SU1125588A1 - Интерференционный отрезающий фильтр - Google Patents

Abstract

1. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ОТРЕЗАЮЩИЙ ФИЛЬТР, содержащий прозрачную подложку с последовательно располо-женными на ней первой и второй многослойными системами, состо щими из чередующихс  четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показател ми преломлени  и выполненными с центром на длине волны / и -соответственно, при этом riepDbrfi и последний слои первой и вторрй многослойньк систем выполнены из материала с высоким показателем преломлени  и оптической толщиной и соответственно, отличающийс  тем, что, с целью уменьшени  интегрального коэффициента фона при сохранении максимального пропускани , между первой и второй многослойными системами введен согласующий слой материала с низким показателем преломлени  и оптической толщиной, равной 71/8. S 2. Фильтр поп, 1,отлича (Л ю щ и и с   тем, что в качестве ма-. териала с высоким показателем преломлени  использован германий, а материт ала с низким показателем преломлени  -С моноокись кремни .

Description

--Р уХХУуХхУУХХ/УхТ

j-pZZZZj

v7///////////////.

У Х

« J , ч N

Изобретение относитс  к интерфе- . . ренционным покрыти м физики тонких пленок и может найти широкое; применение в оптике, астрономииэ спектральных и космических исследовани- 5  к., в частности в аналитическом приборостроении интерференционные фильтры могут быть использованы в качестве монохроматизиругощих элементов дл  вьщелени  полос поглощени  анализи- Р руемых газовых компонентов.

Известен интерференционный фильтр. содержащий стекл нную, кварцевую или какую-либо иную прозрачную подложку , два четвертьволновых зеркала, ti образованных чередующимис  сло ми диэлектриков свысоким и низким показател ми преломле 1и , при этом между зеркалами расположен промежуточный диэлектрический слой с опти- 20 ческой толщиной, кратной половине длины световой волны lj .

Недостатком такого устройства  вл етс  то, что область максимального отражени  сравнительно неве- 25 лика и имеет, кроме того, осцилл цию , т.е. участки с низким коэффициентом отражени .

Известен интерференционный отрезающий фильтр, содержащий прозрач- ЗО ную подложку с последовательно расположенными на ней первой и второй многослойными-системами, состо щими из чередующихс  четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показател ми преломлени , и выполненными с центром на длине волны f и соответственно, при этом первый и последний слои первой и второй многослойной сие- Q темы выполнены из материала с высоКИМ показателем преломлени  и оптической толщиной и соответственно 2j ,

Известна  конструкци  расшир ет область максимального отражени , но не устран ет осцилл ции коэффициента отражени  в области блокировани , что приводит к увеличению интегрального значени  фона.50

Цель изобретени  - уменьшение интегрального) коэффициента фона при сохранении максимального пропускани .

Поставленна  цель достигаетс  55 тем, что в интерференционном отреза ющем фильтре,, содержащем прозрачную подложку с последовательно расположенными на ней первой и второй многослойньми системами, состо щими из чередующихс  четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показател ми преломлени  и выполненными с центром на длине волны 9 Т соответственно , при этом первый и последний слои первой и второй многослойных систем выполнены из материала с высоким показателем преломлени  и оптической толщиной Х /8 и /8 соответственно, между первой и второй многослойными системами вбеден согласующий слой материала с низким показателем преломлени  и оптической ТОЛ1ЦННОЙ, равной /8.

При этом в качестве материала с высоким показателем преломлени  использован германий ((je); а материала с низким показателем преломлени  двуокись кремни  (SiO).

На фиг. приведена конструкци  интерференционного отрезающего филь|ра; на фиг. 2 - спектральна  характеристика предлагаемого фильтра с согласующим слоем; на фиг. 3-то же, с согласующим слоем в области блокировани , где Т - коэффициент пропускани , 7,- длина волны (мкм).

Устройство содержит подложку 1, слои 2 с высоким показателем «преломлени , слои 3 с низким показателем преломлени  и согласующий слой 4.

Из фиг, 2 и 3 видно, что в области максимального отражени  фильтра отсутствуют участки с низким коэффициентом отражени , чем улучшаютс  эксплуатационные характеристики фильтра, повьпиаетс  его избирательность .

Например, дл  интерференционного отрезающего фильтра, состо щего из слоев германи  и моноокиси кремни , дл  13-слойной системы введение согласующего сло  приводит к уменьшению значени  интегрального пропускани  в области блокировани  на пор док.

.Предлагаемое устройство может быть использовано во многих област х науки и техники: в оптике, астрономии , спектральных и космических исследовани х, так как позвол ет уменьшить осцилл ции коэффициента

311255884

отражени  в области блокировани , что этом коэффициент пропускани  и приводит к уменьшению интеграль- не усложн   технологии изготовного значени  фона, не уменьша  при лени  .

7-.% WO

80 60

itO 20

2.0

3,0 Фиг, 2

.т.% 1,5

1.0

ffJO Л,мкм

5.0

.0

Claims (2)

1. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ОТРЕЗАЮЩИЙ ФИЛЬТР, содержащий прозрачную подложку с последовательно расположенными на ней первой и второй многослойными системами, состоящими из чередующихся четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показателями пре ломления и выполненными с центром на длине волны ft и ft -соответственно, при этом первый и последний слои первой и второй многослойных систем вы полнены из материала с высоким показателем преломления и оптической толщиной ft/8 и ft /8 соответственно, отличающийся тем, что, с целью уменьшения интегрального коэффициента фона при сохранении мак симального пропускания, между первой и второй многослойными системами введен согласующий слой материала с низким показателем преломления и оптической толщиной, равной ft/8.

2. Фильтр поп. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что в качестве ма-. териала с высоким показателем преломления использован германий, а матери- ала с низким показателем преломления -Q моноокись кремния. , ^w фиг 1 >

ί ί 125588