JP2000213934A - 傾斜センサ―及びその精度を調整する方法 - Google Patents

傾斜センサ―及びその精度を調整する方法

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JP2000213934A JP14885A JP2000014885A JP2000213934A JP 2000213934 A JP2000213934 A JP 2000213934A JP 14885 A JP14885 A JP 14885A JP 2000014885 A JP2000014885 A JP 2000014885A JP 2000213934 A JP2000213934 A JP 2000213934A
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calibration
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rotation
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アール サイクラ ロバート
K Phelps Steven
ケイ フェルプス スティーヴン
C Passwater Shawn
シー パスウォーター ショーン
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    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/02Details
    • G01C9/06Electric or photoelectric indication or reading means

Abstract

(57)【要約】 【課題】 センサーが受ける可能性のある温度、振動、
不整列及び他の要因のうち一つあるいはそれ以上を克服
し誤差を修正する。 【解決手段】 本発明は、機械あるいは機械の装具の縦
揺れ及び横揺れを測定することができる傾斜センサー構
造に適している。更に、本発明は地ならし機械やブルド
ーザのブレードの縦揺れ及び横揺れを検出するのに使用
することができる。本発明は傾斜センサーの生の精度不
良を検出し、生のセンサー出力中の誤差を修正する補正
値を提供する方法を指向しており、傾斜センサー構造の
作動中、現実の傾斜値に対する生の出力の認識される精
度不良を考慮して、個々の変換器の生の出力を修正する
ために使用される補正値をその中に記憶するマイクロプ
ロセッサを傾斜センサー構造に採用せんとするものである。
かくして、不整列、ずれ、はずれによる誤差に対し、構
成要素である変換器により補正相殺値で生の出力値を修
正できる傾斜センサー構造を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、概括的には地重力
場と直交する一つあるいはそれ以上の回転軸まわりの物
体の傾斜を測定する傾斜センサー構造に係り、特に地重
力場と垂直な平面内における縦揺れおよび横揺れを測定
する傾斜センサー構造、及びより精度が高い傾斜センサ
ー構造出力を得るためにセンサー構造の変換器要素の出
力に関連する修正用信号を得て活用するための装置およ
び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】傾斜センサー及び変換器は土移動、舗装
整備、あるいは他の建設機械に広く用いられている。傾
斜センサーは、機械本体を制御するための情報の提供に
加えて、機械の装具、バケットあるいはブレード等の傾
斜や制御のためのフィードバック信号を提供することが
できる。センサーの出力精度はセンサーの電子部品のゲ
インとずれ、センサーの線形性あるいはセンサー装置に
おけるセンサーの整列性の変化による影響をうける。
【0003】流体変換器に基づく傾斜センサーが長い間
用いられてきたが、これらはセンサーの横断面内の流体
の回転における変化によって生ずる交叉軸誤差の影響を
受け易い。傾斜制御システムは、一般的には数百分の一
度であるが、可能な限り高い精度で作動するので、これ
ら誤差は往々にして測定値の5乃至20%にもなる。概
してこれら誤差は交叉軸傾斜の大きさに比例して増大す
る。
【0004】最近は流体変換器に代えて固体状マイクロ
構造が時々使用されるようになってきた。これらセンサ
ーでは、製造中にセンサーの整列誤差が生ずる可能性が
ある。交叉軸偏差により主センサーが望ましいあるいは
主測定面に対してプラスまたはマイナスの回転角度で方
位決めされる時、誤差の主原因が生ずる。
【0005】誤差の他の原因は温度変化を含む種々の要
因によるものである。本出願の出願人に許可された米国
特許5,731,761には加熱炉、加熱炉に取り付けられた抵
抗体、加熱炉に支持された傾斜変換器及び加熱炉に取り
付けられたサーミスタを有し、その目的がこれら要素が
温度変化により生ずる誤差を補正し修正することにある
傾斜センサーが開示されている。サーミスタは加熱炉の
実際の温度を表す信号を作り出す。マイクロプロセッサ
が各傾斜装置の実際の温度信号を受信し、各加熱炉の温
度を好ましい温度に制御するために抵抗体に電流を流す
べく加熱信号を作り出す。この特許は温度による傾斜セ
ンサーの誤差を補正する方法を教示している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】センサーが受ける可能
性のある温度、振動、不整列及び他の要因による誤差を
修正することができる傾斜センサーを提供するとした
ら、それは望ましいことである。したがって、本発明は
前記した問題の一つあるいはそれ以上を克服しようとす
るものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の一つの態様にお
いては、ゲイン、ずれ及び線形性によるセンサーの誤差
と同様に不整列など種々の原因でセンサーに生ずる誤差
を補正するためにセンサーの生の出力を修正する傾斜セ
ンサー構造が開示されている。傾斜センサー構造は、こ
れら誤差を補正するための修正値を記憶し、補正された
傾斜センサー構造出力を作り出すのに適したマイクロプ
ロセッサあるいは他の制御/記憶構造を有している。
【0008】この発明の別の態様は、較正された修正曲
線図又はテーブルを確立し、これをマイクロプロセッサ
に記憶し、傾斜センサー構造の作動中に使用して、補正
された傾斜センサー構造出力を作り出すようにするため
の傾斜センサー構造のテスト方法に向けられている。セ
ンサーの生の出力は、センサーの種々の誤差を補正する
ための修正値を作り出すべく較正テスト装置の出力の方
位決め精度と比較される。一度これら補正値がマイクロ
プロセッサに記憶されると、その後センサーの出力はこ
れらの誤差による出力変化を補正するように調整するこ
とができる。
【0009】
【発明を実施する最良の実施形態】本発明は機械あるい
はそれに取り付けられた機械装具の縦揺れや横揺れを測
定することができる傾斜センサー構造に関する。図1に
は、傾斜センサー構造10のブロック線図が示されてい
る。傾斜センサー構造10は、ハウジング(図示せず)に
収納された2つの傾斜変換器12及び14を備えている。こ
れら傾斜変換器は、Analog Devices, Endevco, Kistler
あるいはその他の製造者により製造された方式のセンサ
ーを含む当業者によく知られた流体式あるいは精密加工
された固体回路式であってもよい。傾斜変換器12及び14
は、2つの方位決め軸における傾斜あるいは傾きを検出
するために、ほぼ水平面内で互いに直交するようにハウ
ジングに取り付けられている。傾斜変換器12は機械の横
揺れを検出することができ、他方の傾斜変換器14は機械
の縦揺れを検出する。ハウジングは保護のために傾斜変
換器12及び14を完全に取り囲めばいかなる形式であって
もよい。
【0010】傾斜変換器12及び14は、アナログあるいは
デジタル信号のどちらであってもよいが、傾斜センサー
構造10が取り付けられている機械や装具の縦揺れや横揺
れを表す生の出力信号を作り出す。その後、これらの信
号は後述するような方法で処理される。センサー構造の
生の出力は、センサーが往々にして受ける温度、振動、
不整列あるいはその他の要因による誤差を含んでいるか
もしれない。
【0011】図2a及び2bには、機械の真実の傾斜に関
連して、センサー構造の二つ異なる交叉軸方向に対する
傾斜センサー構造の一般的な生の出力の図解グラフが示
され、理想的な出力と照合して描かれている。図2a
は、交叉軸傾斜がゼロである時の、測定されている機械
の真実の傾斜方位に対するyグラフ軸での傾斜センサー
構造からの生の出力信号のグラフを示している。線16は
理想的な精度ラインであり、線18は現実のセンサー測定
値を表している。このグラフは、交叉軸傾斜がゼロであ
るにも拘らず、理想的でない精度特性を示している。こ
れらの特性は、出力の中に理想的な精度ラインからの回
転方向のずれ、x軸又はy軸のいずれかあるいは双方に
沿った斜め方向のずれ及び勝手な変化を含んでいる可能
性がある。
【0012】図2bは図2aに類似しているが、+5度の
交叉軸傾斜時の、測定されている機械の真実の傾斜方位
に対するyグラフ軸での傾斜センサー構造からの出力信
号のグラフを示している。線20は理想的な精度ラインで
あり、線22は現実のセンサー測定値を表している。これ
ら誤差の類型は、大きさの差はあるが全ての傾斜センサ
ーにおいて認められる。
【0013】図3は、それぞれの構成要素とそれらの間
の相互の接続を示している、傾斜センサー構造10の好ま
しい実施態様の代表的なブロック線図を示している。よ
く知られた従来の設計のものであってもよいが、傾斜変
換器12及び14は各々アナログ出力信号24及び26をそれぞ
れ作り出す。これら信号は、その後それぞれのアナログ
・デジタル変換器(ADC)28及び30に入力される。これ
らは、同様によく知られた設計のものでよい。アナログ
・デジタル変換器は、アナログ入力信号をマイクロプロ
セッサ36に送給されるデジタル出力信号32及び34に変換
する。マイクロプロセッサ36は、プログラム可能な記憶
部38及び40を備えたプログラム可能な記憶装置を有して
おり、記憶部38及び40の各々はそれぞれの変換器14及び
12に関連していると考えることができる。これら、記憶
部は、変換器12及び14の生の出力の誤差を補正するため
に、その中に記憶された較正情報を有している。作動
時、マイクロプロセッサは、それぞれXCAL傾斜出力及び
YCAL傾斜出力と同一である出力41a及び41bを作り出すよ
う作動する。後でより詳しく記載するように、XCAL傾斜
出力41aは、ADC28の出力32における信号と、記憶部40に
記憶された対応する補正情報との関数であり、またYCAL
傾斜出力41bは、ADC30の出力34における信号と、記憶部
38に記憶された対応する補正情報との関数である。要す
るに、出力32及び34は、図2a及び2bに示すように理想
的な出力ラインのような真の精度ラインからの変換器出
力の偏差を補正するようにマイクロプロセッサ36によっ
て調整される。記憶部38及び40は、傾斜変換器の生の出
力中の前もって測定された誤差や不正確さを補正及び相
殺するために曲線図やテーブルの形式で数値を保有して
いる。
【0014】マイクロプロセッサ36に記憶された補正値
は図4に記載されたような較正装置42を用いて測定され
る。較正装置42は、これは既知の設計の精密インデック
ス台(PIP)を備えていてもよいが、地重力に関して傾
斜センサー構造の正確な方位決めを行える。装置42は、
水平調整ねじ等によって支持台の傾きをゼロに水平調整
され、コンクリート床にボルト止めされた台44上に支持
されている。第1のx軸インデックスシステムは台44に
支持されている。該装置が第1の軸での回転がゼロおよ
び交叉軸での傾斜がゼロに方位決めされたとき、該装置
は再方位決め可能なインデックス台46に取り付けられた
二つの目視型流体水平器(図示せず)で地重力方向に較
正される。これら水平器は20アークセカンドの精度であ
る。
【0015】較正装置はエンコーダ型ポジションフィー
ドバック制御を備えた二つのモータ48及び50を有してお
り、これでは0.001度まで出力軸の回転方向方位決めが
できる。第1のインデックスシステムの出力軸52は、第
2のy軸インデックスシステム54のx軸まわりの回転を
行う。第2のインデックスシステムの出力軸56は、傾斜
センサー構造10が取り付けられているインデックス台46
のy軸まわりの回転を行う。得られたシステムはインデ
ックス台46をx及びy軸の回転でプラス及びマイナス45
度の範囲内でいかなる方位にも方位決めすることができ
る。
【0016】記憶部38及び40に記憶されるべき補正係数
を得るために、各較正方位について、傾斜センサー構造
10により作り出される対応する生の傾斜値を測定するた
めに、インデックス台46はx及びy軸の回転でほぼプラ
ス及びマイナス45度の範囲内で一連の較正方位にわたっ
て動かされる。較正及びテスト用コンピュータ(CTC)5
8と方位制御用コンピュータ(PCC)60との間のデータリ
ンク59上の信号に相当する現実の方位値は較正及びテス
ト用コンピュータ58からデータリンク62を介して傾斜セ
ンサー構造10のマイクロプロセッサ36(及びその記憶部
38及び40)に利用される。これら値は、傾斜センサー構
造10によって作り出される生の示数と比較し使用するた
めに記憶される。
【0017】傾斜センサー構造10の較正の間、較正及び
テスト用コンピュータ58はデータリンク59を介して方位
制御用コンピュータ60を制御する。較正及びテスト用コ
ンピュータ58は、全ての望ましい較正方位にわたってイ
ンデックス台46の移動を行うように作動する。各望まし
い較正方位に対して較正及びテスト用コンピュータは、
方位制御用コンピュータ60が適当な較正テスト方位にイ
ンデックス台46を方位させるようにx軸及びy軸インデ
ックスモータに適当な駆動情報を提供するように、方位
制御用コンピュータ60にデータリンク59を介して方位デ
ータを提供する。一般的に、傾斜センサー構造10により
作り出される傾斜値の全ての読み取りを、あらゆる振動
が静まるのに十分な時間遅らせることが望ましい。その
後、傾斜変換器によって作り出される生の傾斜出力値
が、特定の生の出力値を、対応する現実の傾斜方位と関
連付けるために、傾斜センサー構造10の記憶装置内の較
正テーブルに記憶される。較正方位のすべてを完了した
後、較正及びテスト用コンピュータ58は、好ましくは各
方位に帰り、その較正方位に対する傾斜センサー構造10
によって作り出された生の傾斜出力を検証するとよい。
【0018】記載した方法により、傾斜センサー構造10
の現実の傾斜方位に対応する生の出力値が得られる。こ
の出力値は傾斜センサー構造10の記憶装置内の較正及び
相殺照合テーブルに記憶することができ、その結果、傾
斜センサー構造の使用中、それぞれの変換器12及び14の
生の出力よりもっと精度の高いセンサー出力が得られ
る。このことを完遂することができる或る特定の方法
が、x及びy軸についての較正及び相殺テーブル用の或
る特定のアーキテクチャについての以下の説明によって
示されており、値がその中に記憶されるやり方が、大抵
これまでに説明した較正方法により得られる。この手順
は真実の傾斜値を傾斜センサー構造10のマイクロプロセ
ッサ36に記憶する。
【0019】図5および6は、傾斜センサー構造のマイ
クロプロセッサ36の記憶装置に記憶されているx及びy
軸の較正及び相殺テーブルに対する一つの実行できるア
ーキテクチャを示している。図5は概して図3の記憶部
40に相当し、図6は概して図3の記憶部38に相当する。
x軸記憶部40は、この場合、x軸較正テーブル40a及びx
軸交叉相殺テーブル40bを含んでいると見なせ、一方y
軸記憶部38は、この場合、y軸較正テーブル38a及びy
軸交叉相殺テーブル38bを含んでいると見なすことがで
きる。
【0020】図7−10は、図5及び6の較正及び相殺
テーブルに記憶されているデータ登録を得るために、図
5及び6の記憶アーキテクチャを用いて行われる或る較
正手法を示すフローチャートである。
【0021】一般的に、図7に従って、所定の較正方位
(例えば、縦揺れゼロ(即ち、y軸が回転ゼロ)、横揺
れの変化(x軸回転))に対する、x軸変換器12の生の
出力値と精密インデックス台46(支持された設置センサ
ー構造10)の現実のx軸傾斜値とから成る対応するデー
タ対を、取得し、x軸較正テーブル40aに記憶するため
に、図7−10により示されたようなプログラム制御に
従って、較正及びテスト用コンピュータ58が最初に作動
する。テーブル40aには、91個のデータ対が参照とし
て載せられている。もっと多いあるいはもっと少ない数
のデータ対を用いることができることが解るであろう。
【0022】図7に示すように較正プログラム部が終了
すると、較正及びテスト用コンピュータ58は、一般的に
はその後図8に示したようにプログラム制御に従って、
y軸変換器14の生の出力値と精密インデックス台46(支
持された設置センサー構造10)の現実のy軸傾斜値とか
ら成る対応するデータ対を、同様に取得し、y軸較正テ
ーブル38aに記憶する。図7及び8のプログラム部が終
了すると、データはx及びy軸較正テーブル40a及び38a
に登録を完了し、かくして該較正テーブル40a及び38aか
ら図5及び6に記載したようにXAXIS及びYAXIS値が決定
されるが、x及びy軸交叉相殺テーブル40b及び38bに
は、その時未だデータが入っていない。図9及び10はこ
れらデータを取得し、これらのテーブルに登録する方法
を示している。
【0023】図9によって、較正及びテスト用コンピュ
ータ58は、x軸変換器12の生の出力の所定の較正方位
(例えば、x軸を水平に保ち、縦揺れを変化させる(y
軸回転))での作り出すを行い、この生の出力からx軸
交叉相殺値を決定し、決定されたx軸交叉相殺値とy軸
値(YAXIS)とから成る対応するデータ対をx軸交叉相
殺テーブル40bに記憶するように作動できる。
【0024】図6に記載したように、YAXISは、精密イ
ンデックス台46がかかるy傾斜値(x傾斜値ゼロで)に
方位したときy軸センサーによって作り出される生の出
力に対応する真実のy傾斜値である。図2a及び2bから
認識されるであろうが、交叉軸値の変化に伴い、補正目
的のためには交叉相殺値を変化させることが必要かもし
れない。例えば、ゼロ交叉軸のとき、-5度の現実の傾斜
でのセンサー誤差は約-1度(-5度の現実の傾斜と-4度の
変換器の示数の傾斜)であるのに対し、+5度の交叉軸の
とき、-5度の現実の傾斜でのセンサー誤差は実質的にゼ
ロであることが図2aにおいて観察できる。次に、図示
するように、もしXAXISが-5度であったとしたら、0度の
YAXISに対して、x軸交叉相殺値は-1であり、そして+5
度のYAXISに対しては、x軸交叉相殺値はゼロであると
決められるであろう。かくして、YAXIS値と対をなすデ
ータで記憶される特定の相殺値の決定や算出の図9に示
すステップを、図7及び8で示された較正段階で得られ
るデータ対を含む種々の要因に基づいた色々な既知の方
法ややり方で行い得ることが認識されるであろう。
【0025】図10に従って、同様な方法で較正及びテ
スト用コンピュータ58は、y軸変換器14の生の出力の所
定の較正方位での作り出すを行い、この生の出力からy
軸交叉相殺値を決定し、決定されたy軸交叉相殺値とx
軸値(XAXIS)とから成る対応するデータ対をy軸交叉
相殺テーブル38bに記憶するように作動できる。
【0026】較正が完了した後、上述したような値の確
認を含め、傾斜センサー構造10は使用のために組み込ま
れ、より高い精度と信頼性を提供する補正されたx及び
y軸傾斜値XCALおよびYCALを作り出すためにx及びy軸変
換器12及び14によって作り出された生の出力を用いるべ
く、プログラム制御の元で作動する。作動中マイクロプ
ロセッサ36は、所定の抽出時間で、x値がx軸変換器12
の生の出力であり、y値がy軸変換器14の生の出力であ
る(x、y)データ対を受信する。これらx及びy値
は、x軸較正テーブル40a及びx軸較正テーブル38aにより
XAXIS及びYAXIS値を補正するのに使用される。補正され
たYAXIS及びXAXIS値は、それぞれx軸交叉相殺補正テー
ブル38b及びy軸交叉相殺補正テーブル40bにより、XOFF
SET及びYOFFSET値を得るのに利用される。その後、XCAL
及びYCAL値が、式XCAL=XASIX+XOFFSETおよびYCAL=YAXI
S+YOFFSETによって作り出される。
【0027】本発明は或る特定の記憶アーキテクチャと
それに関する較正フローチャートを参照および関連させ
て、これまで記載し論じてきたが、他の記憶アーキテク
チャおよび他の較正シーケンスが本発明の一部として、
また本発明を完遂するために用いることができることが
認識されるであろう。
【0028】従って、特定の実施態様を図示し記載した
が、これら実施態様は単に説明のために引用されもので
あって、多くの変更や修正が本発明の精神及び範囲を逸
脱することなく当業者には容易に成されることが明確に
理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1及び第2軸傾斜変換器部分と地重力の方向
を示すx、y、z座標方式で二つの傾斜変換器部分を示
した傾斜センサー構造を表すブロック線図である。
【図2a】二つの異なる交叉軸方向に対して、一般的な
センサーの出力信号と真実の傾斜方位との間の相関を理
想的な出力と照合して描いた図解グラフで、交叉軸傾斜
がゼロである時の、yグラフ軸での傾斜センサー構造か
らの生の出力信号のグラフである。
【図2b】二つ異なる交叉軸方向に対して、一般的なセ
ンサーの出力信号と真実の傾斜方位との間の相関を理想
的な出力と照合して描いた図解グラフで、+5度の交叉
軸傾斜時の、yグラフ軸での傾斜センサー構造からの生
の出力信号のグラフである。
【図3】個々の構成要素のそれぞれの間の関係を示す、
本発明の好ましい実施態様のブロック線図である。
【図4】本発明の原理を組み込んだ傾斜センサー用較正
装置のブロック線図である。
【図5】傾斜センサー構造のマイクロプロセッサ36の記
憶装置に記憶されているx軸の較正及び相殺テーブルの
アーキテクチャを示している。
【図6】傾斜センサー構造のマイクロプロセッサ36の記
憶装置に記憶されているy軸の較正及び相殺テーブルの
アーキテクチャを示している。
【図7】図5及び6の較正及び相殺テーブルに記憶され
ているデータ登録を得るために、図5及び6の記憶アー
キテクチャを用いて行われる較正手法を示すフローチャ
ートで、x軸の較正テーブルを得るフローチャートであ
る。
【図8】図5及び6の較正及び相殺テーブルに記憶され
ているデータ登録を得るために、図5及び6の記憶アー
キテクチャを用いて行われる較正手法を示すフローチャ
ートで、y軸の較正テーブルを得るフローチャートであ
る。
【図9】図5及び6の較正及び相殺テーブルに記憶され
ているデータ登録を得るために、図5及び6の記憶アー
キテクチャを用いて行われる較正手法を示すフローチャ
ートで、x交叉軸の相殺テーブルを得るフローチャート
である。
【図10】図5及び6の較正及び相殺テーブルに記憶さ
れているデータ登録を得るために、図5及び6の記憶ア
ーキテクチャを用いて行われる較正手法を示すフローチ
ャートで、y交叉軸の相殺テーブルを得るフローチャー
トである。
【符号の説明】
10 傾斜センサー構造 12、14 傾斜変換器 36 マイクロプロセッサ 38、40 記憶部 42 較正装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 スティーヴン ケイ フェルプス アメリカ合衆国 イリノイ州 61523 チ ラコシ ウェストブルック ロード 3616 (72)発明者 ショーン シー パスウォーター アメリカ合衆国 イリノイ州 61548 メ タモーラ ルーラル ルート 1 ボック ス 382ビー

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a) 地重力に関連する軸についての縦揺
    れを表す、生の電気出力信号を作り出すように配置され
    た第1傾斜変換器と、(b) 該第1傾斜変換器と直交して
    取り付けられ、地重力に関連する軸についての横揺れを
    表す、生の電気出力信号を作り出すように配置された第
    2傾斜変換器と、(c) 前記第1及び第2傾斜変換器の前
    記生の出力信号を受信し、前もってテストされた誤差に
    対して前記第1及び第2傾斜変換器の前記生の出力信号
    を補正し修正するために、前記生の出力信号を所定の補
    正値で調整するマイクロプロセッサとから成ることを特
    徴とする傾斜センサー構造。
  2. 【請求項2】 前記マイクロプロセッサは、前記生の変
    換器出力信号の前もって測定された誤差に対する補正値
    を記憶する較正及び相殺テーブルを有していることを特
    徴とする請求項1に記載の傾斜センサー構造。
  3. 【請求項3】 前記第1及び第2傾斜変換器は流体式で
    あることを特徴とする請求項2に記載の傾斜センサー構
    造。
  4. 【請求項4】 前記第1及び第2傾斜変換器は固体状マ
    イクロ構造であることを特徴とする請求項2に記載の傾
    斜センサー構造。
  5. 【請求項5】 2つの回転軸に関する方位を検出する傾
    斜センサー構造であって、互いにかつ地重力場に対して
    実質的に直交するように配置された第1及び第2傾斜変
    換器を有する変換器検知部を有し、該変換器の各々は該
    変換器検知部の所定の方位に対して、それぞれが対応す
    る回転軸についての該変換器の回転角を表す変換器の生
    の出力信号を作り出すように作動し、該変換器検知部の
    所定の方位に対する該変換器の生の出力信号が変換器検
    知部の生の出力信号を決めるようになっており、マイク
    ロプロセッサ部が前記変換器検知部の生の出力信号を受
    信するように作動可能に接続されており、前記マイクロ
    プロセッサ部は記憶部および傾斜センサー構造出力を備
    えており、該記憶部は、複数の較正テスト方位に配置さ
    れた時の前記変換器検知部の較正テストから得られた補
    正情報をその中に記憶しており、該補正情報は複数の較
    正テスト方位における較正参照値からの前記変換器検知
    部の生の出力における偏差を修正する補正値に相当する
    データを含んでおり、前記マイクロプロセッサは、前記
    傾斜センサー構造出力において前記変換器検知部の生の
    出力信号およびそれに対応する前記補正情報に基づく傾
    斜センサー構造出力信号を作り出すように、所定の方位
    における変換器検知部の生の出力信号に対応するように
    作動することを特徴とする傾斜センサー構造。
  6. 【請求項6】 前記記憶部は、それぞれ前記第1及び第
    2変換器に組合された第1及び第2記憶部を有してお
    り、該第1記憶部は、前記第1変換器の生の出力信号に
    おける較正および交叉相殺の精度不良を補正するために
    その中に補正情報を記憶しており、該第2記憶部は、前
    記第2変換器の生の出力信号における較正および交叉相
    殺の精度不良を補正するためにその中に補正情報を記憶
    していることを特徴とする請求項5に記載の傾斜センサ
    ー構造。
  7. 【請求項7】 前記第1記憶部は第1軸較正部および第
    1軸交叉相殺部を有しており、前記第2記憶部は第2軸
    較正部および第2軸交叉相殺部を有していることを特徴
    とする請求項6に記載の傾斜センサー構造。
  8. 【請求項8】 前記第1軸較正部は、前記変換器検知部
    を複数の較正テスト方位にわたって前記第1変換器の回
    転軸まわりに回転させ、一方前記第2変換器をその回転
    軸まわりの回転を固定角度に保持することによる較正テ
    ストで得られた第1軸較正補正情報を有しており、前記
    第2軸較正部は、前記変換器検知部を複数の較正テスト
    方位にわたって前記第2変換器の回転軸まわりに回転さ
    せ、一方前記第1変換器はその回転軸まわりの回転を固
    定角度に保持することによる較正テストで得られた第2
    軸較正補正情報を有しており、前記第1軸交叉相殺部
    は、該第2軸較正補正情報を得た後、前記変換器検知部
    を複数の較正テスト方位にわたって前記第2変換器の回
    転軸まわりに回転させ、一方前記第1変換器をその回転
    軸まわりの回転を固定角度に保持することによる較正テ
    ストで得られた第1軸交叉相殺補正情報を有しており、
    前記第2軸交叉相殺部は、該第1軸較正補正情報を得た
    後、前記変換器検知部を複数の較正テスト方位にわたっ
    て前記第1変換器の回転軸まわりに回転させ、一方前記
    第2変換器をその回転軸まわりの回転を固定角度に保持
    することによる較正テストで得られた第2軸交叉相殺補
    正情報を有していることを特徴とする請求項7に記載の
    傾斜センサー構造。
  9. 【請求項9】 前記マイクロプロセッサは、前記傾斜セ
    ンサー構造の所定の方位に対して傾斜センサー構造出力
    信号(XCAL、YCAL)を作り出すように作動し、ここで、
    XCALは式XCAL=XAXIS+XOFFSETによって決定され、YCAL
    は式YCAL=YAXIS+YOFFSETによって決定され、XAXISは
    前記第1変換器出力信号に対応する前記第1軸較正部に
    記憶された値であり、YAXISは前記第2変換器出力信号
    に対応する前記第2軸較正部に記憶された値であり、XO
    FFSETはYAXISに対応する前記第1交叉相殺部に記憶され
    た値であり、そしてYOFFSETはXAXISに対応する前記第2
    交叉相殺部に記憶された値であることを特徴とする請求
    項8に記載の傾斜センサー構造。
  10. 【請求項10】 互いにかつ地重力場に対して実質的に
    直交するように配置された第1及び第2傾斜変換器を有
    する変換器検知部を有し、該変換器の各々は該変換器検
    知部の所定の方位に対して、それぞれが対応する回転軸
    まわりの該変換器の回転角を表す変換器の生の出力信号
    を作り出すように作動し、該変換器検知部の所定の方位
    に対する該変換器の生の出力信号が変換器検知部の生の
    出力信号を決めるようになっており、マイクロプロセッ
    サ部が前記変換器検知部の生の出力信号を受信するよう
    に作動可能に接続されており、該マイクロプロセッサ部
    は記憶部および傾斜センサー構造出力を備えている傾斜
    センサー構造を較正する方法であって、(1)前記変換
    器検知部を前記第1及び第2変換器の軸に関して既知の
    方位値を持っている所定の較正テスト方位に向かせ、そ
    の較正テスト方位における変換器の生の出力信号を検出
    するステップと、(2)その変換器の生の出力信号を記
    憶し、該較正テスト方位に対する該既知の方位値により
    該変換器の生の出力信号の偏差を修正するために前記マ
    イクロプロセッサの前記記憶部の補正情報と対応づける
    ステップと、(3)複数の較正テスト方位に対してステ
    ップ(1)および(2)繰り返すステップとから成るこ
    とを特徴とする傾斜センサー構造を較正する方法。
  11. 【請求項11】 前記記憶部は、それぞれ前記第1及び
    第2変換器に組合された第1及び第2記憶部を有してお
    り、該第1記憶部は第1軸較正部および第1軸交叉相殺
    部を有し、前記第2記憶部は第2軸較正部および第2軸
    交叉相殺部を有しており、前記第1軸較正部および第1
    軸交叉相殺部は、前記第1変換器の生の出力信号におけ
    るそれぞれの較正および交叉相殺の精度不良を補正する
    ために補正情報を記憶するように構成されており、前記
    第2軸較正部および第2軸交叉相殺部は、前記第2変換
    器の生の出力信号における較正および交叉相殺の精度不
    良を補正するために補正情報を記憶するように構成され
    ており、最初に、前記変換器検知部を最初の複数の較正
    テスト方位にわたって前記第1および第2変換器のうち
    最初に選ばれた変換器の回転軸まわりに回転させ、一方
    他方の変換器をその回転軸まわりの回転を固定角度に保
    持し、該変換器のうち最初に選ばれた変換器に関連する
    前記較正部に記憶する較正補正情報を得、次いで、前記
    変換器検知部を第2番目の複数の較正テスト方位にわた
    って前記第1および第2変換器のうち他方の変換器の回
    転軸まわりに回転させ、一方該変換器のうち前記最初に
    選ばれた変換器をその回転軸まわりの回転を固定角度に
    保持し、該変換器のうち他方の変換器に関連する前記較
    正部に記憶する較正補正情報を得、前記第2軸較正補正
    情報を得た後、前記変換器検知部を複数の較正テスト方
    位にわたって前記第2変換器の回転軸まわりに回転さ
    せ、一方前記第1変換器をその回転軸まわりの回転を固
    定角度に保持し、前記第1軸交叉相殺部に記憶する第1
    軸交叉相殺補正情報、前記第1軸較正補正情報の開発の
    後、前記変換器検知部を複数の較正テスト方位にわたっ
    て前記第1変換器の回転軸まわりに回転させ、一方前記
    第2変換器をその回転軸まわりの回転を固定角度に保持
    し、前記第2軸交叉相殺部に記憶する第2軸交叉相殺補
    正情報を得ることによる前記変換器検知部を複数の較正
    テスト方位にわたって方位させる工程を有することを特
    徴とする請求項10に記載の方法。
  12. 【請求項12】 XAXISで示された値は前記第1変換器
    出力信号に対応し前記第1軸較正部に記憶され、YAXIS
    で示された値は前記第2変換器出力信号に対応し前記第
    2軸較正部に記憶され、XOFFSETで示された値はYAXISに
    対応し前記第1交叉相殺部に記憶され、そしてYOFFSET
    で示された値はXAXISに対応しており前記第2交叉相殺
    部に記憶されており、かくして傾斜センサー構造出力
    (XCAL、YCAL)は前記傾斜センサー構造の所定の方位に
    対して、式XCAL=XAXIS+XOFFSETおよびYCAL=YAXIS+Y
    OFFSETによって決定されることを特徴とする請求項11
    に記載の方法。
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