RU98109601A

RU98109601A - Способ исследования микрообъектов

Info

Publication number: RU98109601A
Application number: RU98109601/28A
Authority: RU
Inventors: Г.Ф. Яскевич
Original assignee: Г.Ф. Яскевич
Filing date: 1998-05-20
Publication date: 2000-03-10

Claims

1. Способ исследования микрообъектов, включающий облучение изучаемых объектов частично когерентным излучением, формирование с помощью, например, оптической системы их изображений, считывание и последующий анализ сигналов от изображений микрообъектов, отличающийся тем, что микрообъекты облучают пучком излучения, максимальный линейный размер объема когерентности которого в зоне облучения микрообъектов не превышает 30% от среднего расстояния между частицами в пространстве, измеряют геометрические параметры изображений микрообъектов на уровне сигнала от них, значение которого устанавливают в зависимости от когерентности освещения.

2. Способ исследования микрообъектов по п. 1, отличающийся тем, что геометрические параметры изображений микрообъектов измеряют на уровне сигнала, значение которого устанавливают при калибровке либо определяют по зависимости

где λ - средняя длина волны в спектре излучения;

- максимальный линейный размер объема когерентности пучка излучения в зоне облучения микрообъектов;
α,α₀ - плоские апертурные углы системы формирования изображений и облучающего пучка соответственно;
Uo - амплитуда сигнала, полученного при считывании сфокусированных изображений исследуемых либо калибровочных (эталонных) микрообъектов.

3. Способ исследования микрообъектов по п. 1, отличающийся тем, что измеряют параметры изображений только тех микрообъектов, амплитуда U сигнала от которых отличается от установленного уровня измерения на величину не менее среднеквадратичного значения шумов фотоприемника, содержащихся в упомянутом сигнале.

4. Способ исследования микрообъектов по п. 1, отличающийся тем, что дополнительно измеряют геометрические параметры изображений микрообъектов по крайней мере еще на одном уровне сигнала от них.

5. Способ исследования микрообъектов по п. 1, отличающийся тем, что при изучении микрообъектов в потоке их изображения проецируют на фотоприемник (например, линейку либо матрицу светочувствительных элементов) в режиме импульсного экспонирования, сканируют полученные изображения и измеряют параметры видеосигнала от них.

6. Способ исследования микрообъектов по п. 1, отличающийся тем, что изменение размеров объема пространства, в котором исследуют микрообъекты, осуществляют путем одновременною изменения когерентности освещения и значения уровня измерения U параметров изображений микрообъектов.

7. Способ исследования микрообъектов по пп. 1 и 5, отличающийся тем, что анализ микрообъектов проводят автоматически с помощью ЭВМ, для этого в процессе сканирования изображения микрообъектов заносят в память ЭВМ и измеряют их параметры, после чего изображения микрообъектов выводят на экран дисплея, группируя все изображения в одном или нескольких кадрах, затем визуально оценивают результаты автоматического анализа и выявляют дополнительные свойства микрообъектов, определение которых не предусмотрено программой ЭВМ.