RU95121761A - Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления - Google Patents
Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществленияInfo
- Publication number
- RU95121761A RU95121761A RU95121761/28A RU95121761A RU95121761A RU 95121761 A RU95121761 A RU 95121761A RU 95121761/28 A RU95121761/28 A RU 95121761/28A RU 95121761 A RU95121761 A RU 95121761A RU 95121761 A RU95121761 A RU 95121761A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- original
- optical disc
- light beam
- paragraphs
- optical disk
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 title claims 24
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 5
- 230000000051 modifying Effects 0.000 claims 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
1. Способ исследования оптического диска оригинала (3), включающий формирование слоя проявляющей жидкости (14), поверхность которого приводится в соприкосновение с поверхностью оптического диска оригинала (3) для проявления упомянутой поверхности, направление луча света на участок поверхности оптического диска оригинала (3) и исследование по меньшей мере одного дифрагированнсго луча света (8, 10), сформированного из упомянутого луча света (6) за счет дифракции на упомянутом участке поверхности, отличающийся тем, что другую поверхность слоя проявляющей жидкости (14) приводят в соприкосновение с твердым телом (4, 35, 50), расположенным на расстоянии от оптического диска оригинала так, что толщина слоя проявляющей жидкости (14) по меньшей мере на упомянутом участке поверхности оптического диска оригинала (3) определяется пространством между оптическим диском оригинала (3) и твердым телом (4, 35, 50).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) содержит в себе дифрагированный луч света (8) первого порядка.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что по меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) содержит в себе дифрагированный луч света первого порядка (8) и луч нулевого порядка (10).
4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что твердое тело (4, 35, 50) - прозрачное и по меньшей мере один из упомянутых лучей света (6) и по меньшей мере один дифрагированный луч (8, 10) проходит через упомянутое твердое тело (4, 35, 50).
5. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что по меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) формируют из упомянутого луча света (6) посредством отражения на упомянутом участке поверхности диска оригинала (3).
5. Способ по любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что по меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) вырабатывают из упомянутого луча света (6) посредством передачи через упомянутую поверхность оптического диска оригинала (3).
7. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что включает подачу проявляющей жидкости (14) через насадку (34), причем твердое тело представляет собой окно (50) в насадке (34).
8. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что упомянутый луч света (6) периодически модулируют по интенсивности.
9. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что оптический диск оригинала (3) покрывают фоторезистом (2) для образования упомянутой поверхности оптического диска оригинала (3), а фоторезист экспонируют модулированным светом перед формированием слоя проявляющей жидкостью (14) на поверхности оптического диска оригинала
10. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что оптический диск оригинала (3) вращают при формировании на нем слоя проявляющей жидкости (14).
10. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что оптический диск оригинала (3) вращают при формировании на нем слоя проявляющей жидкости (14).
11. Устройство для исследования оптического диска оригинала (3), содержащее средство опоры (30, 31) для поддержания оптического диска оригинала (3); средство (34) для подачи слоя проявляющей жидкости (14) на поверхность оптического диска оригинала (3), при поддержании оптического диска оригинала (3) средством опоры (30, 31), источник света (5), предназначенный для вырабатывания луча света (6), направляемого на участок поверхности оптического диска оригинала (3) при поддержании оптического диска оригинала (3) средством опоры (30, 31), и детектор света (9), предназначенный для обнаружения по меньшей мере одного дифрагированного луча света (3), вырабатываемого из луча света (6), направляемого на участок поверхности оптического диска оригинала (3), отличающееся тем, что рядом со средством (30, 31) размещено твердое тело (4, 35,50), с которым должна соприкасаться проявляющая жидкость (14) так, что толщина упомянутого слоя проявляющей жидкости (14) по меньшей мере на упомянутом участке поверхности оптического диска оригинала (3) определяется промежутком между оптическим диском оригинала (3) и твердым телом (4, 35, 50).
12. Устройство по п. 11, отличающееся тем, что твердое тело (4, 35, 50) прозрачно.
13. Устройство по п. 12, отличающееся тем, что твердое теле представляет собой окно (4) в корпусе (1), содержащем детектор (9).
14. Устройство по п. 13, отличающееся тем, что окно выполнено из сапфира.
15. Устройство по п. 11, отличающееся тем, что твердое тело (35) образует стенку средства для подачи проявляющей жидкости (14).
16. Устройство по п. 11, отличающееся тем, что средство для подачи проявляющей жидкости (14) имеет насадку (34), направленную к средству опоры (30, 31), а твердое тело представляет собой прозрачное окно (50) в стенке насадки (34).
17. Устройство по любому из пп. 11-16, отличающееся тем, что источник (5) и детектор (9) размещены с одной и той же стороны оптического диска оригинала (3) при размещении оптического диска оригинала (3) на средстве опоры (30, 31).
18. Устройство по любому из пп. 11-17, отличающееся тем, что детектор (9) и средство (34) для подачи проявляющей жидкости выполнены в виде единой конструкции.
19. Устройство по любому из пп. 11-18, отличающееся тем, что содержит средство управления (110-128) процессом проявления поверхности посредством проявляющей жидкости (14) с использованием выходного сигнала детектора (9), при этом средство управления (110-128) выполнено с возможностью периодической модуляции интенсивности луча света от источника (5).
20. Устройство по любому из пп. 11-19, отличающееся тем, что средство опоры (30, 31) выполнено с возможностью вращения для обеспечения вращения оптического диска оригинала (3).
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB939307239A GB9307239D0 (en) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | Method and apparatus for process control |
GB9307239.5 | 1993-04-07 | ||
PCT/GB1994/000720 WO1994023343A1 (en) | 1993-04-07 | 1994-04-05 | Method and apparatus for process control |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU95121761A true RU95121761A (ru) | 1997-10-20 |
RU2107893C1 RU2107893C1 (ru) | 1998-03-27 |
Family
ID=10733474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU95121761A RU2107893C1 (ru) | 1993-04-07 | 1994-04-05 | Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления |
Country Status (17)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0695438A1 (ru) |
JP (1) | JPH08508602A (ru) |
CN (1) | CN1120866A (ru) |
AU (1) | AU675125B2 (ru) |
BR (1) | BR9406451A (ru) |
CA (1) | CA2159100A1 (ru) |
CZ (1) | CZ283292B6 (ru) |
FI (1) | FI954769A0 (ru) |
GB (1) | GB9307239D0 (ru) |
HU (1) | HUT73543A (ru) |
IL (1) | IL109238A (ru) |
NO (1) | NO953933L (ru) |
NZ (1) | NZ263235A (ru) |
RU (1) | RU2107893C1 (ru) |
SG (1) | SG44328A1 (ru) |
TW (1) | TW255966B (ru) |
WO (1) | WO1994023343A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8576686B2 (en) | 2005-01-25 | 2013-11-05 | Cinram Group, Inc. | Apparatus for multilevel optical recording |
US8472020B2 (en) | 2005-02-15 | 2013-06-25 | Cinram Group, Inc. | Process for enhancing dye polymer recording yields by pre-scanning coated substrate for defects |
US7535806B2 (en) | 2005-07-07 | 2009-05-19 | Cinram International Inc. | Apparatus and method for detecting laser dropout |
EP1965383A1 (en) * | 2007-03-02 | 2008-09-03 | Singulus Mastering B.V. | Diffraction order measurement |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5857843U (ja) * | 1981-10-16 | 1983-04-19 | パイオニア株式会社 | フオトレジスト湿式現像装置 |
JPS59121337A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-13 | Fujitsu Ltd | レジスト現像装置 |
EP0379281A3 (en) * | 1989-01-19 | 1991-03-20 | Cosmopolitan Textile Company Limited | Web inspecting method and apparatus |
JP2861073B2 (ja) * | 1989-07-05 | 1999-02-24 | ソニー株式会社 | 現像装置 |
US5124216A (en) * | 1990-07-31 | 1992-06-23 | At&T Bell Laboratories | Method for monitoring photoresist latent images |
JPH04141840A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フォトレジスト自動現像装置 |
JPH04311837A (ja) * | 1991-04-10 | 1992-11-04 | Tdk Corp | 光ディスク原盤の現像方法 |
US5357304A (en) * | 1992-03-25 | 1994-10-18 | Sony Corporation | Image development apparatus and method |
-
1993
- 1993-04-07 GB GB939307239A patent/GB9307239D0/en active Pending
-
1994
- 1994-04-05 CA CA002159100A patent/CA2159100A1/en not_active Abandoned
- 1994-04-05 CN CN94191725.8A patent/CN1120866A/zh active Pending
- 1994-04-05 RU RU95121761A patent/RU2107893C1/ru active
- 1994-04-05 WO PCT/GB1994/000720 patent/WO1994023343A1/en active IP Right Grant
- 1994-04-05 NZ NZ263235A patent/NZ263235A/en unknown
- 1994-04-05 SG SG1995001399A patent/SG44328A1/en unknown
- 1994-04-05 JP JP6521868A patent/JPH08508602A/ja active Pending
- 1994-04-05 BR BR9406451A patent/BR9406451A/pt not_active Application Discontinuation
- 1994-04-05 EP EP94911284A patent/EP0695438A1/en not_active Withdrawn
- 1994-04-05 AU AU63841/94A patent/AU675125B2/en not_active Ceased
- 1994-04-05 CZ CZ952571A patent/CZ283292B6/cs unknown
- 1994-04-05 HU HU9502729A patent/HUT73543A/hu unknown
- 1994-04-06 TW TW083102979A patent/TW255966B/zh active
- 1994-04-06 IL IL109238A patent/IL109238A/xx not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-10-03 NO NO953933A patent/NO953933L/no unknown
- 1995-10-06 FI FI954769A patent/FI954769A0/fi not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6250535B2 (ja) | 薄型体積格子スタックを積層生成する方法及び装置、並びにホログラフィックディスプレイのビームコンバイナ | |
JPS5857843U (ja) | フオトレジスト湿式現像装置 | |
KR860007644A (ko) | 광학 픽업 | |
EP0883302A3 (en) | Projection type liquid crystal display device | |
KR900018671A (ko) | 생물, 생화학 또는 화학 검사용 감지기 | |
US4895419A (en) | Contact copying of reflection or volume holograms | |
JPS6374086A (ja) | ホログラフ・ディスクの複写装置 | |
US20040135100A1 (en) | System and method for holographic fabrication and replication of diffractive optical elements for maskless lithography | |
CA2084324A1 (en) | Optical pickup apparatus and a hologram element used for same | |
RU95121761A (ru) | Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления | |
RU95122597A (ru) | Способ контроля положения волокна, способ управления положением волокна и устройство для измерения расстояния до поверхности | |
US3795446A (en) | Lithography | |
EP0797121A3 (en) | Exposure apparatus | |
JPS57181537A (en) | Light pattern projector | |
JPH0980311A (ja) | 照明装置及び照明方法 | |
JP2803434B2 (ja) | 回折格子プロッター | |
IL109238A (en) | Method and apparatus for process control | |
EP0453778A3 (en) | Angle measuring device | |
JPS56104573A (en) | Picture recording device | |
JPS6410625A (en) | X-ray reduction projection aligner | |
US6894815B1 (en) | Reference beam absorbers-blockers | |
EP0372822A3 (en) | A system for monitoring intensity during holographic exposure | |
RU94035584A (ru) | Механический модулятор оптического излучения | |
JPS595870Y2 (ja) | ホログラムサイセイソウチ | |
JPH1123452A (ja) | 回折干渉測定装置 |