RU96109506A - Автоэмиссионный триод, устройство на его основе, и способ их изготовления - Google Patents
Автоэмиссионный триод, устройство на его основе, и способ их изготовленияInfo
- Publication number
- RU96109506A RU96109506A RU96109506/09A RU96109506A RU96109506A RU 96109506 A RU96109506 A RU 96109506A RU 96109506/09 A RU96109506/09 A RU 96109506/09A RU 96109506 A RU96109506 A RU 96109506A RU 96109506 A RU96109506 A RU 96109506A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- emitters
- spacers
- control electrode
- field emission
- tip
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 210000003135 Vibrissae Anatomy 0.000 claims 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- SBEQWOXEGHQIMW-UHFFFAOYSA-N [Si].[Si] Chemical compound [Si].[Si] SBEQWOXEGHQIMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims 1
- 230000005712 crystallization Effects 0.000 claims 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- -1 molybdenum aluminum Chemical compound 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 1
Claims (18)
1. Автоэмиссионный триод, содержащий острийные эмиттеры и управляющий электрод, выполненные на монокристаллической кремниевой подложке, а также анод, причем острийные эмиттеры и управляющий электрод, а также острийные эмиттеры и анод, отделены друг от друга изолирующими спейсерами, отличающийся тем, что острийные эмиттеры выполнены из нитевидных кристаллов кремния, выращенных эпитаксиально на монокристаллической кремниевой подложке кремния, управляющий электрод выполнен в виде отдельной детали, опирающейся на спейсеры, при этом спейсеры, по крайней мере между эмиттерами и управляющим электродом, выполнены как единое монокристальное целое с подложкой и покрыты изолирующим слоем, эмиттеры и спейсеры различаются по высоте и поперечному сечению, причем эмиттеры имеют минимальные высоту и сечение, а спейсеры, разделяющие эмиттеры и анод, имеют максимальные высоту и сечение.
2. Автоэмиссионный триод по п.1, в котором управляющий электрод выполнен в виде перфорированной диэлектрической пластины, отверстия в которой затянуты проводящей сеткой.
3. Автоэмиссионный триод по п.2, отличающийся тем, что управляющий электрод опирается на спейсеры диэлектрической пластиной.
4. Автоэмиссионный триод по п.2, отличающийся тем, что управляющий электрод опирается на спейсеры проводящей сеткой.
5. Автоэмиссионный триод по пп.1 - 4, отличающийся тем, что спейсеры имеют форму конических, цилиндрических, призматических, усеченно-конических или усеченно-пирамидальных столбиков.
6. Автоэмиссионный триод по пп.1 - 5, в котором спейсеры размещены между острийными эмиттерами или группами эмиттеров.
7. Автоэмиссионный триод по пп.1 - 6, отличающийся тем, что в случае многострийного триода острийные элементы выполняют функцию балластного сопротивления.
8. Автоэмиссионный триод по пп. 1 - 7, отличающийся тем, что вершины острийных эмиттеров имеют покрытие из материала, увеличивающего эмиссию электронов.
9. Автоэмиссионный триод по п.8, отличающийся тем, что вершины острийных эмиттеров имеют покрытие из алмаза или алмазоподобного материала.
10. Устройство для оптического отображения информации, содержащее матричный автоэмиссионный катод из острийных эмиттеров, расположенных на монокристаллической подложке кремния, анод и управляющий электрод, расположенный между катодом и анодом, отличающееся тем, что проводящая сетка управляющего электрода секционирована в электрически изолированные шины, анод выполнен из прозрачного материала и покрыт слоем прозрачного проводника и люминофора, причем анод и/или катод секционированы в электрически изолированные проводящие шины, перпендикулярные шинам управляющего электрода.
11. Автоэмиссионный триод по пп.1, 2, 5 - 10, в котором эмиттеры, одиночные или групповые, расположены вдоль катодных шин.
12. Автоэмиссионный триод по пп.1 - 11, в котором напротив эмиттеров располагаются отверстия управляющего электрода.
13. Способ изготовления автоэмиссионного триода по пп.1 - 12, включающий операции создания острийных эмиттеров, спейсеров, управляющего электрода и анода, отличающийся тем, что острийные эмиттеры и спейсеры создают выращиванием нитевидных кристаллов из паровой фазы по механизму пар-жидкость-кристалл с последующим их заострением, управляющий электрод создают напылением на алюминиевую фольгу вольфрама или молибдена, секционирование и перфорирование этого электрода проводят посредством операций фотолитографии и плазмохимического травления, а затем проводят сквозное анодное окисление алюминия.
14. Способ по п.13, в котором вначале создают спейсеры, а затем острийные эмиттеры.
15. Способ по п.13, в котором при создании острийных эмиттеров, спейсеров, отделяющих острийные эмиттеры от управляющего электрода, и спейсеров, отделяющих катод от анода, для выращивания нитевидных кристаллов используются разные металлы-катализаторы.
16. Способ по пп.13 - 15, в котором при создании острийных эмиттеров используется золото, при создании спейсеров, отделяющих эмиттеры от управляющего электрода, используется платина, а при создании спейсеров, отделяющих катод от анода, используется никель.
17. Способ по п.14, в котором при создании острийных эмиттеров используется проекционная литография.
18. Способ по пп.13 - 15, в котором после выращивания нитевидных кристаллов проводят операцию по их заострению путем химического травления, причем одновременно удаляются затвердевшие глобулы сплава кремния с веществом катализатора, образовавшиеся на вершинах нитевидных кристаллов в результате кристаллизации.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96109506A RU2118011C1 (ru) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | Автоэмиссионный триод, устройство на его основе и способ его изготовления |
KR1019980708976A KR20000010835A (ko) | 1996-05-08 | 1997-04-30 | 전계방출 트라이오드와 이를 이용한 장치 및 그 제작방법 |
PCT/RU1997/000133 WO1997042645A1 (en) | 1996-05-08 | 1997-04-30 | Field emission triode, a device based thereon, and a method for its fabrication |
JP09539818A JP2001501768A (ja) | 1996-05-08 | 1997-04-30 | 電界放出トライオード、これに基くデバイス、およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96109506A RU2118011C1 (ru) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | Автоэмиссионный триод, устройство на его основе и способ его изготовления |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU96109506A true RU96109506A (ru) | 1998-08-10 |
RU2118011C1 RU2118011C1 (ru) | 1998-08-20 |
Family
ID=20180474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU96109506A RU2118011C1 (ru) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | Автоэмиссионный триод, устройство на его основе и способ его изготовления |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001501768A (ru) |
KR (1) | KR20000010835A (ru) |
RU (1) | RU2118011C1 (ru) |
WO (1) | WO1997042645A1 (ru) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6255772B1 (en) | 1998-02-27 | 2001-07-03 | Micron Technology, Inc. | Large-area FED apparatus and method for making same |
KR100312694B1 (ko) * | 1999-07-16 | 2001-11-03 | 김순택 | 카본 나노튜브 필름을 전자 방출원으로 사용하는 전계 방출 표시 장치 |
RU2194329C2 (ru) | 2000-02-25 | 2002-12-10 | ООО "Высокие технологии" | Способ получения адресуемого автоэмиссионного катода и дисплейной структуры на его основе |
JP4312937B2 (ja) * | 2000-08-29 | 2009-08-12 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 蛍光表示管 |
KR100492509B1 (ko) * | 2002-07-30 | 2005-05-31 | 학교법인 포항공과대학교 | 양극 산화 공정을 이용한 일체형 3극 구조 전계방출 소자및 제조방법 |
KR20040040499A (ko) * | 2002-11-07 | 2004-05-13 | 엘지.필립스디스플레이(주) | 전계방출형 표시소자의 기판/립 일체형 구조 및 제조방법 |
US6770353B1 (en) * | 2003-01-13 | 2004-08-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Co-deposited films with nano-columnar structures and formation process |
EP2126953B8 (en) * | 2006-12-29 | 2013-04-10 | Selex Electronic Systems S.p.A. | High frequency, cold cathode, triode-type, field-emitter vacuum tube and process for manufacturing the same |
KR100913179B1 (ko) * | 2008-01-09 | 2009-08-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광 장치 및 이 발광 장치를 광원으로 사용하는 표시 장치 |
KR102025970B1 (ko) * | 2012-08-16 | 2019-09-26 | 나녹스 이미징 피엘씨 | 영상 캡처 장치 |
RU2653531C1 (ru) * | 2017-03-07 | 2018-05-11 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радий"" | Способ изготовления катодно-сеточного узла электронного прибора с автоэлектронной эмиссией |
RU2018115096A (ru) * | 2018-04-24 | 2019-10-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Экологический свет" | Плоский автоэмиссионный источник света |
RU198075U1 (ru) * | 2020-02-04 | 2020-06-17 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Пульсар" | Планарная вакуумная микросхема |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3935499A (en) * | 1975-01-03 | 1976-01-27 | Texas Instruments Incorporated | Monolythic staggered mesh deflection systems for use in flat matrix CRT's |
FR2702869B1 (fr) * | 1993-03-17 | 1995-04-21 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'affichage à micropointes et procédé de fabrication de ce dispositif. |
WO1996000977A1 (en) * | 1994-06-30 | 1996-01-11 | Philips Electronics N.V. | Display device |
RU2074444C1 (ru) * | 1994-07-26 | 1997-02-27 | Евгений Инвиевич Гиваргизов | Матричный автоэлектронный катод и электронный прибор для оптического отображения информации |
-
1996
- 1996-05-08 RU RU96109506A patent/RU2118011C1/ru active
-
1997
- 1997-04-30 KR KR1019980708976A patent/KR20000010835A/ko not_active Application Discontinuation
- 1997-04-30 WO PCT/RU1997/000133 patent/WO1997042645A1/en not_active Application Discontinuation
- 1997-04-30 JP JP09539818A patent/JP2001501768A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU96109506A (ru) | Автоэмиссионный триод, устройство на его основе, и способ их изготовления | |
US3998678A (en) | Method of manufacturing thin-film field-emission electron source | |
US6204596B1 (en) | Filamentary electron-emission device having self-aligned gate or/and lower conductive/resistive region | |
US3665241A (en) | Field ionizer and field emission cathode structures and methods of production | |
US3755704A (en) | Field emission cathode structures and devices utilizing such structures | |
JP3421549B2 (ja) | 真空マイクロ装置 | |
US3789471A (en) | Field emission cathode structures, devices utilizing such structures, and methods of producing such structures | |
JP3494583B2 (ja) | 電子放出素子の製造方法 | |
US6650061B1 (en) | Electron-source array and manufacturing method thereof as well as driving method for electron-source array | |
US7652418B2 (en) | Electronic emission device, electron emission display device having the same, and method of manufacturing the electron emission device | |
US7030373B2 (en) | MALDI plate construction with grid | |
US20010025962A1 (en) | Field emmision type cold cathode device, manufacturing method thereof and vacuum micro device | |
US20050236951A1 (en) | Method for making a carbon nanotube-based field emission cathode device | |
JP2002157951A (ja) | 横型の電界放出型冷陰極装置及びその製造方法 | |
RU2118011C1 (ru) | Автоэмиссионный триод, устройство на его основе и способ его изготовления | |
EP0460173A1 (en) | Field emitter structure and fabrication process | |
EP0974156A1 (en) | Microtip vacuum field emitter structures, arrays, and devices, and methods of fabrication | |
US3720856A (en) | Binary material field emitter structure | |
US7161148B1 (en) | Tip structures, devices on their basis, and methods for their preparation | |
JP2001076651A (ja) | カーボンナノチューブを用いた電界放出表示素子およびその製造方法 | |
US5211707A (en) | Semiconductor metal composite field emission cathodes | |
JP3581298B2 (ja) | 電界放出型電子源アレイ及びその製造方法 | |
JP2004253201A (ja) | 電界放出型冷陰極およびその製造方法 | |
KR19990073592A (ko) | 리프트-오프 공정을 이용한 탄소나노튜브 에프이디의 제작. | |
JP2005518636A (ja) | 放出ディスプレイの陰極構造 |