at)
4iik
со
4 Изобретение относитс к растрово электронной микроскопии и предназначено дл разделени светового потока катсдолюминесцентного излучени на произвольное число частей с целью проведени последующего колориметрического и спектрального анализа . Известен коллектор-дл растровог электронного микроскопа (РЭМ), соде жащий собиракщее зеркало и фотоприемник . В данном коллекторе дл разделени светового потока использ ван несимметричный световс , вхсдно торец которого расположен в одном и фокусов зеркала . Недостатками указанного устройст ва вл ютс неопределенность соотношени световых потоков на выходе коллектора и нерациональное использование фотоприемникрв с различными спектральньми чуствитель ност ми. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етд ко лектор светового излучени , содержащий собиракщее зеркало, в сднс н из фокусов которого располо жен объектсдаержатель, а в другом входной торец фотоприемника. Фото-приемник снабжен световодом, который разветвл етс на три части и обеспечивает разделение светового потока 2. Недостатком данного коллектора вл етс то, что, поскольку на выхо |де коллектора излучение имеет сложное пространственно-угловое распределение , практически невозможно определить долю светового потока, достигакадую каждого фотоумножител (ФЭУ) после прохождени световода. Это не позвол ет добитьс максималь ной точности колорюлетрического анализа объектов и высокой чувствительности . Цель изобретени - повыиение точности анализа и чувствительности коллектора. Указанна цель достигаетс тем, что в коллекторе светового излучени дл РЭМ, содержащем собирающее зеркало , в одном из фокусов которого расположен объектсдержатель, а з другом - входной торец фотоприемника , зеркало образовано усеченными софокусньми полуэллипсоидами, большие оси которых лежат в одной плоскости , проход щей через фокус и перпендикул рной электронно-оптической оси, а углы между секущими полуплоскост ми, ограниченными лини ми , совпадакщими с электроннот-опти ческой осью, обратно пропоктиональ ны величинам чувствнтельностей фотоприемников . На фиг. 1 приведен вид зеркала со стороны отражающих поверхностей; на фиг. 2 - сечение одной из секций коллектора и един из фотоприемников. Электронно-оптическа ось 1 РЭМ пересекает поверхность объекта 2 и вл етс осью отверсти 3 дл прохождени электронного луча. Точка падени луча совпадает с общим фокуссм 4 полуэллипсоидов 5. Световое излучение б взаимсдействует с отражагацими эллиптическими поверхност ми 7, имегацими вторые фокусы 8, в которых расположены фотоприемники 9. Устройство работает следующим образом. Тонкий электронный луч попадает на объект 2 через отверстие 3 и вызьюает световое катодолкииинесцентное излучение. Размер области высвечивани в образце очень мал (дес тки микрон) , поэтс 1у источник можно считать точечным по отношению к размерам всей системы. Объект расположен таким-образе, чтобы точка падени электронного луча на него совпала с общим фокусом 4полуэллиптических отражающих поверхностей 7. Поток свеТОВ9ГО излучени 6 отражаетс от поверхностей 7 и собираетс во вторых фокусах 8 полуэллипсоидов 5. Вблизи вторых фокусов 8 расположены фотоприемники 9, торцы которых перпендикул рны направлению светового луча с максимальной интенсивностью на выходе. Это направление Определ етс лучом, выход щим из объекта нормально к поверхности. Конструктивно коллектор выполнен в виде секций , которые представл ют из себ параллелепипеды с плоскост ми в форме полуэллипсоидов 5 и усеченные полуплоскост ми Р -О , Q -О, R -О .Углы между этими плоскост ми равны d, {Ь и ри составл ют в сумме 360°. Эти полуплоскости ограничены, одной и той же пр мой, котора совпадает с электронно-оптической осью 1. Поскольку угловое распределение интенсивности излучени из объекта осесимметрично относительно этой оси, на каткдую секцию будет попадать световой поток, пропорциональный углу мезвду секущими ее плоскост ми. В данна случае представлен коллектор, ссдержащи-й секции и дел щий световой поток на три части в пропорции, определ емой значени ми углов oi , и у . Аналогичные образом можно раздел ть поток на произвольное число частей в заданной пропорции. Применение коллектора дл получени цветных катодолкининесцентных изображений в РЭМ предусматривает следующий пор док выбора соотношений углов между секущ 1ми плоскост ми. .. Пусть имеютс три фотоприемника.