RU95121761A - Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления

Info

Publication number
RU95121761A
RU95121761A RU95121761/28A RU95121761A RU95121761A RU 95121761 A RU95121761 A RU 95121761A RU 95121761/28 A RU95121761/28 A RU 95121761/28A RU 95121761 A RU95121761 A RU 95121761A RU 95121761 A RU95121761 A RU 95121761A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
original
optical disc
light beam
paragraphs
optical disk
Prior art date
Application number
RU95121761/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2107893C1 (ru
Inventor
Альфред Джон Рейнолдс Джеральд
Халлидей Джонатан
Original Assignee
Нимбус Коммуникейшнз Интернэшнл Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from GB939307239A external-priority patent/GB9307239D0/en
Application filed by Нимбус Коммуникейшнз Интернэшнл Лимитед filed Critical Нимбус Коммуникейшнз Интернэшнл Лимитед
Publication of RU95121761A publication Critical patent/RU95121761A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2107893C1 publication Critical patent/RU2107893C1/ru

Links

Claims (1)

1. Способ исследования оптического диска оригинала (3), включающий формирование слоя проявляющей жидкости (14), поверхность которого приводится в соприкосновение с поверхностью оптического диска оригинала (3) для проявления упомянутой поверхности, направление луча света на участок поверхности оптического диска оригинала (3) и исследование по меньшей мере одного дифрагированнсго луча света (8, 10), сформированного из упомянутого луча света (6) за счет дифракции на упомянутом участке поверхности, отличающийся тем, что другую поверхность слоя проявляющей жидкости (14) приводят в соприкосновение с твердым телом (4, 35, 50), расположенным на расстоянии от оптического диска оригинала так, что толщина слоя проявляющей жидкости (14) по меньшей мере на упомянутом участке поверхности оптического диска оригинала (3) определяется пространством между оптическим диском оригинала (3) и твердым телом (4, 35, 50).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) содержит в себе дифрагированный луч света (8) первого порядка.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что по меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) содержит в себе дифрагированный луч света первого порядка (8) и луч нулевого порядка (10).
4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что твердое тело (4, 35, 50) - прозрачное и по меньшей мере один из упомянутых лучей света (6) и по меньшей мере один дифрагированный луч (8, 10) проходит через упомянутое твердое тело (4, 35, 50).
5. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что по меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) формируют из упомянутого луча света (6) посредством отражения на упомянутом участке поверхности диска оригинала (3).
5. Способ по любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что по меньшей мере один дифрагированный луч света (8, 10) вырабатывают из упомянутого луча света (6) посредством передачи через упомянутую поверхность оптического диска оригинала (3).
7. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что включает подачу проявляющей жидкости (14) через насадку (34), причем твердое тело представляет собой окно (50) в насадке (34).
8. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что упомянутый луч света (6) периодически модулируют по интенсивности.
9. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что оптический диск оригинала (3) покрывают фоторезистом (2) для образования упомянутой поверхности оптического диска оригинала (3), а фоторезист экспонируют модулированным светом перед формированием слоя проявляющей жидкостью (14) на поверхности оптического диска оригинала
10. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что оптический диск оригинала (3) вращают при формировании на нем слоя проявляющей жидкости (14).
11. Устройство для исследования оптического диска оригинала (3), содержащее средство опоры (30, 31) для поддержания оптического диска оригинала (3); средство (34) для подачи слоя проявляющей жидкости (14) на поверхность оптического диска оригинала (3), при поддержании оптического диска оригинала (3) средством опоры (30, 31), источник света (5), предназначенный для вырабатывания луча света (6), направляемого на участок поверхности оптического диска оригинала (3) при поддержании оптического диска оригинала (3) средством опоры (30, 31), и детектор света (9), предназначенный для обнаружения по меньшей мере одного дифрагированного луча света (3), вырабатываемого из луча света (6), направляемого на участок поверхности оптического диска оригинала (3), отличающееся тем, что рядом со средством (30, 31) размещено твердое тело (4, 35,50), с которым должна соприкасаться проявляющая жидкость (14) так, что толщина упомянутого слоя проявляющей жидкости (14) по меньшей мере на упомянутом участке поверхности оптического диска оригинала (3) определяется промежутком между оптическим диском оригинала (3) и твердым телом (4, 35, 50).
12. Устройство по п. 11, отличающееся тем, что твердое тело (4, 35, 50) прозрачно.
13. Устройство по п. 12, отличающееся тем, что твердое теле представляет собой окно (4) в корпусе (1), содержащем детектор (9).
14. Устройство по п. 13, отличающееся тем, что окно выполнено из сапфира.
15. Устройство по п. 11, отличающееся тем, что твердое тело (35) образует стенку средства для подачи проявляющей жидкости (14).
16. Устройство по п. 11, отличающееся тем, что средство для подачи проявляющей жидкости (14) имеет насадку (34), направленную к средству опоры (30, 31), а твердое тело представляет собой прозрачное окно (50) в стенке насадки (34).
17. Устройство по любому из пп. 11-16, отличающееся тем, что источник (5) и детектор (9) размещены с одной и той же стороны оптического диска оригинала (3) при размещении оптического диска оригинала (3) на средстве опоры (30, 31).
18. Устройство по любому из пп. 11-17, отличающееся тем, что детектор (9) и средство (34) для подачи проявляющей жидкости выполнены в виде единой конструкции.
19. Устройство по любому из пп. 11-18, отличающееся тем, что содержит средство управления (110-128) процессом проявления поверхности посредством проявляющей жидкости (14) с использованием выходного сигнала детектора (9), при этом средство управления (110-128) выполнено с возможностью периодической модуляции интенсивности луча света от источника (5).
20. Устройство по любому из пп. 11-19, отличающееся тем, что средство опоры (30, 31) выполнено с возможностью вращения для обеспечения вращения оптического диска оригинала (3).
RU95121761A 1993-04-07 1994-04-05 Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления RU2107893C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB939307239A GB9307239D0 (en) 1993-04-07 1993-04-07 Method and apparatus for process control
GB9307239.5 1993-04-07
PCT/GB1994/000720 WO1994023343A1 (en) 1993-04-07 1994-04-05 Method and apparatus for process control

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU95121761A true RU95121761A (ru) 1997-10-20
RU2107893C1 RU2107893C1 (ru) 1998-03-27

Family

ID=10733474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95121761A RU2107893C1 (ru) 1993-04-07 1994-04-05 Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления

Country Status (17)

Country Link
EP (1) EP0695438A1 (ru)
JP (1) JPH08508602A (ru)
CN (1) CN1120866A (ru)
AU (1) AU675125B2 (ru)
BR (1) BR9406451A (ru)
CA (1) CA2159100A1 (ru)
CZ (1) CZ283292B6 (ru)
FI (1) FI954769A0 (ru)
GB (1) GB9307239D0 (ru)
HU (1) HUT73543A (ru)
IL (1) IL109238A (ru)
NO (1) NO953933L (ru)
NZ (1) NZ263235A (ru)
RU (1) RU2107893C1 (ru)
SG (1) SG44328A1 (ru)
TW (1) TW255966B (ru)
WO (1) WO1994023343A1 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8576686B2 (en) 2005-01-25 2013-11-05 Cinram Group, Inc. Apparatus for multilevel optical recording
US8472020B2 (en) 2005-02-15 2013-06-25 Cinram Group, Inc. Process for enhancing dye polymer recording yields by pre-scanning coated substrate for defects
US7535806B2 (en) 2005-07-07 2009-05-19 Cinram International Inc. Apparatus and method for detecting laser dropout
EP1965383A1 (en) * 2007-03-02 2008-09-03 Singulus Mastering B.V. Diffraction order measurement

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5857843U (ja) * 1981-10-16 1983-04-19 パイオニア株式会社 フオトレジスト湿式現像装置
JPS59121337A (ja) * 1982-12-24 1984-07-13 Fujitsu Ltd レジスト現像装置
EP0379281A3 (en) * 1989-01-19 1991-03-20 Cosmopolitan Textile Company Limited Web inspecting method and apparatus
JP2861073B2 (ja) * 1989-07-05 1999-02-24 ソニー株式会社 現像装置
US5124216A (en) * 1990-07-31 1992-06-23 At&T Bell Laboratories Method for monitoring photoresist latent images
JPH04141840A (ja) * 1990-10-01 1992-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd フォトレジスト自動現像装置
JPH04311837A (ja) * 1991-04-10 1992-11-04 Tdk Corp 光ディスク原盤の現像方法
US5357304A (en) * 1992-03-25 1994-10-18 Sony Corporation Image development apparatus and method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6250535B2 (ja) 薄型体積格子スタックを積層生成する方法及び装置、並びにホログラフィックディスプレイのビームコンバイナ
JPS5857843U (ja) フオトレジスト湿式現像装置
KR860007644A (ko) 광학 픽업
EP0883302A3 (en) Projection type liquid crystal display device
KR900018671A (ko) 생물, 생화학 또는 화학 검사용 감지기
US4895419A (en) Contact copying of reflection or volume holograms
JPS6374086A (ja) ホログラフ・ディスクの複写装置
US20040135100A1 (en) System and method for holographic fabrication and replication of diffractive optical elements for maskless lithography
CA2084324A1 (en) Optical pickup apparatus and a hologram element used for same
RU95121761A (ru) Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления
RU95122597A (ru) Способ контроля положения волокна, способ управления положением волокна и устройство для измерения расстояния до поверхности
US3795446A (en) Lithography
EP0797121A3 (en) Exposure apparatus
JPS57181537A (en) Light pattern projector
JPH0980311A (ja) 照明装置及び照明方法
JP2803434B2 (ja) 回折格子プロッター
IL109238A (en) Method and apparatus for process control
EP0453778A3 (en) Angle measuring device
JPS56104573A (en) Picture recording device
JPS6410625A (en) X-ray reduction projection aligner
US6894815B1 (en) Reference beam absorbers-blockers
EP0372822A3 (en) A system for monitoring intensity during holographic exposure
RU94035584A (ru) Механический модулятор оптического излучения
JPS595870Y2 (ja) ホログラムサイセイソウチ
JPH1123452A (ja) 回折干渉測定装置