RU96104503A - Мозаичное адаптивное биморфное зеркало - Google Patents
Мозаичное адаптивное биморфное зеркалоInfo
- Publication number
- RU96104503A RU96104503A RU96104503/28A RU96104503A RU96104503A RU 96104503 A RU96104503 A RU 96104503A RU 96104503/28 A RU96104503/28 A RU 96104503/28A RU 96104503 A RU96104503 A RU 96104503A RU 96104503 A RU96104503 A RU 96104503A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- glass
- reflective surface
- piezoelectric
- mirror according
- mirror
- Prior art date
Links
- 230000003044 adaptive Effects 0.000 title claims 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 6
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
Claims (4)
1. Мозаичное адаптивное биморфное зеркало, содержащее корпус в виде стакана с крышкой и отражающей поверхностью на внешней стороне днища стакана, отдельные пьезоэлектрические элементы, расположенные в стакане, не выходя за пределы отражающей поверхности, отличающееся тем, что каждый пьезоэлектрический элемент выполнен из последовательно закрепленных параллельно внутренней поверхности днища стакана по крайней мере двух пьезопластин со сплошными электродами на их противоположных сторонах, векторы поляризации смежных пьезопластин каждого пьезоэлектрического элемента направлены в противоположные стороны, а их одноименные электроды электрически связаны между собой, при этом стакан выполнен в виде единой детали с днищем переменной толщины, на средней части которого, имеющей большую толщину, выполнена отражающая поверхность.
2. Зеркало по п. 1, отличающееся тем, что днище стакана выполнено охлаждаемым.
3. 3еркало по п. 1 или 2, отличающееся тем, что смежные пьезопластины по крайней мере одного пьезоэлектрического элемента сопряжены между собой через общий для них электрод.
4. Зеркало по любому из пп. 1-3, отличающееся тем, что полость корпуса заполнена эластичным герметиком.
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU9696104503A RU2069883C1 (ru) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | Мозаичное адаптивное биморфное зеркало |
| JP9511110A JPH11506223A (ja) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | モザイク適応バイモルフ鏡 |
| PL96322714A PL322714A1 (en) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | Adaptive mosaic-type bimorphous mirror |
| EP96915259A EP0793120A1 (en) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | Mosaic adaptive bimorph mirror |
| KR1019970701674A KR100230723B1 (ko) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | 모자이크식 적응형 이형 미러 |
| CA002207470A CA2207470A1 (en) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | Mosaic adaptive bimorph mirror |
| AU57075/96A AU5707596A (en) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | Mosaic adaptive bimorph mirror |
| HU9602918A HUP9602918A2 (en) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | Adaptive bimorph mosaic mirror |
| PCT/RU1996/000114 WO1997009642A1 (fr) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | Miroir dimorphe adaptatif de type mosaique |
| RO96-01759A RO118340B1 (ro) | 1996-03-19 | 1996-05-06 | Oglindă bimorfă, adaptivă, mozaicată |
| LT96-122A LT96122A (en) | 1996-03-19 | 1996-08-15 | Mosaic adaptive bimorph mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU9696104503A RU2069883C1 (ru) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | Мозаичное адаптивное биморфное зеркало |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2069883C1 RU2069883C1 (ru) | 1996-11-27 |
| RU96104503A true RU96104503A (ru) | 1998-06-27 |
Family
ID=20177786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU9696104503A RU2069883C1 (ru) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | Мозаичное адаптивное биморфное зеркало |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0793120A1 (ru) |
| JP (1) | JPH11506223A (ru) |
| KR (1) | KR100230723B1 (ru) |
| AU (1) | AU5707596A (ru) |
| CA (1) | CA2207470A1 (ru) |
| HU (1) | HUP9602918A2 (ru) |
| LT (1) | LT96122A (ru) |
| PL (1) | PL322714A1 (ru) |
| RO (1) | RO118340B1 (ru) |
| RU (1) | RU2069883C1 (ru) |
| WO (1) | WO1997009642A1 (ru) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10046379A1 (de) | 2000-09-20 | 2002-03-28 | Zeiss Carl | System zur gezielten Deformation von optischen Elementen |
| DE10106605A1 (de) | 2001-02-13 | 2002-08-22 | Zeiss Carl | System zur Beseitigung oder wenigstens Dämpfung von Schwingungen |
| DE10150424B4 (de) * | 2001-10-11 | 2004-07-29 | Siemens Ag | Reflexionssystem und Verwendung des Reflexionssystems |
| AU2003294125A1 (en) * | 2002-12-23 | 2004-07-14 | Bae Systems Plc | Deformable mirror |
| US7708415B2 (en) | 2003-10-20 | 2010-05-04 | Bae Systems Plc | Mirror structure having piezoelectric element bonded to a mirror substrate |
| FR2875607B1 (fr) | 2004-09-20 | 2006-11-24 | Cit Alcatel | Miroir a deformation locale par variation d'epaisseur d'un materiau electro-actif controlee par effet electrique |
| FR2913117B1 (fr) * | 2007-02-28 | 2009-07-03 | Cie Ind Des Lasers Cilas Sa | Miroir adaptatif piezoelectrique. |
| WO2009007447A2 (en) * | 2007-07-11 | 2009-01-15 | Universite Libre De Bruxelles | Deformable mirror |
| DE102008014619C5 (de) | 2008-03-17 | 2015-06-25 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Adaptiver Spiegel und Verfahren zu dessen Herstellung |
| US20100033704A1 (en) * | 2008-08-11 | 2010-02-11 | Masayuki Shiraishi | Deformable mirror, mirror apparatus, and exposure apparatus |
| US9476764B2 (en) * | 2013-09-10 | 2016-10-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wavefront adjustment in extreme ultra-violet (EUV) lithography |
| US9405204B2 (en) | 2013-09-18 | 2016-08-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method of overlay in extreme ultra-violet (EUV) lithography |
| WO2017073317A1 (ja) | 2015-10-27 | 2017-05-04 | 株式会社村田製作所 | 圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
| RU177637U1 (ru) * | 2017-10-27 | 2018-03-05 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "ЛУЧ" (ФГУП "НИИ НПО "ЛУЧ") | Адаптивное зеркало |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4257686A (en) * | 1978-12-14 | 1981-03-24 | Itek Corporation | Multiple layer piezoelectric wavefront modulator |
| US4280756A (en) * | 1979-01-02 | 1981-07-28 | Itek Corporation | Piezoelectric bi-morph mirror actuator |
| FR2453423A1 (fr) * | 1979-04-04 | 1980-10-31 | Quantel Sa | Element optique epais a courbure variable |
| FR2530830B1 (ru) * | 1982-07-22 | 1985-01-25 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | |
| US4674848A (en) * | 1986-03-17 | 1987-06-23 | Itek Corporation | Laser mirror having a cooled, deformable surface |
-
1996
- 1996-03-19 RU RU9696104503A patent/RU2069883C1/ru active
- 1996-05-06 PL PL96322714A patent/PL322714A1/xx unknown
- 1996-05-06 CA CA002207470A patent/CA2207470A1/en not_active Abandoned
- 1996-05-06 HU HU9602918A patent/HUP9602918A2/hu unknown
- 1996-05-06 JP JP9511110A patent/JPH11506223A/ja active Pending
- 1996-05-06 AU AU57075/96A patent/AU5707596A/en not_active Abandoned
- 1996-05-06 WO PCT/RU1996/000114 patent/WO1997009642A1/ru active IP Right Grant
- 1996-05-06 RO RO96-01759A patent/RO118340B1/ro unknown
- 1996-05-06 KR KR1019970701674A patent/KR100230723B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-05-06 EP EP96915259A patent/EP0793120A1/en not_active Withdrawn
- 1996-08-15 LT LT96-122A patent/LT96122A/lt unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU96102312A (ru) | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало | |
| RU96104503A (ru) | Мозаичное адаптивное биморфное зеркало | |
| US4140936A (en) | Square and rectangular electroacoustic bender bar transducer | |
| WO1997006649A3 (en) | Conformable composite acoustic transducer panel | |
| KR970706651A (ko) | 다중모드 압전필터(multiple-mode piezoelectric filter) | |
| EP0147112A3 (en) | Piezoelectric actuator using bimorph element | |
| KR970706512A (ko) | 다층 압전 변형 가능 이형 미러(Multiple layer piezoelectric deformable bimorphicmirror) | |
| EP0823781A3 (en) | Piezoelectric resonator, manufacturing method thereof, and electronic component using the piezoelectric resonator | |
| KR970707457A (ko) | 모자이크식 적응형 이형 미러(Mosaic adaptive bimorph mirror) | |
| DE69900734D1 (de) | Piezoelektrischer Antrieb des aufgestapelten Typs | |
| EP0820144A3 (en) | Piezoelectric resonator and electric component using the same | |
| RU96111313A (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель (варианты) | |
| EP0818881A3 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component using the same | |
| RU96120101A (ru) | Деформируемое зеркало на основе многослойной активной биморфной структуры | |
| DE60106522D1 (de) | Piezoelektrische Vibratoreinheit | |
| EP0827273A3 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component using the same | |
| ATE38340T1 (de) | Anregschaltung fuer ein piezoelektrisches bimorph. | |
| RU96111310A (ru) | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель (варианты) | |
| KR970072655A (ko) | 압전 공진기 | |
| RU95121784A (ru) | Акустическая антенна | |
| RU97108510A (ru) | Фазовый модулятор волнового фронта | |
| SU1448328A1 (ru) | Двухкоординатный дефлектор света | |
| EP0821482A3 (en) | Piezoelectric resonator and electric component using the same | |
| EP1020705A4 (en) | OSCILLATING GYROSCOPE WITH LEAD TITANATE ZIRCONATE (PZT) THIN FILM | |
| RU96111314A (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель (варианты) |