RU97103670A - Способ очистки поверхности подложек и печатных плат - Google Patents

Способ очистки поверхности подложек и печатных плат

Info

Publication number
RU97103670A
RU97103670A RU97103670/09A RU97103670A RU97103670A RU 97103670 A RU97103670 A RU 97103670A RU 97103670/09 A RU97103670/09 A RU 97103670/09A RU 97103670 A RU97103670 A RU 97103670A RU 97103670 A RU97103670 A RU 97103670A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrates
cleaning surface
printed boards
gas
sparging
Prior art date
Application number
RU97103670/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2133559C1 (ru
Inventor
О.И. Квасенков
А.Ю. Ратников
Д.Н. Юрьев
В.Г. Андреев
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Рютар"
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Рютар" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Рютар"
Priority to RU97103670/09A priority Critical patent/RU2133559C1/ru
Priority claimed from RU97103670/09A external-priority patent/RU2133559C1/ru
Publication of RU97103670A publication Critical patent/RU97103670A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2133559C1 publication Critical patent/RU2133559C1/ru

Links

Claims (2)

1. Способ очистки поверхности подложек и печатных плат, предусматривающий их обработку жидким растворителем в поле ультразвуковых колебаний, создаваемых при барботировании в жидкий растворитель газа, отличающийся тем, что используют неодинаковые вещества в газовой и жидкой фазах, а барботирование осуществляют при сверхзвуковой скорости истечения газовой фазы.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в процессе разгона до сверхзвуковой скорости истечения газовую фазу закручивают.
RU97103670/09A 1997-03-11 1997-03-11 Способ очистки поверхности подложек и печатных плат RU2133559C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97103670/09A RU2133559C1 (ru) 1997-03-11 1997-03-11 Способ очистки поверхности подложек и печатных плат

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97103670/09A RU2133559C1 (ru) 1997-03-11 1997-03-11 Способ очистки поверхности подложек и печатных плат

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97103670A true RU97103670A (ru) 1999-04-10
RU2133559C1 RU2133559C1 (ru) 1999-07-20

Family

ID=20190657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97103670/09A RU2133559C1 (ru) 1997-03-11 1997-03-11 Способ очистки поверхности подложек и печатных плат

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2133559C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890008952A (ko) 반도체 기판의 표면처리방법
GB1456729A (en) Cleaning of printed circuit boards
CA2019113A1 (en) Method for cleaning the filter plates of a suction drier
JPS5469260A (en) Ultrasonic rotary cleaning apparatus
RU97103670A (ru) Способ очистки поверхности подложек и печатных плат
JPH02281727A (ja) レジスト塗布装置
JPS56116890A (en) Vibration for coil of wire material
JPH0314230A (ja) 半導体ウェーハの洗浄方法及び装置
DE59504228D1 (de) Verfahren zum Auflösen von knollenförmigen Feststoffen in Flüssigkeiten und Anlage zur Durchführung des Verfahrens
RU2133559C1 (ru) Способ очистки поверхности подложек и печатных плат
EP1108803A3 (en) Method and apparatus for removing a coating from a passage hole in a metal substrate
JPS55128834A (en) Method of ultrasonically cleaning semiconductor wafer
RU96119715A (ru) Устройство для переработки нефтешламов
JP2919201B2 (ja) 溶融塩浴液中のスラッジ除去方法および装置
JPS5541371A (en) Ultrasonic liquid atomizing apparatus
SU787119A1 (ru) Способ высокоамплитудной ультразвуковой очистки
RU93027099A (ru) Способ приготовления растворов и устройство для его осуществления
JPH03300Y2 (ru)
JPS525975A (en) Vibration device to supersonic washing
JPS54103269A (en) Ultrasonic cleaner
RU94008110A (ru) Способ непрерывной отмывки нитроцеллюлозы от примесей
JP2002224502A (ja) 超音波による2種混合溶液の分離方法及びその装置
JPS5931695Y2 (ja) セラミツクスの剥離洗浄装置における処理用トイ
RU93003630A (ru) Способ очистки парогазовых потоков и устройство для его осуществления
SU548573A1 (ru) Способ очистки поверхности воды от нефти