CH543098A - Verfahren und Einrichtung zur Untersuchung von dotiertem Halbleitermaterial - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zur Untersuchung von dotiertem HalbleitermaterialInfo
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CH477972A CH543098A (de) | 1972-03-30 | 1972-03-30 | Verfahren und Einrichtung zur Untersuchung von dotiertem Halbleitermaterial |
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Family Applications (1)
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1972
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EP0103806A1 (de) * | 1982-09-08 | 1984-03-28 | COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE Société anonyme dite: | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung der physischen Eigenschaften einer halbleitenden Platte |
DE4305297A1 (de) * | 1993-02-20 | 1994-08-25 | Telefunken Microelectron | Strukturbeize für Halbleiter und deren Anwendung |
DE4305297C2 (de) * | 1993-02-20 | 1998-09-24 | Telefunken Microelectron | Strukturbeize für Halbleiter und deren Anwendung |
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