SE466914B - Foerfarande foer framstaellning av svart titannitrid - Google Patents

Description

Åse 10 15 20 30 A l 1 exakt överensstämma med den kemiska sammansättningen för titannitrid, och i realiteten kan dessa mängder variera inom avsevärda gränser. Normalt kan ifrågavarande mängder motsvara titannitrider med den empiriska formeln TixNY, enligt vilken det molära förhållandet mellan x och y ligger inom intervallet 0,85 till 1,25 och företrädesvis 0,90 till 1,20.

Det svarta pulvret innehåller syre, såsom torde framgå av sammanhanget, i en mängd inom intervallet 1 till 10 vikt- procent av produktens totalvikt. I vissa materialprover, som undersökts genom ytanalys (t ex röntgenbaserad fotoelektron- spektroskopi) har det visat sig att syret övervägande befinner sig pà titannitridpartiklarnas yta, varvid dock röntgendiff- raktionsanalys icke indikerade förekomst av någon separat titanoxidfas.

Mängden syre, titan och kväve är relaterad till vad som erfordras i anslutning till produktens applikationsområde, och detta gäller även speciellt varje specifik partikeldimension hos produkten och denna aspekt belyses mera ingående i be- skrivningen som följer.

Enligt uppfinningsföremàlet innefattas även ett förfa- rande för framställning av svart titannitrid i form av att man upphettar ammoniak och titanhalogenid till en förbestämd reaktionstemperatur i anslutning till ett elektriskt plasma, som bildas i ett icke oxiderande gasflöde med utgångspunkt från en urladdning av likströmselektricitet mellan ett elekt- rodpar, varvid den upphettade gasen tillföres via ett in- loppsmunstycke in i en reaktor, och denna reaktor har sådan konstruktion och sådant arbetssätt att cirkulation igàngsättes hos det gasformiga materialet inuti reaktorn, varigenom recir- kulationsförhàllandet (RR) överstiger 2,5, och det svarta titannitridpulvret kan tillvaratas och enligt metoden definie- ras recirkulationsförhållandet enligt angiven formel RR _ 0,425 uns [D] 1/2 -o,42s varan vn varvid RR recirkulationsförhallande 10 15 20 25 30 35 a A 466 914 MN = gasströmmens massflödeshastighet via inloppsmunstycket R = inre radien för den reaktor inom vilken flöde äger rum fràn munstycket M = massflödeshastighet vid avstàndet 4R nedströms inlopps- munstycket Rn = radien för inloppsmunstyoket Dn = densiteten för det gasflöde som passerar inloppsmun- stycket D = densiteten för gaser inom reaktorn vid avståndet 4R ned- ströms inloppsmunstycket.

I sådana fall då reaktorn icke uppvisar konstant inre radie ställer sig formeln fortfarande tillämpbar om radien R approximeras till medelvärde.

Likaså kan en approximation vidtas beträffande densite- terna som beräknas genom att reaktioner och dissociering försummas.

Normalt ligger halten titanhalogenid utan att man fäster avseende vid reaktion eller dissociering inom intervallet 5 till 30 molprocent, företrädesvis 7 till 25 molprooent av det totala gasflödet.

Uppbyggnaden för reaktorn i diagramform framgår genom de bifogade ritningarna av fig. 1. Enligt ritningen är reaktorn 1 cylindrisk samt uppvisar konstant inre radie (R) i längd- riktningen. Det uppvärmda gasflödet tillföres via inloppet 13 genom munstycket 2 med inre radien Rn. Ett antal inlopp 4 är avsedda för reaktanterna. Genom diagrammet framgår en punkt X . vid avståndet 4 reaktorradier i reaktorns längdriktning från inloppsmunstycket jämte en anordning 10 för att separera produkten som släppas ut vid uttaget 14.

Reaktanterna uppvärmes till lämplig temperatur genom ett gasflöde i form av icke oxiderande gas som inertgas, t ex argon eller kväve eller väte. Denna gas upphettas genom att 4 UI 10 20 30 6 6 914 den får passera mellan ett elektrodpar vilket försörjes av likström med lämplig effektniva, vilken är tillräcklig för att i det därigenom erhållna gasplasmat tillföra reaktorn till- räcklig värmeenergi för uppvärmning av reaktanterna till erforderlig reaktionstemperatur. Den energi som överföres till gasplasmat vilket inmatas via inloppsmunstycket är beroende av ett flertal olika parametrar och det ställer sig önskvärt att upprätta en nettoeffekt i plasmat av 50 till 500 kcal per minut per mol titanahlogenid.

Spänningar och strömstyrkor kan användas inom ett brett intervall. Det ställer sig dock i ett stort antal fall lämp- ligt att den tillförda likströmsspänningen ligger inom ett intervall mellan 25 och 50 V för argon samt mellan 90 och 250 V, företrädesvis mellan 90 och 220 V för kväve eller väte samt att strömstyrkorna ligger mellan 200 ampere och 600 ampere för argon och mellan 80 ampere och 250 ampere för kväve och väte.

Reaktanterna innefattar titanhalogenid och ammoniak.

Halogeniderna är exempelvis fluorider och klorider, varvid titantetraklorid föredras. Reaktanterna tillföres separat i reaktorn vid gasplasmazonen via ett eller flera inlopp. Den använda flödeshastigheten är relaterad till den till gasplas- mat överförda effekten, varvid dock hastigheterna exempelvis kan variera mellan 0,1 och 5,0 mol per minut för titanhaloge- nid och mellan 0,2 och 15,0 per minut för ammoniak.

Reaktorn är så konstruerad och arbetar under sådana betingelser att recirkulationsförhàllandet enligt tidigare definition uppvisar ett värde av minst 2,5. Förhållandet överskrider normalt icke 10, varvid ett intervall motsvarande värden mellan 3 och 9 föredras.

Som torde framgå av sammanhanget är den exakta samman- sättning som eftersträvas hos produkten enligt uppfinningsfö- remalet i viss man sammankopplad med den färdiga produktens användningsområde, och produkten kan innefatta andra element än titan, kväve och syre. Reaktanterna kan innefatta införli- vande av andra metall- eller icke metallhalogenider, t ex kiselklorid, borklorid, zirkoniumklorid, aluminiumklorid eller tennklorid allt efter behov. Materialen kan direkt tillföras i reaktorn eller förblandas med en eller flera av reaktanterna.

Efter reaktion kan föreliggande produkt avlägsnas fràn 10 15 20 25 30 35 s 466 914 gasflödet med hjälp av någon lämplig filtreringsmetod, an- tingen före eller efter nedkylning. Filter i form av pàsfor- migt dukmaterial i likhet med förvärmt keramiskt filter kan vid behov användas. En skrubber med tillförd fluidum kan vid behov användas, och det har lägligt nog befunnits att tvätt- ning av gasflödet med klorvätesyra som innehåller upp till 20 % HCl är ett lämpligt tillvägagångssätt. ' Speciell apparatur för att genomföra föreliggande förfa- rande kommer att beskrivas som följer med utgàngspunkt fràn exemplen enbart i anslutning till bifogad ritning enligt vil- ken fig. 2 utgör en del av en tvärsnittsvy i diagramform av en reaktor och en första nedkylningssektion, och fig. 3 är en vy i diagramform av apparaturen enligt fig. 2 jämte vidhängande skrubberanläggningar. Som framgår av fig. 2 och 3 upphettas reaktorn 1 med hjälp av flamformigt plasma fràn munstycket 2 med utgàngdspunkt från en plasmakanon genom vilken ickeoxide- rande gas strömmar. Reaktanterna (t ex titantetraklorid, och ammoniak) tillföras en första reaktionszon 3 via flamringar 4, vilka är tillverkade av nickel.

Hetgaserna inmatas därefter i en ytterligare reaktions- zon som är tillverkad av cement med hög aluminiumoxidhalt 5 och isolerad genom ett lager med isolercement 6, varefter de utströmmar i en första nedkylningszon 7, som är tillverkad av stål och nedkyld genom finfördelade vattenstràlar 8.

I samband med att reaktanterna lämnar nedkylningszonen 7 undergàr de avkylning med kväve med hjälp av en perforerad avkylningsring Q av aluminium, och de strömmar in i en upp- sättning med filter 10, vari produkten separeras från avgaser- na. Sura avgaser (t ex HCl) avlägsnas med tvà skrubberanord- ningar 11 före utsläpp i atmosfären. Flödet genom skrubberan- läggningen 11 upprätthàlles genom ett luftblandningsrör 12.

Föreliggande produkter kan användas inom talrika tillämpningar. Produkten kan användas som ett svart pigment för bläck, färger, plaster och kosmetika samt även i form av en elektriskt ledande tillsats för dessa produkter med appli- kationer inom elektromagnetisk interferensavakärmning eller i samband med antistatiska applikationer. Produkten kan även användas som elektriskt ledande tillsats för keramiska mate- rial baserade pà kiselnitrid, zirkoniumoxid eller aluminium- 4 10 15 20 25 30 35 914 6 oxid för att underlätta bearbetning i anslutning till elekt- risk urladdning eller vid framställning av värmelement. Pro- dukten resulterar även i förbättrad hårdhet och hållfasthet hos sintrade keramer, t ex karbider, vilka kan användas som skärverktyg. Produkterna kan även användas för beläggning av andra komponenter, t ex extrusionsmunstycken för att förbättra nötningsbeständigheten samt även då man önskar uppnå dekorati- va beläggningar pà olika föremål. Produkterna kan även använ- das som rengöringsmedel med slipverkan samt i form av antista- tiska tillsatser för magnetiska inspelningsband. Produkterna kan även sintras utan att tillsatsmedel användes, varigenom man erhåller keramiska föremål med guldliknande lysteryta vilka ställer sig lämpliga i samband med smycketillverkning eller ornamentering. Sintrade stycken kan användas som elekt- roder eller förstoftningstargetar och kan användas vid fram- ställning av guldliknande beläggningar med lysteryta.

I sådana fall då produkten användes i form av ledande tillsats ställer det sig fördelaktigt om produkten innehåller 1 till 4 viktprocent syre samt uppvisar en specifik yta av 10 till 35 m2 per gram, varvid speciellt föredras 1,5 till 3 viktprocent syre samt en specifik yta av 15 till 30 m2 per gram.

Om produkten skall användas i form av svart pigment eller i keramer ställer det sig fördelaktigt om produkten innehåller syre i en mängd av 4 till 10 viktprocent, speciellt mellan 6 och 10 viktprocent samt uppvisar en specifik yta mellan 35 och 80, företrädesvis 50 coh 80 m3 per gram.

Uppfinningen åskådliggöres genom exemplen som följer.

De värden för syrehalten som anges avser sådana värden som bestämmes med utgångspunkt från en nyligen framställd produdkt. Ytterligare oxidation och/eller hydrolys kan inträf- fa vid förlängd kontakt med luft och/eller vatten, speciellt vid förhöjda temperaturer.

Exempel 1 Ett likströmsbaserat plasma upprättades i argon med flödeshastigheten 3,4 mol/min via ett elektrodpar som försörj- des med 39,5 volt och 525 ampere likström. Då reaktorn som var belägen under plasmainloppet hade temperaturstabiliserats inmatades titantetraklorid med hastigheten 1,0 mol per minut 10 20 30 35 w 4-66 914 samt ammoniakgas med 3,5 mol per minut och vid den flamzon som omslöts av den längst ut belägna delen av plasmat. Genom plasmat överfördes värme till reaktorn i mängden per tidsenhet 145 kcal per minut (10,2 kwatt). Titantetrakloridhalten var hög <12,0 X) och de olika variablerna i ekvationen som lag till grund för recirkulationsförhàllandet uppvisade värdena Mn = 136 g/min; M = 402 g/min; Rn = 3 mm; R = 55 mm; Dn = s,sx1o“5gcm“3 och D = a,?x1o'4 gem-3.

Recirkulationsförhàllandet var 6,4.

Produkten avskildes från gasflödet genom filtrering i en skrubber med vattenhaltig HCI (15 %) samt hade den specifika ytan (BET) 23 m2 per gram jämte syrehalten 1,7 viktprocent.

Den pà angivet sätt framställda produkten ställer sig mera föredelaktig som elektrisk ledande tillsats jämfört med titannitridpulver, vilka framställts enligt andra tillväga- gangssätt, såsom framgår av jämförelsen som följer.

Pulver med utgångspunkt från exempel 1 jämfördes med pulvret A vilket framställdes genom nitridering av titanmetall (specifik yta 3 m2 per gram, syrehalt 0,6 %). Värdera pulvret med tillsatshalten 25 viktprocent maldes i kulkvarn med kisel- nitrid och magnesiumoxid (1 %> i propan-2-ol under 2 timmar.

Blandningarna torkades i luft och varmpressades vid 20 MPa kväve och 1?O0°C under 15 minuter.

Den elektriska resistiviteten för de sintrade material- styckena befanns vara 1,6x109 ohmmeter för det 25 procentiga pulvret A och 4,4x10"2 ohmmeter för den 25-procentiga produk- ten enligt exempel 1.

Produkten enligt exempel 1 ställer sig även mera fördel- aktig jämfört med de titannitrider som framställts enligt andra procedurer därigenom att kompakta keramiska formproduk- ter kan framställas oberoende av om varmpressning eller sint- ring utan tryck användes.

Pulvret enligt exempel 1 och pulvret A varmpressades utan bindemedel eller sintringshjälpmedel vid 20 MPa och 1400°C. Pulvret enligt exempel resulterade i en densitet överstigande 99 % inom 2,5 minuter under det att pulvret A efter 6 minuter upphörde att förtätas vid en densitet som endast uppgick till 80 %.

Sintring utan tryck i kväve vid 1600°C under 30 minuter 10 15 20 30 35 ledde till liknande resultat. Pulvret enligt exempel 1 resul- terade i en keramisk formad produkt vars densitet överstiger 99 X samt med ljus guldfärgad lysteryta under det att pulvret A resulterade i ett materialstycke med en densitet av endast 65 % och som var mörkbrunt till färgen.

Exempel 2 Exempel 1 upprepades, varvid dock ett plasma användes med utgångspunkt fràn kväve, och värme tillfördes reaktorn i en mängd av 160 kcal per minut (11,2 kwatt). Titantetraklori- dens halt var 8,5 2. De variabler som användes med avseende pà att fastställa recirkulationsförhállandet uppvisade värden som Mn = 92 g/min, M = 454 g/min, Rn = Dn = 6,1x10'5 gcm"3 samt D = 2,8x10°4 gcm"3. följer: 3 mm, R = 57 mm, Recirkulationsförhällandet var 3,1.

Den skrubberfilteruppsamlade produkten hade en specifik yta (BET) av 39 m2 per gram samt syrehalten 5,7 viktprocent.

Exempel 3 En ytterigare undersökning vidtogs därigenom att ett likströmsbaserat plasma upprättades i argon samt värmeenergin 94 kcal per minut (6,6 kwatt) tillfördes reaktorn. Titantetra- klorid med hastigheten 0,5 mol per minut och ammoniakgas med hastighet 1,0 mol per minut inmatades vid zonen för plasmats längst ut belägna del. Titantetrakloridhalten var 10,4 % och värdena för de variabler som lag till grund för recirkula- 116 g/min, M = 244 25 mm, nn = Lsxio-S gem* och D = tionsförhàllandet var som följer: Mn = g/min, Rn = R = 3,5x10'4 gcm'3. 3 mm, Recirkulationsförhàllandet var 3,3.

Produkten tillvaratogs i ett pàsformigt dukfilter fram- ställt av polytetrafluoreten och uppvisar den specifika ytan (BET) 76 m2 per gram samt innehåller 7,5 viktprocent syre.

Exempel 4 Ett likströmsplasma upprättades i argon och man tillför- de värmeenergin 184 kcal/min (12,9 kwatt) i reaktorn. Titan- tetraklorid med hastigheten 1,6 mol per minut och ammoniakgas med hastigheten 5 mol per minut inmatades vid zonen för plas- mats längst ut belägna del. Titantetrakloridhalten var 13,2 X och värdena för de variabler som låg till grund för recirkula- tionsförhàllandet var som följer: Mn = 204 g/min, M = 609 UI 10 20 30 9 466 914 g/min, Rn = 3 mm, R = ss mm, nn = s,5x1o*5 gcm'3 och D = 3,6x1O'4 gcm"3.

Recirkulationsförhállandet var 5,7.

Produkten, som tillvaratogs i ett skrubberfilter vilket innehöll 10 % HCl, uppvisade den specifika ytan (BET) 17 m2 per gram och innehöll 2,8 viktprocent syre.

Exempel 5 Ett likströmsplasma upprättades i kväve, varvid värme- energin 333 kcal/min (23,3 kwatt) tillfördes reaktorn. Titan- tetraklorid med hastigheten 1,7 mol per minut och ammoniakgas med hastighet 3 mol per minut inmatades vid zonen för den längst ut belägna plasmadelen. Titantetrakloridhalten var 15,4 % och värdena för de variabler som làg till grund för recirku- lationsförhallandet var som följer: Mn = 88 g/min, M = 552 g/min, am = 3 mm, R = 75 mm, nn = 3,3x1o"5 gcm'3 och D = a,2x1o“4 gcm“3.

Recirkulationsförhàllandet var 4,8.

Produkten uppsamlades i ett skrubberfilter som innehöll 20 % HCl, varvid den specifika ytan (EET) uppgick till 23 m2 per gram och svrehalten var 2,8 viktprocent.

Exempel 6 Ett likströmsplasma upprättades i kväve, varvid värme- energin 630 kcal/min (44,1 kwatt) tillfördes reaktorn. Titan- tetraklorid med hastigheten 1,4 mol per minut och ammonikagas med hastighet 4 mol per minut inmatades vid området för den längst ut belägna plasmazonen.

Titantetrakloridhalten var 12,1 X och värdena för de variabler som làg till grund för recirkulationsförhàllandet var som följer: Mn = 146 g/min, M = 508 g/min, Rn = B mm, R = 100 nmn Dn = 3,0x10"5 gcm'3 och D = 2,7x10"4 gcm'3.

Recirkulationsförhàllandet var 4,1.

Produkten tillvaratogs i ett skrubberfilter med 10 Z Cl, varvid den specifika ytan (EET) uppgick till 21 m2 per gram samt syrehalten var 3,6 viktprocent.

Exempel 7 Ett likströmsplasma upprättades i kväve, varvid värme- energin 290 kcal/min (20,3 kwatt) tillfördes reaktorn. Titan- tetraklorid med hastigheten 1,4 mol per minut och ammoniak med hastighet 3 mol per minut inmatades vid omrâdet för plasmats G1 10 15 20 30 35 466 914 m längst ut belägna del. Titantetrakloridhalten var 18,9 % och värdena för de variabler som lag till grund för recirkula- tionsförhállandet var som följer: Mn = 56 g/min, M = 481 g/min, Rn = e mm, R = 100 mm, Du = 2,ex1o"5 gem* och D = 4,6x1o'4 gem-Ä Recirkulationsförhallandet var 2,7.

Produkten, som uppsamlades med ett skrubberfilter som innehöll 10 % HCl, uppvisade den specifika ytan (BET) 38 m2 per gram och innehöll 5,9 viktprocent syre.

Exempel 8 D Ett likströmsplasma upprättades i argon och värmeenergin 156 kcal/min (10,9 kwatt> tillfördes reaktorn. Titantetra- klorid med hastigheten 0,9 mol per minut, kiseltetraklorid med hastigheten 0,1 mol per minut och ammoniak med hastighet 3,5 mol per minut inmatades vid omradet för plasmats längst ut belägna del. Halten för tetrakloriderna var 10,3 molprocent, och värdena för de variabler som lag till grund för recirkula- tionsförhàllandet var som följer: Mn = 208 g/min, M = 479 g/min, Rn = 3 mm, R = ss mm, on = 7,sx1o'5 gem* och n = 4,ex1c'4 gcm'3.

Recirkulationsförhallandet var 7,9.

Produkten uppsamlades i ett skrubberfilter som innehöll 10 % HCl samt befanns uppvisa den specifika ytan (EET) 26 m2 per gram och visade sig innehålla 3,1 viktprocent syre jämte 2,9 viktprocent kisel.

Genom exemplen som följer anges processförlopp som ligger utom ramen för de angivna parametrarna, och de belyser nödvändigheten av arbetsförlopp som ligger inom parametrarna enligt föreliggande uppfinning för att därigenom skall erhål- las den eftersträvade och säkerställda fina partikeldimensio- nen jämte sådan syremängd som ligger inom de klart angivna gränsvärdena.

Exempel 9 (Jämförelseförsök) Ett likströmsplasma upprättades i argon, varvid värme- energi i en mängd av 41 kcal/min (9,9 kwatt) tillfördes reak- torn. Titantetraklorid med hastigheten 0,8 mol per minut och ammoniakgas med hastighet 1,6 mol per minut inmatades vid omradet för plasmats längst ut belägna del. Titantetrakloriden var 6,0 X och värdena för de variabler som låg till grund för 10 15 20 1, 466 914 recirkulationsförhàllandet var som följer: Mn = 92, g/min, M = 615 g/min, Rn = 3 mm, R = 25 mm, Dn = 3,9x10_5 gcm"3 och D = 4,0x10'4gcm"3.

Recirkulationsförhàllandet var 1,3.

Produkten som tillvaratogs i ett pàsfilter av polytetra- fluoretenduk uppvisade den specifika ytan (BET) 99 m2 per gram och innehöll 13,5 viktprocent syre.

Vid sintring av denna produkt utan tryck i kväve vid 1600°C under 30 minuter erhölls ett format material med en densitet av endast 45 X och som var svagt mörktbrunfärgat.

Exempel 10 (Jämförelseförsök) Ett likströmsplasma upprättades i argon, varvid värme- energi tillfördes i en mängd av 110 kcal/min (7,7 kwatt) i reaktorn. Titantetraklorid med hastigheten 0,5 mol per minut och ammoniakgas med hastigheten 1,0 mol per minut inmatades vid omrâdet för plasmats längst ut belägna del. Titantetra- kloridhalten var 5,5 % och värdena för de variabler som lag till grund för recirkulationsförhàllandet var som följer: Mn = 104 g/min, M = 416 g/min, Rn = 3 mm, R = 25 mm, Dn = 5,5x10"5 gcm“3 och D = 4,5x10'4 gcm'3.

Recirkulationsförhállandet var 2,1.

Produkten, som tillvaratogs i pàsfilter av polytetra- fluoroetenduk uppvisade den specifika ytan (BET) 71 m2 per gram och innehöll 10,3 viktprocent syre.

Claims (11)

10 15 20 25 30 35 40 466 914 11 Patentkrav

1. Förfarande för framställning av svart titannitrid genom reaktion mellan ammoniak och en titanhalogenid, k ä n n e t e c k n a t av att ammoniaken och titanhalogeniden upphettas till förbestämd reaktionstemperatur med hjälp av elektriskt plasma som bildas i ett flöde med icke oxiderande gas och som alstras genom urladdning med likströmselektricitet mellan ett elektrodpar, varvid den upphettade gasen via ett in- loppsmunstycke inmatas i en reaktor, och reaktorn har sådan uppbyggnad och sådant arbetssätt att cirkulation av det gas- formiga materialet förorsakas i reaktorn, varigenom recirkula- tionsförhållandet (RR) blir större än 2,5, samt att det svarta titannitridpulvret tillvaratas, varvid förfarandet baseras på ett recirkulationsförhållande som definieras enligt angiven formel: RR. = V2» _0425- hLRn 1Dn , varvid Mn = gasflödets massflöde genom inloppsmunstycket R = den inre radien för reaktorn med flöde från munstycket M = massflöde vid avståndet 4R nedströms inlopps- munstycket Rn = inloppsmunstyckets radie Dn = densiteten för det gasflöde som passerar genom inloppsmunstycket _ . D = densitet för gaser inom reaktorn vid avståndet 4R nedströms inloppsmunstycket

2. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att halten för titanhalogeniden utan hänsyn tagen till reaktio- ner eller dissociering ligger inom intervallet 5 till 30 molprocent med avseende på det totala gasflödet.

3. Förfarande enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a t av att titanhalogenid ligger inom intervallet 7 till 25 %.

4. Förfarande enligt något av kraven 1, 2 eller 3, k ä n n e t e c k n a t av att titanhalogeniden är titantetra- klorid.

5. Förfarande enligt kravl, k ä n n e t e c k n a t av f! 10 15 20 466 914 /2 att den nettoeffekt som erhålles i plasmat är mellan 50 och 500 kcal per minut per mol titanhalogenid.

6. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att den icke oxiderande gasen är argon och att plasmat alstras genom en likströmmsspänning av 25 till 50 volt samt strömstyr- kan 200 till 600 ampere.

7. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att den icke oxiderande gasen är kväve eller väte och att plasmat alstras genom en likströmsspänning mellan 90 och 250 volt och en strömstyrka mellan 80 och 250 ampere.

8. Förfarande enligt krav 7, k ä n_n e t e c k n a t av att likströmsspänningen är 90 till 220 volt.

9. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att massflödeshastigheten för titanhalogenid är mellan 0,1 och 5,0 mol per minut.

10. Förfarande enligt krav 1, k ä n.n e t e c k n a t av att recirkulationsförhållandet (RR) icke överstiger 10.

11. Förfarande enligt krav 11, k ä n n e t e c k n a t av att recirkulationsförhållandet (RR) är 3 till 9.