RU96102312A - Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало - Google Patents
Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркалоInfo
- Publication number
- RU96102312A RU96102312A RU96102312/28A RU96102312A RU96102312A RU 96102312 A RU96102312 A RU 96102312A RU 96102312/28 A RU96102312/28 A RU 96102312/28A RU 96102312 A RU96102312 A RU 96102312A RU 96102312 A RU96102312 A RU 96102312A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- glass
- electrodes
- piezoelectric
- piezoelectric plates
- mirror
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 4
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
Claims (3)
1. Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало, содержащее корпус в виде стакана с крышкой и отражающей поверхностью на внешней стороне днища стакана, возможно охлаждаемого, пьезоэлектрический элемент в виде двух пьезопластин с электродами на их противоположных сторонах, последовательно закрепленных на внутренней поверхности днища стакана параллельно ей, не выходя за пределы отражающей поверхности, отличающееся тем, что пьезоэлектрический элемент образован по крайней мере двумя пьезопластинами или является многослойным, все электроды выполнены сплошными, векторы поляризации смежных пьезопластин направлены в противоположные стороны, а их одноименные электроды электрически связаны между собой, при этом стакан выполнен в виде единой детали с днищем переменной толщины, причем отражающая поверхность выполнена в средней части днища, имеющей большую толщину.
2. Зеркало по п. 1, отличающееся тем, что смежные пьезопластины сопряжены между собой через общий для них электрод.
3. Зеркало по п. 1 или 2, отличающееся тем, что полость корпуса заполнена эластичным герметиком.
Priority Applications (14)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU9696102312A RU2068191C1 (ru) | 1996-02-12 | 1996-02-12 | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало |
| EP19960907806 EP0743541A4 (en) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | MULTI-LAYER MIRROR PIEZOELECTRIC DEFORMABLE BIMORPH |
| PCT/RU1996/000053 WO1996018919A1 (en) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | Multiple layer piezoelectric deformable bimorphic mirror |
| HU9602396A HUP9602396A2 (en) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | Multilayer piezoelectric deformable bimorph mirror |
| KR1019960705021A KR970706512A (ko) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | 다층 압전 변형 가능 이형 미러(Multiple layer piezoelectric deformable bimorphicmirror) |
| CN96190026A CN1145667A (zh) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | 多层压电可变形双压电晶片反射镜 |
| PL96322716A PL322716A1 (en) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | Multilayered piezoelectric deformable bimorphous mirror |
| MD96-0318A MD960318A (ru) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало |
| CA002185320A CA2185320A1 (en) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | Multiple layer piezoelectric deformable bimorphic mirror |
| JP8518655A JPH10511188A (ja) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | 多層圧電変形可能バイモルフ鏡 |
| SI9620001A SI9620001A (en) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | Multiple layer piezoelectric deformable bimorphic mirror |
| EE9600178A EE9600178A (et) | 1996-02-12 | 1996-03-06 | Mitmekihiline piesoelektriline deformeeritav bimorfne peegel |
| LVP-96-316A LV11713B (en) | 1996-02-12 | 1996-07-26 | Multilayer piezoelectric deformable bimorf mirror |
| LT96-116A LT96116A (en) | 1996-02-12 | 1996-08-01 | Multiple layer piezoelectric deformable bimorphic mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU9696102312A RU2068191C1 (ru) | 1996-02-12 | 1996-02-12 | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2068191C1 RU2068191C1 (ru) | 1996-10-20 |
| RU96102312A true RU96102312A (ru) | 1998-04-20 |
Family
ID=20176622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU9696102312A RU2068191C1 (ru) | 1996-02-12 | 1996-02-12 | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0743541A4 (ru) |
| JP (1) | JPH10511188A (ru) |
| KR (1) | KR970706512A (ru) |
| CN (1) | CN1145667A (ru) |
| CA (1) | CA2185320A1 (ru) |
| EE (1) | EE9600178A (ru) |
| HU (1) | HUP9602396A2 (ru) |
| LT (1) | LT96116A (ru) |
| LV (1) | LV11713B (ru) |
| MD (1) | MD960318A (ru) |
| PL (1) | PL322716A1 (ru) |
| RU (1) | RU2068191C1 (ru) |
| SI (1) | SI9620001A (ru) |
| WO (1) | WO1996018919A1 (ru) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6375329B1 (en) | 1996-11-13 | 2002-04-23 | Seiko Epson Corporation | Projector and method of manufacturing a light modulation device |
| JP3695494B2 (ja) | 1996-11-13 | 2005-09-14 | セイコーエプソン株式会社 | 光変調デバイス、その製造方法および表示装置 |
| GB2321114B (en) * | 1997-01-10 | 2001-02-21 | Lasor Ltd | An optical modulator |
| US6874897B2 (en) * | 2000-01-27 | 2005-04-05 | Aoptix Technologies, Inc. | Deformable curvature mirror with unipolar-wiring |
| US20030006417A1 (en) * | 2001-07-03 | 2003-01-09 | Motorola, Inc. | Structure and method for fabricating semiconductor srtuctures and devices utilizing the formation of a compliant substrate for materials used to form the same and piezoelectric structures having controllable optical surfaces |
| EP1576403A1 (en) | 2002-12-23 | 2005-09-21 | BAE Systems PLC | Deformable-mirror holder |
| AU2003288566A1 (en) | 2002-12-23 | 2004-07-14 | Bae Systems Plc | Deformable-mirror cooling |
| EP1576408B1 (en) | 2002-12-23 | 2017-03-01 | BAE Systems PLC | Deformable mirror |
| FR2866122B1 (fr) * | 2004-02-06 | 2006-05-19 | Europ De Systemes Optiques Soc | Miroir bimorphe. |
| DE102007038872A1 (de) | 2007-08-16 | 2009-02-26 | Seereal Technologies S.A. | Abbildungsvorrichtung zum Beeinflussen von auftreffendem Licht |
| DE102008049647B4 (de) | 2008-09-30 | 2011-11-24 | Technische Universität Dresden | Mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Elements |
| US20120075732A1 (en) * | 2009-05-29 | 2012-03-29 | Bae Systems Plc | Self-deformable mirrors and the support thereof |
| EP2258656A1 (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-08 | BAE Systems PLC | Self-Deformable Mirrors and the Support Thereof |
| CN102147524A (zh) * | 2010-02-10 | 2011-08-10 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种可变曲率反射镜装置 |
| DE102010028111B4 (de) | 2010-04-22 | 2016-01-21 | Technische Universität Dresden | Mikromechanisches Element |
| US20130302633A1 (en) * | 2012-04-17 | 2013-11-14 | California Institute Of Technology | Thin film bi-material lattice structures and methods of making the same |
| CN103383092B (zh) * | 2013-07-31 | 2017-04-12 | 广东金达照明科技股份有限公司 | 一种动态多彩灯具 |
| RU2636255C2 (ru) * | 2016-04-14 | 2017-11-21 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Пьезоактюатор изгибного типа |
| CN108627972A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-10-09 | 中国人民解放军国防科技大学 | 悬臂式横向压电驱动变形镜及其装配方法 |
| RU2741035C1 (ru) * | 2020-07-21 | 2021-01-22 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный технический университет" | Лазерная оптическая головка |
| CN113219649B (zh) * | 2021-04-30 | 2022-11-22 | 哈尔滨芯明天科技有限公司 | 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3904274A (en) * | 1973-08-27 | 1975-09-09 | Itek Corp | Monolithic piezoelectric wavefront phase modulator |
| US4257686A (en) * | 1978-12-14 | 1981-03-24 | Itek Corporation | Multiple layer piezoelectric wavefront modulator |
| FR2453423A1 (fr) * | 1979-04-04 | 1980-10-31 | Quantel Sa | Element optique epais a courbure variable |
| FR2530830B1 (ru) * | 1982-07-22 | 1985-01-25 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | |
| US4969726A (en) * | 1985-06-03 | 1990-11-13 | Northrop Corporation | Ring laser gyro path-length-control mechanism |
| US4915492A (en) * | 1989-02-06 | 1990-04-10 | Toth Theodor A | Mirror transducer assembly with selected thermal compensation |
-
1996
- 1996-02-12 RU RU9696102312A patent/RU2068191C1/ru active
- 1996-03-06 JP JP8518655A patent/JPH10511188A/ja active Pending
- 1996-03-06 MD MD96-0318A patent/MD960318A/ru not_active Application Discontinuation
- 1996-03-06 PL PL96322716A patent/PL322716A1/xx unknown
- 1996-03-06 HU HU9602396A patent/HUP9602396A2/hu unknown
- 1996-03-06 KR KR1019960705021A patent/KR970706512A/ko active IP Right Grant
- 1996-03-06 EE EE9600178A patent/EE9600178A/xx unknown
- 1996-03-06 EP EP19960907806 patent/EP0743541A4/en not_active Withdrawn
- 1996-03-06 SI SI9620001A patent/SI9620001A/sl unknown
- 1996-03-06 CA CA002185320A patent/CA2185320A1/en not_active Abandoned
- 1996-03-06 CN CN96190026A patent/CN1145667A/zh active Pending
- 1996-03-06 WO PCT/RU1996/000053 patent/WO1996018919A1/ru not_active Application Discontinuation
- 1996-07-26 LV LVP-96-316A patent/LV11713B/en unknown
- 1996-08-01 LT LT96-116A patent/LT96116A/lt unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU96102312A (ru) | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало | |
| RU96104503A (ru) | Мозаичное адаптивное биморфное зеркало | |
| US4140936A (en) | Square and rectangular electroacoustic bender bar transducer | |
| KR950021954A (ko) | 진동파작동기 | |
| KR970706512A (ko) | 다층 압전 변형 가능 이형 미러(Multiple layer piezoelectric deformable bimorphicmirror) | |
| GB2044527A (en) | Piezoelectric unit and device | |
| EP0823781A3 (en) | Piezoelectric resonator, manufacturing method thereof, and electronic component using the piezoelectric resonator | |
| CA2224307A1 (en) | Dielectric resonator device | |
| JPH0446040B2 (ru) | ||
| RU2069883C1 (ru) | Мозаичное адаптивное биморфное зеркало | |
| HK1022782A1 (en) | Stacked-type piezoelectric actuator | |
| EP0820144A3 (en) | Piezoelectric resonator and electric component using the same | |
| EP0818881A3 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component using the same | |
| DE60106522D1 (de) | Piezoelektrische Vibratoreinheit | |
| RU96120101A (ru) | Деформируемое зеркало на основе многослойной активной биморфной структуры | |
| EP0829957A3 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component using the same | |
| EP0827273A3 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component using the same | |
| US5719462A (en) | Ultrasonic motor having improved stator | |
| EP0838897A3 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component comprising the piezoelectric resonator | |
| JPS5932182A (ja) | バイモルフ用圧電素子 | |
| JP2001100119A5 (ru) | ||
| SU1448328A1 (ru) | Двухкоординатный дефлектор света | |
| EP0821482A3 (en) | Piezoelectric resonator and electric component using the same | |
| RU99115181A (ru) | Акустический скважинный излучатель | |
| KR980000625A (ko) | 압전/전왜 액츄에이터 |