SE407629B - Sett och anordning for bestemning av berarkoncentration som en funktion av djup i ett halvledarmaterial - Google Patents

Sett och anordning for bestemning av berarkoncentration som en funktion av djup i ett halvledarmaterial

Info

Publication number
SE407629B
SE407629B SE7505618A SE7505618A SE407629B SE 407629 B SE407629 B SE 407629B SE 7505618 A SE7505618 A SE 7505618A SE 7505618 A SE7505618 A SE 7505618A SE 407629 B SE407629 B SE 407629B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
berar
depth
concentration
determining
function
Prior art date
Application number
SE7505618A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
SE7505618L (sv
Inventor
M M Faktor
E G Bremner
T Ambridge
Original Assignee
Post Office
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Post Office filed Critical Post Office
Publication of SE7505618L publication Critical patent/SE7505618L/xx
Publication of SE407629B publication Critical patent/SE407629B/xx

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/227—Sensors changing capacitance upon adsorption or absorption of fluid components, e.g. electrolyte-insulator-semiconductor sensors, MOS capacitors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
    • H10P74/20—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices characterised by the properties tested or measured, e.g. structural or electrical properties
    • H10P74/207—Electrical properties, e.g. testing or measuring of resistance, deep levels or capacitance-voltage characteristics

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
SE7505618A 1974-05-16 1975-05-15 Sett och anordning for bestemning av berarkoncentration som en funktion av djup i ett halvledarmaterial SE407629B (sv)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB2190374 1974-05-16
GB21902/74A GB1482929A (en) 1974-05-16 1974-05-16 Apparatus and method for measuring carrier concentration in semiconductor materials

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE7505618L SE7505618L (sv) 1975-11-17
SE407629B true SE407629B (sv) 1979-04-02

Family

ID=26255598

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE7505618A SE407629B (sv) 1974-05-16 1975-05-15 Sett och anordning for bestemning av berarkoncentration som en funktion av djup i ett halvledarmaterial

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPS5127062A (https=)
DE (1) DE2521909A1 (https=)
FR (1) FR2271569B1 (https=)
GB (1) GB1482929A (https=)
SE (1) SE407629B (https=)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0531686A (ja) * 1991-07-24 1993-02-09 Nissan Motor Co Ltd ユニツト型ロボツト
CN107102038B (zh) * 2017-06-12 2023-04-11 重庆交通大学 基于等效串联电容测量的拉索锈蚀损伤检测系统及方法
CN113030188A (zh) * 2021-03-08 2021-06-25 内蒙古工业大学 一种半导体材料载流子浓度的检测方法
CN119667427B (zh) * 2024-11-22 2026-03-27 京东方华灿光电(浙江)有限公司 高电子迁移率晶体管的背景载流子浓度的测量方法及装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH543098A (de) * 1972-03-30 1973-10-15 Bbc Brown Boveri & Cie Verfahren und Einrichtung zur Untersuchung von dotiertem Halbleitermaterial

Also Published As

Publication number Publication date
FR2271569A1 (https=) 1975-12-12
FR2271569B1 (https=) 1981-04-10
GB1482929A (en) 1977-08-17
DE2521909A1 (de) 1975-12-04
JPS5127062A (en) 1976-03-06
JPS5342662B2 (https=) 1978-11-14
DE2521909C2 (https=) 1987-06-19
SE7505618L (sv) 1975-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE428432B (sv) Forfarande och anordning for fluidpaleggning
SE388057B (sv) Forfarande och anordning for uppmetning av ett objekts hastighet relativt en referens
SE400381B (sv) Sett och anordning for optisk detektering av virke
SE7511750L (sv) Sett for drift av en turbomaskinanleggning och anordning for utforande av settet
SE400423B (sv) Sett och anordning for statisk kompensering av reaktiv effekt
SE7504815L (sv) Sett och anordning for kontroll av glasbehallare
SE7514568L (sv) Sett och verktyg for spanfri bearbetning av plastmaterial
SE410898B (sv) Sett for kvantitativ metning av koncentrationen av vatten och minst en specifik komponent i ett material samt anordning for utforande av settet
SE7506628L (sv) Sett och anordning for bestemning av en parameter for en transparent fiber.
SE7606789L (sv) Sett och anordning for noggrann avmetning av radioaktiv losningar
SE7505253L (sv) Sett och anordning for tuftning
SE383121B (sv) Sett att utfora rotkapning av virke och anordning for utforande av settet
SE7508575L (sv) Sett och anordning for behandling av ljuskensligt material
SE409247B (sv) Metanordning for bestemning av komponentkoncentrationer i ett provemne
SE409420B (sv) Sett att frammata och sonderdela avfall och dylikt samt anordning for utforande av settet
SE407629B (sv) Sett och anordning for bestemning av berarkoncentration som en funktion av djup i ett halvledarmaterial
SE405864B (sv) Sett och anordning for elektroslaggraffinering
SE7506094L (sv) Sett och anordning for framstellning av ett av flera olika material sammansatt foremal
SE403191B (sv) Sett och anordning for bestemning av ett fartygs rorelse
SE7608561L (sv) Sett och anordning for bestemning av den oorganiska kolhalten i en vetska
SE7415958L (sv) Verktyg for skerande bearbetning och sett for framstellning av dylika
SE408352B (sv) Hallare med vermebortledande egenskaper for en halvledaranordning och sett for dess framstellning
SE7510290L (sv) Sett och anordning for avlegsnande av storande fyllnadsgodsrester
SE7508212L (sv) Sett och anordning for metning av ett fartygs vendningshastighet
SE7506886L (sv) Sett och anordning for matning av ett jemnt materilskikt

Legal Events

Date Code Title Description
NAL Patent in force

Ref document number: 7505618-4

Format of ref document f/p: F

NUG Patent has lapsed

Ref document number: 7505618-4

Format of ref document f/p: F