SE502694C2 - Sätt att bestämma omfattningen av syreprecipitat i kisel - Google Patents
Sätt att bestämma omfattningen av syreprecipitat i kiselInfo
- Publication number
- SE502694C2 SE502694C2 SE9401386A SE9401386A SE502694C2 SE 502694 C2 SE502694 C2 SE 502694C2 SE 9401386 A SE9401386 A SE 9401386A SE 9401386 A SE9401386 A SE 9401386A SE 502694 C2 SE502694 C2 SE 502694C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- pct
- oxygen
- absorption
- concentration
- extent
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 title claims 2
- OBNDGIHQAIXEAO-UHFFFAOYSA-N [O].[Si] Chemical compound [O].[Si] OBNDGIHQAIXEAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 claims abstract description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 11
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims description 5
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 abstract description 5
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 abstract description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 3
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 abstract 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000003337 fertilizer Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N2021/3595—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using FTIR
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
582 694 viktigt komplement till de standardmetoder som idag finns för bestäm- ning av koncentrationer av enskilda syre- och kolatomer i kisel och bygger på kunskap från optiska och elektriska mätningar där en korre- lation mellan vibrationsabsorption hos syreatomer och olika elektriskt aktiva centra har etablerats.
Mätningen utförs vid rumstemperatur i en spektrometer för det infra- röda omrâdet och innebär att styrkan av absorptionsband motsvarande vâgtalen 728 1 1, 734 ¿ 1, 740 3 1, 975 i 1, 988 ¿ 1, 1000 i 1, 1006 1 1 och 1012 i 1 cm'1 uppmäts och normeras med provets tjocklek.
Mätförfarandet är tekniskt sett identiskt med det som används som standardmetod för bestämning av syrehalt och kolhalt i kisel, då styrkan av två absorptionsband motsvarande vågtalen 1106 och 605 cm'l mäts, därpå korrigeras för provens tjocklek och multipliceras med kända kalibreringskonstanter. Den kända metoden uppmäter halten av syreatomer i interstitiell position och kolatomer i substitionell position. Syreatomer och kolatomer i andra positioner detekteras inte med denna metod.
Skillnaden mot den kända metoden består principiellt i att man mäter vid andra vågtal. Absorptionskoefficienten är ett direkt mått på antalet syreatomer och kan användas för beräkning av antalet termiska donatorer.
Absorptionstoppen vid respektive vågtal motsvarar syreprecipitat av en bestämd konfiguration. Genom att mäta vid flera vâgtal kan man få en bild både av omfattningen av syreprecipitat och av fördelningen mellan olika typer av syreprecipitat.
Vid beräkningarna är det möjligt att använda samma kalibreringskons- tant som används vid bestämning av interstitiellt syre. Vid fortsatt utveckling av metoden är det tänkbart att förbättrade värden kan erhållas med en något anpassad kalibreringskonstant. Kalibereingskons- tanten för syre ger emellertid en god uppskattning av halten och fördelningen av olika typer av syreprecipitat. 3 502 694 Mätningarna kan utföras med oïika typer av spektrometerar för det infraröda omrâdet. En modern fouriergransform-infragödspektrometer, FTIR, är mycket ïämphg i sammanhanget.
Claims (3)
1. Sätt att bestämma omfattningen av syreprecipitat i kiseï, k ä n - n e t e c k n a t a v att man med en spektrometer för det infraröda området uppmäter absorptionskoefficienterna för ett e11er flera av vâgtaïen 728 i 1, 734 1 1, 740 1 1, 975 1 1, 988 3 1, 1000 i 1, 1006 i 1 och 1012 1 1 cm"l, varvid man använder den standardmetod som används b1.a. vid bestämning av syreatomer i interstitieïï position och koïatomer i substitioneii position då mätningar utförs vid vâgtaien 1106 och 605 cm_1, viiken metod innebär att man utför absorptionsmätningarna vid rumstemperatur, normerar mätvärdena med avseende på provets tjockiek och muïtipiicerar dem med en känd kaïibreringskonstant, varefter respektive värde på absorptionskoefficienten för de oiika uppmätta vågtaien utgör mått på koncentrationen av oïika konfigurationer av syreprecipitat.
2. Sätt enïigt patentkravet 1, k ä n n e t e c k n a t a v att man använder samma kaïibreringskonstant som används vid bestämning av interstitieiït syre.
3. Sätt enligt patentkravet 1 e11er 2, k ä n n e t e c k n a t a v att man använder en Eouriertransform-infrarödspektrometer, FTIR.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9401386A SE502694C2 (sv) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Sätt att bestämma omfattningen av syreprecipitat i kisel |
| EP95917539A EP0756705A1 (en) | 1994-04-22 | 1995-04-21 | A method to determine the extent of oxygen precipitate in silicon |
| PCT/SE1995/000438 WO1995029397A1 (en) | 1994-04-22 | 1995-04-21 | A method to determine the extent of oxygen precipitate in silicon |
| US08/727,563 US5757003A (en) | 1994-04-22 | 1995-04-21 | Method to determine the extent of oxygen precipitate in silicon |
| JP7527581A JPH10504639A (ja) | 1994-04-22 | 1995-04-21 | シリコン中の酸素析出の程度を定量するための方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9401386A SE502694C2 (sv) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Sätt att bestämma omfattningen av syreprecipitat i kisel |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE9401386D0 SE9401386D0 (sv) | 1994-04-22 |
| SE9401386L SE9401386L (sv) | 1995-10-23 |
| SE502694C2 true SE502694C2 (sv) | 1995-12-11 |
Family
ID=20393757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE9401386A SE502694C2 (sv) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Sätt att bestämma omfattningen av syreprecipitat i kisel |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5757003A (sv) |
| EP (1) | EP0756705A1 (sv) |
| JP (1) | JPH10504639A (sv) |
| SE (1) | SE502694C2 (sv) |
| WO (1) | WO1995029397A1 (sv) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113030000B (zh) * | 2021-03-01 | 2023-02-21 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 单晶硅棒间隙氧含量的测量方法及装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4429047A (en) * | 1981-08-28 | 1984-01-31 | Rca Corporation | Method for determining oxygen content in semiconductor material |
| US4809196A (en) * | 1986-04-10 | 1989-02-28 | International Business Machines Corporation | Method for designating/sorting semiconductor wafers according to predicted oxygen precipitation behavior |
| US5066599A (en) * | 1989-07-27 | 1991-11-19 | Fujitsu Limited | Silicon crystal oxygen evaluation method using fourier transform infrared spectroscopy (ftir) and semiconductor device fabrication method using the same |
| US5386118A (en) * | 1992-05-11 | 1995-01-31 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method and apparatus for determination of interstitial oxygen concentration in silicon single crystal |
| US5444246A (en) * | 1992-09-30 | 1995-08-22 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Determining carbon concentration in silicon single crystal by FT-IR |
-
1994
- 1994-04-22 SE SE9401386A patent/SE502694C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-04-21 US US08/727,563 patent/US5757003A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-04-21 JP JP7527581A patent/JPH10504639A/ja active Pending
- 1995-04-21 WO PCT/SE1995/000438 patent/WO1995029397A1/en not_active Application Discontinuation
- 1995-04-21 EP EP95917539A patent/EP0756705A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE9401386D0 (sv) | 1994-04-22 |
| WO1995029397A1 (en) | 1995-11-02 |
| JPH10504639A (ja) | 1998-05-06 |
| EP0756705A1 (en) | 1997-02-05 |
| US5757003A (en) | 1998-05-26 |
| SE9401386L (sv) | 1995-10-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2517858B2 (ja) | 近赤外透過スペクトルによる果実糖度の非破壊測定法 | |
| CA2437711A1 (en) | Method and apparatus for calibration of instruments that monitor the concentration of a sterilant in a system | |
| US10641704B2 (en) | Optimal weighted averaging pre-processing schemes for laser absorption spectroscopy | |
| DK165391D0 (da) | Ir-maalesystem | |
| WO2003077531A3 (en) | Normalization of inductive vehicle detector outputs | |
| EP0437249A2 (en) | Spectrometric method free from variations of error | |
| RU2083961C1 (ru) | Способ измерения температуры и коэффициента излучения поверхности | |
| US6912050B2 (en) | Phase shift measurement for luminescent light | |
| SE502694C2 (sv) | Sätt att bestämma omfattningen av syreprecipitat i kisel | |
| CN108037084A (zh) | 一种适用于光度法原理水质自动分析仪的抗干扰测量方法 | |
| EP0505003A3 (en) | Normalizing analyzer systems to a standard analyzer | |
| JPH07151677A (ja) | 濃度計 | |
| EP2306166B1 (en) | Measurement of fourier coefficients using integrating photometric detector | |
| EP0734523A1 (en) | DETECTION OF FOREIGN WATER OR LOWERING OF FREEZING POINT CONCERNING MILK SAMPLES | |
| US10488329B2 (en) | Calibration apparatus, calibration curve creation method, and independent component analysis method | |
| Gray et al. | Monitoring the solar temperature: Empirical calibration of the temperature sensitivity of CI λ5380 | |
| Zibordi et al. | Immersion factors for the RAMSES series of hyper-spectral underwater radiometers | |
| NO943324L (no) | Fremgangsmåte ved kalibreringssonder | |
| Dåbakk et al. | Sampling reproducibility and error estimation in near infrared calibration of lake sediments for water quality monitoring | |
| JP2004279339A (ja) | 濃度測定装置 | |
| WO2001004612A3 (en) | A method of determining the content of a component in a fluid sample and an apparatus therefor | |
| US20050083992A1 (en) | Method and apparatus for measuring temperature | |
| EP0970366B1 (en) | Measurement of acetone in milk using ir spectroscopy | |
| NL8403368A (nl) | Werkwijze voor de automatische verkrijging van de temperatuurafhankelijkheid van meetsignalen. | |
| EP1456614A1 (en) | Method and apparatus for measuring temperature |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 9401386-9 Format of ref document f/p: F |