SU1005196A1 - Резистивна паста - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к электронной технике и может быть использовано , например, в микроэлектронике в технологии изготовлении толстопленочных резисторов и микросхем.

Известна резистивна  паста, включающа  диоксид рутени , стеклофритту и органическое св зующее ij.

Недостатками этой резистивной пасты  вл ютс  относительно высокий температурный коэффициент сопротивлени  и низка  стабильность удельного поверхностного сопротивлени .

Наиболее близкой к изобретению по технической хзущности  вл етс  резистивна  паста, включающа  диоксид рутени , оксид никел , гексатанталат меди, гексатанталат марганца, стеклофритту и органическое св зующее 2}.

Недостатки этой резистивной пасты заключаютс  в относительно высоком температурном коэффициенте сопротивлени , удельном поверхностном сопротивлении и недостаточной стабильности электрического сопротивлени .

Цель изобретени  - снижение удельного поверхностного сопротивлени , температурного коэффициента сопротивлени  .и повышение стабильности электрического сопротивлени .

Поставленна  цель достигаетс  тем, что резистивна  паста, включающа  диоксид рутени , оксид металла УВ1 груп5 ,пы, гексатанталат меди, гексатанталат марганца, стеклофритту и органическое св зующее, дополнительно содержит оксид меди и в качестве оксида металла УШ группы - оксид роди  при.следуIQ ющем количественном соотношении компонентов , вес.%:

Диоксид рутени (RuO2j 6,76-7,03 Оксид роди  (№203)

0,5-5,0 12,24-16,97 Оксид меди СиО Гексатанталат ме15 ди (Си4Та,.Н20)

0,5-6,0 Гексатанталат марганца (.Та О „-НдО)

0,,5 47,5-50,5 Стеклофритта Органическое

20

Остальное св зующее

При этом оксид меди и диоксид рутени  введены в пасту в виде мелкодисперсных порошков 3-CuOiRuO2,

25 вз тых в следующих количествах,

вес.%: оксид меди (СиО) 63,34 и диС1ксид рутени  (RuO2)35,66, или 4 Си-КиОл, вз тых в следующих количе твах , вес.%: оксид меди(СиО) 70,64;

36 диоксид рхтени  КиО2)29,36.

В качестве стекло ритты используют стекло марки Ru-34, а в качест .0е органического св ,зующего - смесь, состо щую из 15 вес.ч, ланолина, 3 вес-.ч. вазелинового масла и 1 вес. циклогексанола (ЕТО.035.304 ТУ).

Дл  получени  резистивной пасты приготовлено п ть смесей компонентов . Каждую смесь приготавливают следующи образом. Порошкообразные компоненты диоксид рутени , оксид роди , оксид меди, гексатанталаты меди и марганца и стеклофритту - перемешивают в тече ние 40 мин в агатовой ступке с пестиком , затем ввод т органическое св зующее и вновь перемешивают в течение 20-30 мин. Полученную пасту выгружают в плотно закрывающиес  банки из темного стекла, крышки которых оклеивают полиэтиленовой лентой с липким слоем.

Приготовленные пасты нанос т на керамические подложки из 22ХС методом трафаретной печати на установке ДЕК-1202 по 20 резисторов размером 2x2 мм на каждую подложку, подсушивают при температуре 300±10°С в течение 10 мин и вжигают в конвейерной печи ДЕК-840. Скорость подъема температуры при вжигании 20-25с/мин. Врем  выдержки при пиковой температуре 15 мин. Относительна  влажность при вжигании 60-75%. Оптимальна  пикова  температура 700 и 748°С.

Электросопротивление резисторов измер ют универсальным вольтметром В7-18, ТКС по методике ЕТО 032.546 ТУ в интервале температур +20 - +125°С и от +20 до -55С.

Составы Приготовленных резистивных паст и характеристики изготовленных на их основе толстопленочных резисторов приведены в таблице.

Изобретение позвол ет снизить температурный коэффициент сопротивлени , повысить стабильность электрического сопротивлени , уменьшить удельное поверхностное сопротивление и сократить расход дефицитного дорогосто щего диоксида рутени  в технологии изготовлени  толстопленочных резисторов .

1 .1005196

Claims (1)

1. Формула изобретени Диоксид рутени  (RuO) 6,76-7,03

   Резистивна  паста, включающа  ди-Оксид меди (СиО; 12,24-16,97

   оксид рутени , оксид металла УЮ труп-Гексатанталат мепы , г.ексатанталат меди, гексатан-ди (cu TagO gH2O) 0,5-6,0

   талат марганца, стеклофритту и орга- Гексатанталат марническое св зующее, о т л и ч а -ганца (Мп Та О д-Н2ЬЬ 0,5-7,5

   ю щ а   с-  тем, что, с целью они-Стеклофритта 47,5-50,5

   жени  удельного поверхностного со-Органическое св противлени , температурного коэффи-зующее Остальное

   .циента сопротивлени  и повышени  ОИсгточники информации,

   стабильности электрического сопротив-прин тые во внимание при экспертизе

   лени , она дополнительно содержит .1. Авторское свидетельство СССР

   оксид меди и в качестве оксида ме- 491161, кл. Н 01 С 7/00, 1975.

   талла УШ группы - оксид роди  при2. Авторское свидетельство СССР

   следующем количестве соотношени  ком-15по за вке № 3312920/18-21,

   понентов, вес.%:кл. Н 01 С 7/00, 1981.

   Оксид роди  (RhoOj) 0,5-5,0