SU1725238A1 - Устройство дл селекции дефектов фотошаблонов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к автоматике и может быть использовано в системах анализа изображений. Цель изобретени  - повышение точности устройства -достигаетс  введением второго формировател  апертуры, селектора кривизны, компаратора , второго блока пам ти, элемента задержки , третьего счетчика, что позвол ет выдел ть дефекты произвольной формы. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относитс  к автоматике и может быть использовано в системах анализа изображений.

Цель изобретени  - повышение точности устройства.

На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг, 2 - схема формировател  апертуры; на фиг. 3 - выходные сигналы первого формировател  апертуры; на фиг. 4 - функциональна  схема селектора кривизны; на фиг. 5 - примеры, по сн ющие работу устройства.

Устройство (фиг. 1) содержит первый формирователь 1 апертуры, селектор 2 кривизны, первый элемент И 3, первый элемент ИЛИ 4, второй формирователь 5 апертуры, компаратор 6, первый элемент 7 задержки, третий счетчик 8, второй блок 9 пам ти, первый счетчик 10, первый блок 11 пам ти, второй счетчик 12, генератор 13 синхроимпульсов.

Формирователь апертуры (фиг. 2) содержит дев ть элементов 14 задержки и дес ть регистров 15 сдвига.

Селектор кривизны (фиг. 4) содержит группу элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ

16,второй и третий элементы ИЛИ 17 и 18, первый и второй элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 19 и 20 и второй элемент И 21.

Устройство работает следующим образом .

Сигналы С1, С2, СЗ поступают через элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 19 и 20 на входы второго элемента ИЛИ 18, таким образом выдел ютс  перепады  ркости по горизонтали (С1, С2) и по вертикали (С2, СЗ), т.е. контурные точки объектов изображени . Сигнал на выходе третьего элемента ИЛИ 18 содержит контуры всех объектов контролируемой топологии (фиг. 56). х

Группы сигналов {ai}. {bi} поступают через элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 16 группы на входы второго элемента ИЛИ 17.

Таким образом, центральной точке окна (фиг. 3) присваиваетс  единичный уровень  ркости, если она находитс  на пр молинейном отрезке контура фигуры топологии, пересекающем противоположные стороны окна.

Сигнал на выходе элемента ИЛИ 17 содержит участки контура с радиусом кривизсо

С

vi ю ел ю GJ

00

ны больше R (фиг. 5в); на элементе И 21 выдел ютс  все участки с радиусом кривизны меньше R (фиг, 5г).

Во втором блоке 9 пам ти хран тс  предварительно записанные в пор дке возрастани  (соответственно нумерации на фиг. 5д1 координаты угловых точек эталонного изображени  (фиг. 5д). В начале сканировани  кадра изображени  на выходе второго блока пам ти установлены координаты первой угловой точки (фиг. 5д). Они поступают на первую группу входов компаратора б, на вторую группу входов которого поступают координаты текущего положени  сканируемого элемента изображени  с первого 10 и второго 12, счетчиков. В момент равенства координат на входах компаратора 6, на его выходе по вл етс  сигнал, соответствующий угловой точке эталонной топологии, по которому через врем  гз измен етс  состо ние третьего счетчика 8 и на первом входе компаратора 6 устанавливаютс  координаты второй угловой точки. Установка в О третьего счетчика 8 производитс  по кадровым синхроимпульсам, поступающим на его вход Сброс с первого выхода генератора 13 синхроимпульсов. Таким образом происходит формирование изображени  угловых точек эталонной топологии.

С выхода элемента ИЛИ А изображение зон (фиг. 5ж), построенных на угловых точках эталонной топологии, поступает на инверсный вход элемента И 3, на пр мой вход которого поступает изображение криволинейных участков контуров объектов контролируемого изображени  (фиг. 5 г). Если в контролируемом изображении все фигуры выполнены с требуемой точностью, то выдел емые селектором кривизны 2 углы этих фигур совпадают с зонами, поступающими с выхода элемента ИЛИ 4 и на выход элемента И 3 они не пройдут. Участки контуров дефектов, углы лишних и дефектных элементов проход т на выход элемента И 3, так как не совпадают с зонами. Таким образом, осуществл етс  классификаци  выделенных селектором 2 кривизны криволинейных участков контуров (фиг. 5г) на углы точно выполненных фигур и дефекты (фиг. 5з). С выхода элемента И 3 сигналы, соответствующие дефекты, поступают на вход разрешени  записи первого блока 11 пам ти. В момент по влени  сигнала на входе элемента И 3 происходит запись в блок 11 пам ти координаты дефекта, установленной в данный момент на выходах первого 10 и второго 12 счетчиков. По окончании сканировани  кадра изображени  в блоке 11 пам ти будут записаны координаты всех дефектов, обнаруженных в данном кадре.

Claims (2)

1.Устройство дл  селекции дефектов фотошаблонов, содержащее первый формирователь апертуры, элемент И, элемент

ИЛИ, первый и второй счетчики, выводы которых соединены с входами первого блока пам ти, и генератор синхроимпульсов, о т- личающеес  тем, что, с целью повышени  точности устройства, оно содержит второй формирователь апертуры, селектор кривизны, компаратор, второй блок пам ти, первый элемент задержки, третий счетчик, информационный вход первого формировател  апертуры  вл етс  информационным

входом устройства, выход первого формировател  апертуры соединен с входами селектора кривизны, выход которого соединен с первым входом первого элемента И, второй вход которого соединен с выходом первого элемента ИЛИ, входы которого соединены с выходами второго формировател  апертуры, выход компаратора соединен с первым входом второго формировател  апертуры и с входом первого элемента задержки , выход которого соединен со счетным входом третьего счетчика, выходы которого соединены с адресными входами второго блока пам ти, выходы которого соединены с первым входом компаратора, второй вход которого соединен с выходом первого счетчика , третий вход компаратора соединен с входом второго счетчика, выход первого элемента И соединен с первым управл ющим входом первого блока пам ти, первый

выход генератора синхроимпульсов соединен с вторым управл ющим входом первого блока пам ти, с входом Сброс второго счетчика и с входом Сброс третьего счетчика , второй вход генератора синхроимпульсов соединен с входом Сброс первого счетчика и со счетным входом второго счетчика , третий выход генератора синхроимпульсов соединен со счетным входом первого счетчика и с управл ющими входами первого и второго формирователей апертуры .

2.Устройство поп. 1,отличающее- с   тем, что селектор кривизны содержит

группу элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ- И, второй и третий элементы ИЛИ, первый и второй элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ и второй элемент И, входы элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ  вл ютс  первым и вторым входами селектора, входы первого и второго элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ  вл ютс  третьим входом селектора, выходы элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ группы соединены с входами второго элемента

ИЛИ, выход которого соединен с первым

входом второго элемента И, второй вход выходами первого и второго элементов ИС- которого соединен с выходом третьего эле- КЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, выход второго элемен- мента ИЛИ, входы которого соединены с та И  вл етс  выходом селектора.

Риг.1

Фиг. 2

Фиг А