SE440415B - Forfarande och anordning for kalibrering av ett positioneringssystem - Google Patents

Forfarande och anordning for kalibrering av ett positioneringssystem

Info

Publication number
SE440415B
SE440415B SE8306347A SE8306347A SE440415B SE 440415 B SE440415 B SE 440415B SE 8306347 A SE8306347 A SE 8306347A SE 8306347 A SE8306347 A SE 8306347A SE 440415 B SE440415 B SE 440415B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
detectors
control device
positioning device
sensor
actual value
Prior art date
Application number
SE8306347A
Other languages
English (en)
Other versions
SE8306347D0 (sv
SE8306347L (sv
Inventor
G L Stridsberg
Original Assignee
Mydata Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mydata Ab filed Critical Mydata Ab
Priority to SE8306347A priority Critical patent/SE440415B/sv
Publication of SE8306347D0 publication Critical patent/SE8306347D0/sv
Priority to NO844482A priority patent/NO844482L/no
Priority to DE8484850355T priority patent/DE3473058D1/de
Priority to EP84850355A priority patent/EP0148138B1/en
Priority to AT84850355T priority patent/ATE36079T1/de
Priority to FI844467A priority patent/FI844467L/fi
Priority to DK543884A priority patent/DK543884A/da
Priority to US06/671,685 priority patent/US4660981A/en
Priority to KR1019840007203A priority patent/KR890003031B1/ko
Priority to CA000467979A priority patent/CA1232658A/en
Priority to JP59242217A priority patent/JPS60169911A/ja
Publication of SE8306347L publication Critical patent/SE8306347L/sv
Publication of SE440415B publication Critical patent/SE440415B/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00Control of position or direction
    • G05D3/12Control of position or direction using feedback
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Paper (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Control Of Turbines (AREA)
  • Earth Drilling (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Numerical Control (AREA)

Description

83063¿i7-9 U = Fi * Kt * A (3) där Fi är det för varje givare inom en viss typ individuella förstärknings- felet. Felet kan lätt justeras genom att ändra mätvärdet med en konstant faktor 1/Fi genom att t ex justera trimpotentiometer. c) OLINEARITET illustreras av linje 106 i figur H. För en givare vars enda avvikelse från en perfekt givare består av olinearitet gäller att U = Kr * A + Lt(A) (li) där Lt(A) är det för varje givare inom en viss typ gemensamma olineari~ teten. Olínearitet kan i datoriserade system relativt lätt justeras genom att man låter systemet använda mätvärdet och t ex en i programmet inlagd tabell för att räkna fram instorheten. Ett vanligt exempel är termoelement för temperaturmätningar. d) LINEARITETSFEL illustreras av linje 107 vare vars enda avvikelse från en perfekt givare består av ett linearitets- i figur 5. För en gi- fel gäller att u=Ktf=A+Ei(A) (5) där Ei(A) är det för varje givare inom en viss typ individuella lineari- tetsfelet. Felet är olika för olika givare inom samma typ. Denna typ av fel kan lösas med hjälp av för varje individ uppgjorda kalibreringstabel- ler, men detta är ovanligt. e) DRlFT innebär att givarens egenskaper förändrats antingen med tiden eller beroende av t ex temperatur eller matníngsspänning. De se- nare driftstyperna kan motverkas genom att de storheter som påverkar gi- varens egenskaper hålls konstanta. Att hålla en matningsspänning konstant är normalt enkelt, men att hålla arbetstemperaturen konstant medför oftast komplex konstruktion och långa starttider innan utrustningen är användbar. f) Med REPETERBARHET menas hur stort invärdesområde som givaren kan ange samma utvärde för. Digitala vinkelgivare kan endast ange ett visst antal olika värden, och kommer då att ge samma siffervärde ut för en hel vinkelintervall. Om givaren t ex har 1000 olika sifferkombinationer per varv kommer den att ge samma utdata för åtminstone ett tusendels varv.
Analoga vinkelgivare kan ange ett oändligt antal värden men kan ändå anqe samma utdata för ett helt intervall av olika vinklar beroende på brus, hy- steresïs och andra effekter. 83063f+7~9 Huvudändamålet med uppfinningen är att åstadkomma en metod och en an- ordning som skall göra det möjligt att uppnå god noggrannhet med användande av givare med betydande linearitetsfel, temperaturdrift och långsam tidsbe- roende drift. Det enda krav som ställs på givaren är att den skall ha god repeterbarhet över en kortare tid samt att linearitetsfelet skall vara litet inom små vinkelintervall.
Detta ändamål realiseras enligt metoden för uppfinningen huvudsakligen därigenom, att detektorer är placerade inom arbetsytan i vissa bestämda lägen, samt att positioneringsanordningens arbetsfas med vissa bestämda tidsintervall avbryts av en kalibreringsfas, under vilken positioneringsanordningen noga in- riktas mot åtminstone en av detektorerna, varvid dess utsignal får påverka styrdonet, varefter ärvärdessignalen uppmäts samt positioneringsanordningen ka- libreras med hänsyn till den uppmätta ärvärdessignalen.
Anordningen enligt uppfinningen kännetecknas väsent- ligen av att detektorer är anordnade på vissa bestämda positioner inom arbets- ytan, vílka detektorer är anslutbara till styrdonet, samt att styrdonet vid vissa bestämda tillfällen är anordnat att inrikta objektet mot åtminstone en detektor samt avkänna utsignalen från detektorn för att vid optimal utsignal jämföra ärvärdessignalen för objektets läge med informationen om detektorns läge, i och för kalibrering av positioneringsanordningen.
Uppfinningen är primärt inriktad på men inte begränsad till system där positioneringen styrs av en eller flera galvanometrar. Galvanometrar är moto- rer som vrider på sin axel endast inom en begränsad vinkel, t ex l5 grader åt vardera hållet. Givaren i en galvanometer skall uppfylla ett antal krav som är motstrídiga. Detta beror på att axeln skall kunna röra sig mycket snabbt.
Givarens rörliga del får därför inte väga mycket och måste dessutom klara hö- ga hastigheter. För att uppnå en noggrannhet över 0,1 X av hela arbetsområdet krävs avancerade och därför dyra konstruktioner. I mer avancerade fall krävs bl a konstant temperatur av hela den konstruktion i vilken galvanometern sit- ter.
Det är emellertid relativt enkelt att tillverka galvanometergivare som visserligen har påtagliga drífts- och linearitetsfel men som har hög repeter- barhet. Anordningen/Metoden enligt uppfinningen gör det möjligt att i många tillämpningar uppnå sanma eller bättre noggrannhet med sådana enkla qivare än vad som nu kan nås med mycket dyrare konstruktioner.
Uppfinningen skall nu närmare beskrivas med hänvisning till de bifogade ritningsfigurerna. 83063147-9 Fig 1 visar överföringsfunktionen för en ideal givare.
Fig 2 visar överföringsfunktionen för en givare med nollfel.
Fig 3 visar överföringsfunktionen för en givare med förstärkningsfel.
Fig Ä visar överföringsfunktionen för en givare med olinearitet.
Fig 5 visar överföringsfunktionen för en givare med linearitetsfel.
Fig 6 visar överföringsfunktionen för en givare med línearitetsfel och drift som den utnyttjas enligt uppfinningen.
Fig 7 visar anordníngen enligt uppfinningen tillämpad för etten-galvano- metersystem.
Fig 8 visar anordníngen enligt uppfinningen tillämpad för ett utpek- ningssystem med två galvanometrar.
Fig 7 visar för tydlighets skull anordníngen enligt uppfinningen til- lämpad för ett en-galvanometersystem. Ettsådantsystem har inte någon större användning men visar principen.
En ljuskälla 201 sänder en ljusstråle 202 mot en spegel 203 som vrids av en galvanometer 20k. Spegelns vinkel avkännes av givaren 205. Ljusstrålen är riktad mot arbetsytan 206. l denna finns ett antal hål 207 och under hålen sitter ljuskänsliga detektorer 208. (Hålen är en del av en utförandeform av uppfinningen. Andra utföranden är möjliga.) Styrdatorn 209 ger kommandon till galvanometern 20k och kan avkänna utsignalen från givaren 205 och ljusintensi- teten som träffar detektorerna 208. Rätt detektor väljs av multiplexern Zll.
Vinkeln 210 sett från spegeln 203 mellan de olika detektorerna 207 fö- rutsätts vara känd. Utgående från dessa kan styrdatorn med lämpliga intervall kalibrera givaren 205 genom att låta strålen avsöka detektorerna 208. Detek- torerna 208 placeras så tätt att givarens 205 linearitetsfel för delvinkeln mellan två detektorer blir tillräckligt liten för att erforderlig noggrannhet skall kunna uppnås. Rekalibreringen görs så ofta att givaren 205 inte hinner driva så långt mellan de olika kalíbreringarna att noggrannheten påverkas mer än vad som kan accepteras.
Utnyttjandet framgår av fig 6. Varje detektors vinkel sett från spegeln är känd och i fig 6 inritad som punkter IO8. Efter att ha mätt upp det värde U som givaren ger för vardera detektorn kan ett antal korrekta punkter 109 upp- göras. Utgående från detta kan en kalibrerad överföringsfunktion 110 för giva- ren uppgöras. När Styrdatorn 209 sedan uppmäter en utsignal lll från givaren 205 kan den utnyttja överföríngsfunktíonen ll0 för att via punkten 112 ta fram vinkeln 113.
Fig 8 visar anordníngen enligt uppfinningen tillämpad för ett system för utpekning med två galvanometrar. l figurerna återfinns en ljuskälla 201, som sänder en ljusstråle 202 mot en spegel 203 som vrids av en galvanometer 20k. szo6zt7~9 Spegelns vinkel avkänns av givaren 205. Ljusstrålen fortsätter mot en spegel 303 som vrids av en galvanometer 300. Spegelns 303 vinkel avkänns av givaren 305. Ljusstrålen gär sedan mot arbetsområdet, vars avgränsning markeras av ramen 501.
Utanför ramen men inom anordningens arbetsyta finns för uppfinningens tillämpande för galvanometergivare 205 ett antal hål 207, och under hålen sit- ter ljuskänsliga detektorer 208. Därtill finns för uppfinningens tillämpande för galvanometergivare 305 ett antal hål 307, under vilka sitter ljuskänsliga detektorer 308. Slutligen finns för uppfinningens tillämpande för såväl gal- vanometergivare 205 och 305 ett hål 507 och under detta en ljuskänslig detek- tor 508. Detektorerna är via multiplexern 211-311 kopplad till styrdatorn 209.
I normal drift riktas en arbetsstråle 502 mot arbetsområdet 501. Med vissa intervall avbryts arbetsfasen och ersätts av en kort kalibreringsfas.
I fig 8 visas en sådan stråle 503. Strålen kommer givetvis normalt från samma ljuskälla 201. Galvanometer 200 riktar då strälen strax utanför arbetsområdet.
Den galvanometergivare 305 som skall kalibreras är dock i sitt vanliga arbets- intervall. Styrdatorn 209 justerar nu galvanometrarna 200 och 300 så att maxi- mal utsignal fås från den utvalda detektorn 308. Därefter avläser den då ak- tuella utsignalen från givare 305 och återgår sedan till arbetsfasen. En sådan kalibreringsfas kan i många fall klaras på 3/100-dels sekund.
Tvâgalvanometerfallet enligt fig 8 skiljer sig obetydligt från en-gal- vanometerfallet. Skillnaden ligger i att man har ungefär dubbelt antal detek- torer och att styrdatorn måste justera även den galvanometer som inte skall kalibreras så att strålen träffar detektorerna. Utnyttjandet av data från de- tektorerna är identiskt med vad som beskrivits i fig 6 bortsett från att sam- na typ av operation måste göras en gång för varje givare.

Claims (4)

8306347-9 Patentkrav
1. Förfarande för kalibrering av ett positioneringssystem, vilket system innefattar ett styrdon, varifrån börvärdessignaler avges till en positione- ringsanordning, avsedd att under en arbetsfas inställa ett objekt mot en arbetsyta, varvid positioneringsanordningens läge avkänns och omvandlas till en ärvärdessignal, som återförs till styrdonet, k ä n n e t e c k n a t därav, att detektorer är placerade inom arbetsytan i vissa bestämda lägen, samt att positioneringsanordningens arbetsfas med vissa bestämda tidsintervall avbryts av en kalibreringsfas, under vilken positioneringsanordningen noga inriktas mot åtminstone en av detektorerna, varvid dess utsignal får påverka styrdonet, varefter ärvärdessignalen uppmäts samt positioneringsanordningen kalibreras med hänsyn till den uppmätta ärvärdessignalen.
2. Anordning för kalibrering av ett positioneringssystem, som innefattar ett styrdon, som är anordnat att avge en börvärdessignal, avsedd att påverka en positioneringsanordning för inställning av ett objekt mot en arbetsyta, varjämte medel är anordnade att avkänna och omvandla objektets läge till en ärvärdessig- nal, som är införbar på styrdonet, k ä n n e t e c k n a d därav, att detek- torer är anordnade på vissa bestämda positioner inom arbetsytan, vilka detekto- rer är anslutbara till styrdonet, samt att styrdonet vid vissa bestämda till- fällen är anordnat att inrikta objektet mot åtminstone en detektor samt avkänna utsignalen från detektorn för att vid optimal utsignal jämföra ärvärdessignalen för objektets läge med informationen om detektorns läge, i och för kalibrering av positioneringsanordningen.
3. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d därav, att objektet innefattar minst en reflektor som är vridbar kring en axel och belyses från en strålningskälla, varvid den reflekterade strålen bringas att träffa arbetsytan, samt att medel är anordnade för vridning av reflektorn och en givare är anordnad för avkänning av reflektoraxelns läge.
4. Anordning enligt krav 3, k ä n n e t e c k n a d därav, att objektet innefattar två reflektorer, som är vridbara kring var sin axel, av vilka den ena är belägen i ett plan, som är i huvudsak parallellt med arbetsytan, medan den andra är väsentligen vinkelrät mot arbetsytans plan, samt att detektorerna är belägna utanför ett inom arbetsytan definierat arbetsområde.
SE8306347A 1983-11-17 1983-11-17 Forfarande och anordning for kalibrering av ett positioneringssystem SE440415B (sv)

Priority Applications (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8306347A SE440415B (sv) 1983-11-17 1983-11-17 Forfarande och anordning for kalibrering av ett positioneringssystem
NO844482A NO844482L (no) 1983-11-17 1984-11-09 Fremgangsmaate og anordning for kalibrering av et posisjoneringssystem.
FI844467A FI844467L (fi) 1983-11-17 1984-11-14 Foerfarande och anordning foer kalibrering av ett positioneringssystem.
AT84850355T ATE36079T1 (de) 1983-11-17 1984-11-14 Verfahren und anordnung zum eichen eines positioniersystems.
EP84850355A EP0148138B1 (en) 1983-11-17 1984-11-14 Method and apparatus for calibrating a positioning system
DE8484850355T DE3473058D1 (en) 1983-11-17 1984-11-14 Method and apparatus for calibrating a positioning system
DK543884A DK543884A (da) 1983-11-17 1984-11-15 Fremgangsmaade og anordning til kalibrering af et positioneringssystem
US06/671,685 US4660981A (en) 1983-11-17 1984-11-15 Method and apparatus for calibrating a positioning system
KR1019840007203A KR890003031B1 (ko) 1983-11-17 1984-11-16 위치설정기의 캘리브레이팅 장치 및 그 방법
CA000467979A CA1232658A (en) 1983-11-17 1984-11-16 Method and apparatus for calibrating a positioning system
JP59242217A JPS60169911A (ja) 1983-11-17 1984-11-16 位置決め装置の検定法及び検定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8306347A SE440415B (sv) 1983-11-17 1983-11-17 Forfarande och anordning for kalibrering av ett positioneringssystem

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE8306347D0 SE8306347D0 (sv) 1983-11-17
SE8306347L SE8306347L (sv) 1985-05-18
SE440415B true SE440415B (sv) 1985-07-29

Family

ID=20353371

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8306347A SE440415B (sv) 1983-11-17 1983-11-17 Forfarande och anordning for kalibrering av ett positioneringssystem

Country Status (11)

Country Link
US (1) US4660981A (sv)
EP (1) EP0148138B1 (sv)
JP (1) JPS60169911A (sv)
KR (1) KR890003031B1 (sv)
AT (1) ATE36079T1 (sv)
CA (1) CA1232658A (sv)
DE (1) DE3473058D1 (sv)
DK (1) DK543884A (sv)
FI (1) FI844467L (sv)
NO (1) NO844482L (sv)
SE (1) SE440415B (sv)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4939678A (en) * 1987-11-19 1990-07-03 Brown & Sharpe Manufacturing Company Method for calibration of coordinate measuring machine
US4867566A (en) * 1988-03-07 1989-09-19 The Gerber Scientific Instrument Company Method and apparatus for calibrating artwork from a direct imaging system
DE68929348T2 (de) * 1988-04-18 2002-09-26 3D Systems, Inc. Profilierung eines Strahlungsbündels für Stereolithographie
US5495328A (en) * 1988-04-18 1996-02-27 3D Systems, Inc. Apparatus and method for calibrating and normalizing a stereolithographic apparatus
US5059359A (en) * 1988-04-18 1991-10-22 3 D Systems, Inc. Methods and apparatus for production of three-dimensional objects by stereolithography
US5267013A (en) * 1988-04-18 1993-11-30 3D Systems, Inc. Apparatus and method for profiling a beam
US4918284A (en) * 1988-10-14 1990-04-17 Teradyne Laser Systems, Inc. Calibrating laser trimming apparatus
GB2273177B (en) * 1990-02-22 1994-12-14 British Tech Group Improvements in or relating to actuator control
GB9004006D0 (en) * 1990-02-22 1990-04-18 Danbury Richard N Point-to-point positioning of loads
DE4315105C1 (de) * 1993-05-06 1994-09-01 Sick Optik Elektronik Erwin Verfahren und Anordnung zum Winkeljustieren einer Linienabtastvorrichtung
US5574479A (en) * 1994-01-07 1996-11-12 Selectech, Ltd. Optical system for determining the roll orientation of a remote unit relative to a base unit
US5631731A (en) * 1994-03-09 1997-05-20 Nikon Precision, Inc. Method and apparatus for aerial image analyzer
US5959286A (en) * 1994-05-18 1999-09-28 Symbol Technologies, Inc. Method and apparatus for raster scanning of images
DE19703382C2 (de) * 1997-01-30 2000-10-05 Fraunhofer Ges Forschung Scanner zum Erfassen eines Objekts
US5986748A (en) * 1998-08-21 1999-11-16 Seh America Inc Dual beam alignment device and method
DE19918613A1 (de) 1999-04-23 2000-11-30 Eos Electro Optical Syst Verfahren zur Kalibrierung einer Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes, Kalibrierungsvorrichtung und Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines dreidimensionalen Objektes
US9541844B2 (en) * 2009-08-09 2017-01-10 Rolls-Royce Corporation Method and apparatus for calibrating a projected image manufacturing device
BE1024052B1 (nl) * 2013-12-03 2017-11-08 Layerwise N.V. Werkwijze en inrichting voor het kalibreren van meerdere energiestralen voor het additief vervaardigen van een object
CN107454868B (zh) 2014-11-24 2020-01-03 添加剂工业有限公司 用于通过增材制造生产物品的设备和校准设备的方法
EP3241668B1 (en) 2016-05-04 2019-07-10 SLM Solutions Group AG Device and method for calibrating an irradiation system of an apparatus for producing a three-dimensional work piece
US10953470B2 (en) * 2016-08-31 2021-03-23 Raytheon Technologies Corporation Scanning mirror navigation apparatus and method
US11839914B1 (en) 2019-01-31 2023-12-12 Freeform Future Corp. Process monitoring and feedback for metal additive manufacturing using powder-bed fusion
JP7165603B2 (ja) * 2019-03-04 2022-11-04 三菱重工業株式会社 積層体成形装置の校正部材、積層体成形装置及び積層体成形方法
DE102020122670A1 (de) 2020-08-31 2022-03-03 Jenoptik Optical Systems Gmbh Materialbearbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Materialbearbeitungsvorrichtung
DE102021103493C5 (de) 2021-02-15 2024-08-22 Novanta Europe Gmbh Verfahren für eine Scanfeldkorrektur mindestens einer Laserscannervorrichtung, Laserscannervorrichtung, Streumusterelement, Streumusterhaltevorrichtung und Scanfeldkorrektursystem

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2143011A (en) * 1936-10-07 1939-01-10 Juhasz Kalman John De Optical indicator
US2880512A (en) * 1953-05-26 1959-04-07 Mullard Radio Valve Co Ltd Measuring apparatus
US3727055A (en) * 1970-09-24 1973-04-10 Gen Electric Optical positioning system
US4082463A (en) * 1977-01-06 1978-04-04 Systems Research Laboratories, Inc. Calibrated optical micrometer
JPS5430854A (en) * 1977-08-12 1979-03-07 Canon Inc Two-dimensional scanner
JPS5858681B2 (ja) * 1978-04-22 1983-12-27 ファナック株式会社 位置誤差補正方式
US4216378A (en) * 1978-10-10 1980-08-05 The Mead Corporation Optical scanner
JPS5596917A (en) * 1979-01-17 1980-07-23 Canon Inc Two-dimensional scanner
JPS5619025A (en) * 1979-07-26 1981-02-23 Fuji Photo Film Co Ltd Correcting device for scanning line interval in light beam recorder
JPS5744122A (en) * 1980-08-28 1982-03-12 Mitsubishi Electric Corp Liquid-crystal injection device
GB2088086B (en) * 1980-11-19 1984-05-10 Marconi Co Ltd Apparatus for accurately moving a body in accordance with a predetermined motion
DE3046584C2 (de) * 1980-12-11 1984-03-15 Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel Optisch-mechanischer Abtaster
JPS58155410A (ja) * 1982-03-12 1983-09-16 Hitachi Ltd 数値制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
DK543884A (da) 1985-05-18
SE8306347D0 (sv) 1983-11-17
KR890003031B1 (ko) 1989-08-19
DK543884D0 (da) 1984-11-15
SE8306347L (sv) 1985-05-18
EP0148138A1 (en) 1985-07-10
JPS60169911A (ja) 1985-09-03
CA1232658A (en) 1988-02-09
DE3473058D1 (en) 1988-09-01
KR850003803A (ko) 1985-06-26
FI844467A0 (fi) 1984-11-14
FI844467A7 (sv) 1985-05-18
ATE36079T1 (de) 1988-08-15
NO844482L (no) 1985-05-20
FI844467L (fi) 1985-05-18
EP0148138B1 (en) 1988-07-27
US4660981A (en) 1987-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE440415B (sv) Forfarande och anordning for kalibrering av ett positioneringssystem
GB2180117A (en) Three-dimensional position measuring apparatus
CN107314740A (zh) 一种双振镜扫描系统的位置校准系统及校准方法
CN110715795B (zh) 一种光电跟踪系统中快速反射镜的标定和测量方法
JP2000213934A (ja) 傾斜センサ―及びその精度を調整する方法
CN109163658A (zh) 一种可提供位置和角度基准的光学基准件的标定方法
US3020460A (en) Position control servosystem
US3167605A (en) Photo-electric measuring and adjusting device
US3349325A (en) Automatic meter-calibration apparatus having flying spot pointer sensing means
CN118379361A (zh) 基于视觉实现针对五轴激光切割机进行摆轴参数校验处理的方法、装置、处理器及存储介质
EP2669701B1 (en) Calibration to improve weather radar positioning determination
US3502414A (en) Optical electric system
US4978846A (en) Angular position measurement apparatus
US4385837A (en) Apparatus and system for linewidth measurements
JPH09292283A (ja) 赤外線熱画像装置の温度テーブル自動作成装置
US3222930A (en) Spectropyrometer apparatus and method
EP0410154B1 (en) Rotor bore inspection system
CN110940298B (zh) 自准直仪
US3511077A (en) Calibration of instruments
CN113960542A (zh) 一种雷达伺服座体方位指向精度的测量装置及方法
CN218955687U (zh) 一种转台零点位置校准装置
CN111043990B (zh) 一种自准直仪及其使用方法
US2543021A (en) Direction finder
JPS62261016A (ja) 多回転エンコ−ダ
US5260633A (en) Shaft rotational status indicator

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8306347-9

Effective date: 19940610

Format of ref document f/p: F