока 13 пам ти происходит аналогично, как и считьшанне информации с блока 10 пам ти и осуществл етс  за два цикла по сигналам с распределител  22. Число единиц в ка}|щом столбце и строке блока 13.пам ти подсчитываетс  счетчиком 15, которь в первом цикле считывани  определ ет число единиц в каждой строке, а во втором - в каждом столбце ШЗУ. Если число больше или равно двум, то на выходе счетчика 15 по витс  сигнал дефектора, ко торЫ( устанавливает триггера 17 в единичное состо ние. Элементы и 19 и 20 открываютс  и на вход блока 23 регистрации поступает номер проводника , имеющего дефект. После окончани  считывани  информации с каждого столбца (строки) блока 13 пам ти с четвертого выхЬда распределител  22 ввдаютс  импульсы на установку счетчика 15 в исходное состо ние 1, а триггера 17 - в нулево. Номер щкла считывани  определ етс  уровнем сигнала (логических О или 1) с п того выхода распределител  22, уровень логической 1 соответствует первому циклу считывани  (определение сужений), а уровень логического О соответствует второму циклу считывани  (определение сближений ) . Так как при распознавании дефектов типа сужение и сближение используетс  информаци  о св зности контактных площадок, а их св зность определ етс  только наличием распознаваемых дефектов в топологии и не зависит от формы, размеров, ориентации и местоположени  данных типов дефектов , то результаты распознавании . дефектов типа сужение и сближение с помощью предлагаемого устройства не зависит от их формы, размеров ориентации и местоположени . Введение новых.узлов и элементов позвол ет существенно повысить надеж- ность распознавани  дефектов изображений объектов.

2Ц

25

29

0t4t.t

зг

k

n

faa.J

Фиг.

Жг

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДПЯ РАСПОЗНАВАНИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТОВ ' ^!по авт. св. (₽ 1023356, о Т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности распознавания, оно содержит последовательно соединенные второй селектор, вход которого подключен к соответствующему формирователю сигналов, детектор, элементы ИЛИ четвертой группы, другие входы которых подключены к распределителю импульсов, второй блок памяти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен с входами триггера и блока регистрации.¹ >