SU1615758A1 - Устройство дл селекции признаков дефектов изображений объектов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано в системах автоматизации визуального контрол  изделий электронной техники. Цель изобретени  состоит в повышении точности устройства и достигаетс  путем выделени  дефектов контролируемой топологии и общей части изображений эталонной и контролируемой топологий, что обеспечиваетс  введением элемента И, блока задержки, детектора св зных областей, группы элементов И, блока пам ти и второй группы блоков пам ти. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относитс  к автоматике и вычислительной технике, в частности к устройствам дл  селекции признаков дефектов изображений объектов, и может быть использовано при построении автоматических систем контрол  и распознавани  изображений изделий микроэлектроники , в частности дл  контрол  фотошаблонов, кристаллов ИС, печатных плат и т.п. по внешнему виду.

Цель изобретени  - повышение точности устройства.

На фиг.1 представлена блок-схема устройства; на фиг.2 - схема селектора дефектов; на фиг.З - схема блока задержки; на фиг.4 - схема детектора св зных областей.

Устройство (фиг.1) содержит теле-г . визионные датчики 1 и 2, формирователи 3 и 4 видеосигналов, селектор 5 / дефектов, элемент И 6, i-pynny элементов И 7 и 8, блок 9 задержки, детектор 10 св зных областей, группу детекторов 11 и 12 св зных областей, блок 13 пам ти, первую 14, 15 и вторую 16, 17 группы блоков пам ти.

Селектор дефектов (фиг.2) содержит элементы НЕ 18-1, 18-2, элементы И 19-1, 19т2, элементы 20-1, задержки .

Блок задержки (фиг.З) содержит элементы 21-1 - 21-2 задержки на строку изображени , элементы 22-1 - 22-9 задержки на элемент изображени , элемент ИЛИ 23.

Детектор св зных областей (фи1 .4) содержит первый элемент 24 задержки на строку изображени , второй 25-1 и третий 25-2 элементы задержки на элемент изображени , первый 26-1, второй 26-2, третий 26-3 элементы НЕ, первый .27-1, второй 27-2, третий 27-

о: ел

-4j

ел

00

27-3, четвертый 27-4 элементы И, счетчик 28, мультиплексор 29, группу 30 элементов задержки.

Устройство работает следунй5им образом .

Видеосигналы разверток эталонного и контролируемого изображений поступают с выходов телевизионных датчиков 1 и 2 соответственно на входы формирователей 3 и 4, с выходов которых поступают на входы элемента И 6 и на входы селектора 5 дефектов, квантованные по уровню видеосигнала. Элемент И 6 выдел ет общую часть эталонного и контролируемого изображений, дефекты типа вырыв, разрыв, пропуск элемента вьщел ютс  на первом, вькоде селектора 5 дефектов, а дефекты типа выступ, закоротки, вкрапление - на втором его выходе.

Видеосигнал с элемента И 6 поступает на блок 9, который увеличивает общую часть эталонного и контролируемого изображений на элемент квантовани  по периметрам св зных областей, С выхода блока 9, сформированный видеосигнал поступает на вход детектора

10и входы элементов И 7 и 8, Детектор 10 преобразует квантованньй видеосигнал точек изображени  в коды,- так что коды отображают принадлеж-i ность точек изображени  к соответствующим св зным област м. Кодирование изображений осуществл етс  по следующему правилу. Каждый объект изобража- ни  рассматриваетс  как совокупность св зных хорд. Элементам хорды присваиваетс  новьй индекс, если она имеет характерную точку начала. В других случа х элементам хорды присваиваетс  значение предыдущей св зной хорды, если хорда св зана с несколькими предыдущими кордами, то ей присваиваетс  значение первой из этих кЗ$орд. Таким образом, объекты изображени  могут быть закодированы несколькими индексами . Аналогично работают детекторы

11и 12.

Номера (индексы) св занных хорд изображений запоминаютс  в соответст-, вующих блоках пам ти 13-17. В блоках 13-15 пам ти записываютс  св зные индексы внутри отмеченных изображений, а в блоках 16 и 17 св зные индексы между парами атмечанных изображений.

Видеосигнал о дефектах I рода (вырыв, пропуск элементов, разрыв) формируетс  с помощью элементы НЕ

18-1 и элемента И 19-1 (фиг.2) и задерживаетс  элементом 20-1 задержки на врем  Т, равное задержке видеосиг- нала в блоке 9, видеосигнал о дефектах II рода (выступ, вкрапление, за- коротка) формируетс  с помощью элемента НЕ 18-2 и элемента И 19-2 и задерживаетс  элементом 20-2 задержки также на врем  Т. Эта задержка необходима дл  синхронной обработки всех трех видеосигналов, т.е. видеосигнала с выхода блока 9, видеосигналов с выходов селектора 5 дефектов. Блок 9 (фиг.З) формирует видеосигнал с помощью анализа, электронного окна 3x3 логическим элементом ИЛИ 23, дл  чего элементы 21-1 и 21-2 задерж-; ки формируют видеосигналы, задержан- ные на одну строку и на две строки соответственно, а группа 23 элементов задержки формирует видеосигналы соот-. ветствук цих трех элементов изображени  в каждой строке

Элемент 24 задержки на строку изображени  и группа 25 элементов задержки на элемент изображени  формируют электронное окно из элементов XI, Х2, ХЗ и Х4, с помощью элементов НЕ 26-1, 26-2 и элемента И 27-1 формируетс  сигнал о точке начала, т.е. по алгоритму индексации этой точке присваиваетс  новый или начальный (единица), если она перва , индекс, он формируетс  счетчиком 28 индексов, который первоначально должен быть

установлен в нулевое состо ние с помощью входа Уст.О,сс помощью элементов НЕ 26-3 и И 27-4 формирует- с  сигнал о точке св зи, с «помощью элемента И 27-2 формируетс  сигнал, требующий продолжени  индексации

точки Х индексом точки Х, а эле- менты И 27-3 и НЕ 26-1 формируют сиг нал, требующий отметить точку Х индексом точки Х,. Переключение индексов по описанному правилу осуществл етс  с помощью мультиплексора 29, на входы 1, 2 и 3 которого приход т уп- равл кщие сигналы и разрешают прохождение кодов индексов с информационных входов. Дл  хранени  индексов точек задержанной строки и задержанного элемента текущей строки служат эле- менты 30 задержки.

Таким образом, группа элементов 30 задержки содержит информацию о строках изображени  в виде индексов соответствующих точек. По мере продвижени  электронно1 о окна

Х1-Х4 по

текущей и задержанной строке происхо дит перезапись кодов по изложенному правилу, при этом в один момент времени на первом и втором выходах детекторов 10-12 формируютс  коды индексов св зных точек, которые по сигналу Запись с третьего выхода детекторов записываютс  в блоки пам ти 13-17. Эти блоки пам ти представл ют собой матрицы оперативных запоминающих устройств (МОЗУ), два первых входа которых  вл ютс  адресными, третий служит дл  осуществлени  записи единицы по указанным адресам. На информационньй вход в режим селекции признаков должен подаватьс  потенциал логической единицы, а перед началом цикла селекции блоки пам ти должны быть обнулены. В блоках пам ти после цикла селекции будут сформированы матрицы признаков, так при обработке входных изображений эталонной и контролируемой топологии детектор 10 проиндексирует изображение, поступающее с блока 9, детектор 11 проиндексирует изображение, поступающее с первого выхода селектора 5 дефектов, детектор 12 проиндексирует изображение , поступающее со второго выхода селектора 5 дефектов. Матрицы признаков в блоках 16 и 17 пам ти имеют следующую особенность: сигналы записи дл  этих блоков формируютс  элементами И 7 и 8 соответственно по совпадению единичного уровн  в текущих строках изображени  общей части эталонной и контролируемой топологий и изображени  дефектов I и II рода соответственно . Така  проста  реализаци  функции св зности между этими :изобра- жени ми возможна благодар  тому, что одно изображение расширено блоком 9.

Матрица признаков дл  дефектов типа вырьт, разрыв, и пропуск элемента будет сформирована в блоке 17 пам ти, потому что сигнал записи дл  этого блока поступит, когда на его адресных входах будут соответствующие комбинации индексов. Аналогично дл  дефектов типа выступ, за- коротка и вкрапление будет сформирована в блокэ 16 пам ти матрица признаков.

По двум матрицам признаков легко определить, что дефект типа вырыв (область изображени , закодированна  индексом 1) св зан с одним элемен-5

0

5

том изображени  общей части эталонного и контролируемого изображени , дефект типа разрыв - с двум , а пропуск элемента - не св зан с элементами этого изображени  и  вл етс  изолированной областью.

При селекции признаков распознавани  дефектов используетс  только . 10 факт наличи  или отсутстви  св зности между соответствующими точками изображений объектов и никаких ограничений на форму, местоположение их не накладываетс , поэтому результаты се- лекдии признаков с помощью устройства не завис т от формы, местоположени  и размера дефектов.

Claims (1)

1. Устройство дл  селекции признаков дефектов изображений объектов, содержащее формирователи видеосигналов , информационные входы которых соединены с выходами соответствующих телевизионных датчиков сигналов, а выходы подключены к информационным входам селектора дефекто в, выходы которого соединены с информационными

0 входами детекторов св зных областей группы, первую группу блоков пам ти, адресные входы и входы управлени  записью которых подключены к первому, второму и третьему выходам детекторов св зных областей группы соответственно , отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности устройства , оно содержит группу элементов И, одни входы которых соединены с соответствующими выходами селектора дефектов, вторую группу блоков пам ти , одни адресные входы которых подключены к соответствующим первым и вторым выходам детекторов св зных

5 областей группы, а входы управлени  записью соединены с выходами соответ- ствунщих элементов И группы, элемент И, входы которого подключены к выходам формировател  видеосигналов, блик

0 задержки, информационньй вход которого соединен с выходом элемента И, а выход подключен к другим входам элементов И группы, детектор св зных об5

0

ластей. Информационный вход которого соединен с выходом блока задержки, а первый выход подключен к другим адресным входам блоков пам ти второй группы, и блок пам ти, адресные входы и вход управлени  записью которого

соединены с первым, вторым к третьим выходами детектора св зных областей соответственно.

2, Устройство ПОП.1, отличающеес  тем, что детектор св зных областей содержит первый элемент задержки, вход которого  вл етс  информационным входом детектора,.а выход подключен к входу второго элемента задержки, третий элемент задержки , вход которого соединен с информационным входом детектора, а выхрд подключен к входу первого элемента НЕ, второй элемент НЕ, вход которого соединен с выходом первого элемента задержки, третий элемент НЕ, вход: которого подключен к выходу второго элемента задержки, первый элемент И, один вход которого соединен с информационным входом детектора, другие входы подключены к выходам первого и второго элементов НЕ, а выход соединен со счетным входрм счетчика, второй элемент fl, один вход которого

5

0

подключен к информационному входу детектора, другой вход соединен с выходом третьего элемента задержки, третий элемент И, один вход которого подключен к информационному входу детектора, другие входы которого соединены с выходами первого элемента задержки и первого элемента НЕ, четвертый элемент И, входы которого подключены к выходам первого и третьего элементов задержки и выходу третьего .элемента НЕ, а выход  вл етс  третьим выходом детектора, мультиплексор, первый информационньй вход которого соединен с выходом счетчика, управл ющие входы подключены к выходам первого , второго и третьего элементов И, а выход соединен с информационным входом элементов задержки группы, выходы которых  вл ютс  первым и вторым , выходами детектора и подключены к второму и третьему информационным входам мультиплексора.

ЕМЗФиг .

Фиг. 2

Фиг. 5