RU2773255C2 - Способ лазерной обработки неметаллических материалов - Google Patents
Способ лазерной обработки неметаллических материалов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2773255C2 RU2773255C2 RU2020136235A RU2020136235A RU2773255C2 RU 2773255 C2 RU2773255 C2 RU 2773255C2 RU 2020136235 A RU2020136235 A RU 2020136235A RU 2020136235 A RU2020136235 A RU 2020136235A RU 2773255 C2 RU2773255 C2 RU 2773255C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- equation
- pulse
- laser pulse
- annealing
- Prior art date
Links
- 239000007769 metal material Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 84
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 abstract description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005555 metalworking Methods 0.000 abstract 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 21
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 210000004544 DC2 Anatomy 0.000 description 3
- 230000002530 ischemic preconditioning Effects 0.000 description 3
- 238000004901 spalling Methods 0.000 description 3
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 210000004759 MCP Anatomy 0.000 description 1
- 230000001066 destructive Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009114 investigational therapy Methods 0.000 description 1
- 230000000051 modifying Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- 230000001131 transforming Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
Изобретение относится к области технологических процессов и может быть использовано для лазерного отжига или легирования полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Способ лазерной обработки неметаллических материалов согласно изобретению заключается в предварительном подогреве материала до начальной температуры, определяемой из условия термопрочности, связывающего прочностные, теплофизические свойства материала, длительность лазерного импульса и температуру отжига, и воздействии на материал лазерного импульса с плотностью энергии, достаточной для достижения поверхностью материала температуры отжига (плавления). Технический результат – предотвращение откольного разрушения материалов в процессе обработки и повышения выхода годной продукции. 1 ил.
Description
Изобретение относится к области технологических процессов и может быть использовано для отжига или легирования пластин из полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов.
Известен способ обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности одиночным лазерным импульсом прямоугольной формы. Бакеев А. А., Соболев А. П., Яковлев В. И. Исследования термоупругих напряжений, возникающих в поглощающем слое вещества под действием лазерного импульса. - ПМТФ - 1982. - № 6 - С. 92-98. Недостатком указанных способов является то, что возникающие в материале термоупругие напряжения могут привести к разрушению материала вследствие откола со стороны облучаемой поверхности.
Известен также способ обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсом лазерного излучения, временная форма которого описывается соотношением
где q(t) - плотность мощности лазерного излучения, Вт/м2;
b1 и b2 - константы, характеризующие фронт и спад лазерного импульса и определяемые из условия
qmax - максимальное значение плотности мощности лазерного излучения в импульсе, Вт/м2;
е - основание натурального логарифма;
где: W - плотность энергии лазерного излучения, Дж/м2;
τ - длительность лазерного импульса, с;
t - текущее время от начала воздействия, с.
Патент РФ на изобретение № 2211753, МПК B23K 26/00, 10.09.2003. При этом плотность энергии в импульсе должна быть достаточной для достижения поверхностью материала температуры отжига и рассчитывается по уравнению
где: T f - температура отжига материала, К;
T 0 - начальная температура материала, К;
с - удельная теплоемкость материала, Дж/(кг⋅К);
ρ - плотность материала, кг/м3;
R - коэффициент отражения материала на длине волны лазерного излучения;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения, м-1.
В аналоге показано, что при воздействии импульса лазерного излучения, описываемого соотношением (1), в неметаллических материалах возникают наименьшие, по сравнению с другими временными формами импульсов, максимальные растягивающие напряжения и существует минимальная область в плоскости параметров, характеризующих лазерный импульс и свойства материала, в которой возможно откольное разрушение материала со стороны облучаемой поверхности. Недостатком указанного способа является то, что возникающие в материале термоупругие напряжения могут привести к разрушению материала вследствие откола со стороны облучаемой поверхности.
Известен также способ обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсом лазерного излучения, временная форма которого описывается уравнением (1) с плотностью энергии, определяемой уравнением (2) и предварительном нагреве материала до температуры, определяемой по соотношению
где σ ВР - предел прочности материала на растяжение, Па;
е - основание натурального логарифма;
с 0 - скорость звука в материале, м/с;
К - модуль всестороннего сжатия, Па;
α Т - коэффициент линейного расширения материала, К-1.
Патент РФ № 2583870 МПК H01L 21/42, 10.05.201.
Недостатком указанного способа является то, что, при воздействии лазерных импульсов других временных форм с плотностью энергии, определяемой по уравнению (2), на материал с начальной температурой, определяемой по соотношению (3), материал будет разрушен термоупругими напряжениями вследствие откола со стороны облучаемой поверхности. Лазерный импульс, описываемый уравнением (1), создает минимальные термоупругие напряжения в поглощающем слое материала. Лазерные импульсы других временных форм будут создавать в поглощающем слое материала бо́льшие термоупругие напряжения [Коваленко А. Ф. Экспериментальная установка для исследования влияния параметров лазерного импульса на разрушение неметаллических материалов. Приборы и техника эксперимента. - 2004. - №4. - С. 119-124.]. Лазерный импульс, описываемый уравнением (1), формируется при реализации схемы задающий генератор - многокаскадный усилитель. Задающий генератор должен работать в режиме модулированной добротности. Причем последний каскад усилителя должен работать в режиме, близком к насыщению. Если каскадов усиления не более двух-трех, то выходной лазерный импульс будет иметь временную форму, близкую к треугольной форме [Коваленко А.Ф. Экспериментальная установка для исследования влияния параметров лазерного импульса на разрушение неметаллических материалов. Приборы и техника эксперимента. - 2004. №4. - С. 119 - 124.], описываемой уравнением:
где: q(t) - плотность мощности лазерного излучения Вт/см2;
q m - максимальное значение плотности мощности лазерного излучения Вт/см2;
t - текущее время от начала воздействия, с;
τ - длительность лазерного импульса, с.
Известен также способ лазерной обработки неметаллических материалов, включающий предварительный нагрев материала до определенной начальной температуры и облучение поверхности импульсом лазерного излучения, температуру предварительного подогрева материала определяют из условия термопрочности
при этом облучение осуществляют лазерным импульсом с плотностью энергии, определяемой по соотношению
и временной формой лазерного импульса, которая описывается соотношением
Патент РФ на изобретение № 2646177, МКП H01L 21/42, 01.03.2018.
Недостатком аналога является то, что при воздействии лазерного импульса с временной формой, описываемой уравнением (7) материал будет разрушен термоупругими напряжениями.
Известен также способ лазерной обработки неметаллических материалов, включающий предварительный нагрев материала до определенной начальной температуры и облучение поверхности импульсом лазерного излучения с плотностью энергии, определяемой по уравнению
и временной и временной формой, описываемой уравнением
при этом начальную температуру материала после подогрева определяют по уравнению
где π ≈ 3,14.
Патент РФ № 2695440, МПК H01L 21/268, H01L 21/42, 23.07.2019. Данное техническое решение принято в качестве прототипа.
Лазерные импульсы, описываемые уравнением (8), формируются в твердотельных лазерах с пассивной модуляцией добротности (см. например [Макогон М. М., Неделькин Н. В., Сердюков В. И., Тарасов В. М. Лазеры на гранате с модуляцией добротности кристаллами LF:F- 2]). Они являются предпочтительными, когда площадь отжига материалов не велика и имеется возможность использовать простую лазерную установку с пассивным модулятором добротности и не использовать каскады усиления лазерного импульса.
Недостатком прототипа является то, что при воздействии лазерного импульса прямоугольной формы материал будет разрушен термоупругими напряжениями, так как термоупругие напряжения в материале для этого импульса больше, чем для импульса, описываемого уравнением (8) [Коваленко А. Ф. Экспериментальная установка для исследования влияния параметров лазерного импульса на разрушение неметаллических материалов. - Приборы и техника эксперимента. - 2004. - № 4. - С. 119-124]. Прямоугольные лазерные импульсы, временная форма которых описывается уравнением
формируются в твердотельных лазерах с модуляцией добротности акустооптическими затворами [Мюллер С.. Лазеры с модуляцией добротности для обработки поверхностей. Фотоника. - 2011. - № 2. - С. 26-28].
Техническим результатом предполагаемого изобретения является исключение откольного разрушения материалов со стороны облучаемой поверхности и повышение выхода годных изделий в технологическом процессе обработки.
Технический результат достигается тем, что в способе лазерной обработки неметаллических материалов, включающем предварительный нагрев материала до определенной начальной температуры и облучение поверхности импульсом лазерного излучения с плотностью энергии, определяемой по соотношению
где T f - температура отжига материала, К;
T 0 - начальная температура материала после предварительного подогрева, К;
с - удельная теплоемкость материала, Дж/(кг⋅К);
ρ - плотность материала, кг/м3;
R - коэффициент отражения материала на длине волны лазерного излучения,
для лазерного импульса, описываемого уравнением
где: q(t) - плотность мощности лазерного излучения Вт/см2;
q m - амплитуда плотности мощности лазерного излучения Вт/см2;
t - текущее время от начала воздействия, с;
τ - длительность лазерного импульса, с,
начальную температуру материала после подогрева определяют по уравнению
где σ BP - предел прочности материала на растяжение, Па;
К - модуль всестороннего сжатия материала, Па;
α Т - коэффициент линейного расширения материала, К-1;
е - основание натурального логарифма;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения, м-1;
с0 - скорость звука в материале, м/с.
Ниже приводится более подробное описание способа лазерной обработки неметаллических материалов со ссылкой на чертеж.
Сущность способа лазерной обработки неметаллических материалов состоит в следующем. Перед осуществлением лазерного отжига неметаллических материалов измеряют длительность лазерного импульса и контролируют его временную форму с использованием, например, запоминающего осциллографа С8-12 и фотоэлемента ФК-19. Если временная форма лазерного импульса близка к форме, описываемой уравнением (12), пластину из неметаллического материала предварительно нагревают, например, в муфельной печи до температуры Т0, определяемой по уравнению (13). Затем воздействуют на пластину одиночным импульсом лазерного излучения с плотностью энергии, рассчитываемой по уравнению (11) с учетом нового значения начальной температуры. При легировании материалов в формуле (11) для определения требуемой плотности энергии лазерного импульса вместо значения температуры отжига необходимо подставлять значение температуры плавления материала.
В работе [Бакеев А. А., Соболев А. П., Яковлев В. И. Исследования термоупругих напряжений, возникающих в поглощающем слое вещества под действием лазерного импульса. - ПМТФ - 1982. - № 6 - с. 92-98] показано, что максимальные растягивающие напряжения, возникающие в материале, описываются уравнением
где х - координата, отсчитываемая от поверхности материала вглубь, м.
В работе [Коваленко А. Ф. Экспериментальная установка для исследования влияния параметров лазерного импульса на разрушение неметаллических материалов. Приборы и техника эксперимента. - 2004. - №4. - С. 119-124] показано, что максимальные растягивающие напряжения, возникающие при воздействии лазерного импульса, описываемого уравнением (12), имеют значение
Если максимальные растягивающие напряжения превысят предел прочности материала на растяжение, произойдет откольное разрушение материала со стороны облучаемой поверхности. Анализ уравнения (15) показывает, что минимальная плотность энергии, приводящая к отколу материала, имеет место тогда, когда стремится к 0. Из (15), с учетом (2), найдем минимальную плотность энергии в лазерном импульсе, приводящую к разрушению материала термоупругими напряжениями
Разделив (16) на (11) и поставив условие WT/Wf ≥ 1, после несложных математических преобразований получим условие термопрочности материала при лазерном отжиге лазерным импульсом с временной формой, описываемой уравнением (12):
Проведем анализ неравенства (17). Левая часть неравенства является константой, характеризующей свойства материала и показывающей отношение предела прочности материала на разрыв к максимальным растягивающим напряжениям. Правая часть неравенства - функция безразмерного параметра f1(а), зависящая от временной формы лазерного импульса (ряд 1 на рисунке). Если неравенство выполняется, то температура отжига (плавления) материала достигается при меньшей плотности энергии, чем разрушения материала термоупругими напряжениями. В противном случае разрушение материала термоупругими напряжениями произойдет при меньшей плотности энергии, чем требуется для достижения поверхностью материала температуры отжига (плавления).
Анализ неравенства (17) показывает, что уменьшение разности (Тf - T0) приводит к увеличению левой части неравенства. Из соотношения (17) найдем значение температуры Т0, до которой необходимо нагреть материал для выполнения условия термопрочности
Формулы для критерия термопрочности и для расчета значения начальной температуры для прототипа изобретения имеют вид:
На рисунке представлено графическое решение неравенств (17) и (19) для цветного оптического стекла СЗС21 (ряд 1 и ряд 2 соответственно), для которого σ BP = 6⋅107 Па, К=4⋅1010 Па, α Т = 7,6⋅10-6 К-1, T f = 770 К, T 0 = 293 К, с = 710 Дж/(кг⋅К), ρ = 2520 кг/м3, R = 0,04, χ = 21 см-1 для длины волны лазера 1,06 мкм, с0 = 5,7·103 м/с. Левые части неравенств (17) и (19) равны 0,28 (ряд 3). Видно, что для временной формы лазерного импульса, описываемой уравнением (8) условие термопрочности выполняется при а ≥ 3, для временной формы лазерного импульса, описываемой уравнением (10) условие термопрочности выполняется при а ≥ 3,4.
Пример реализации способа. Необходимо произвести лазерный отжиг поверхности оптического цветного стекла излучением лазера на длине волны 1,06 мкм. Длительность импульса составляет 2⋅10-7 с, временная форма лазерного импульса описывается уравнением (10). Безразмерный параметр а = 2,4, ƒ 1 (2,4) = 0,38 > 0,28. Условие термопрочности (17) не выполняется. W f = 42,3 Дж/см2. W Т = 30,7 Дж/см2. Расчеты выполнены по уравнениям (11) и (16) соответственно. Лазерный отжиг невозможен, так как материал будет разрушен термоупругими напряжениями. Для предотвращения разрушения материала произведем его предварительный нагрев до температуры не менее 423 К (то есть начальную температуру материала надо увеличить на 130 К). Расчет произведен по соотношению (18). Для временной формы лазерного импульса, описываемой уравнением (8) для прототипа необходимо было бы нагреть материал до температуры 383 К. Расчет выполнен по уравнению (20). Следовательно, критерий термопрочности был бы не выполнен для временной формы, описываемой уравнением (12), и материал был бы разрушен термоупругими напряжениями в процессе отжига. Пусть материал будет нагрет до температуры 430 К. Теперь для нового значения начальной температуры Т0 = 430 К W f = 30,2 Дж/см2. Видно, что W f меньше W Т . Лазерный отжиг импульсом с временной формой, описываемой уравнением (12), возможен.
Таким образом, вышеописанные отличия заявляемого способа лазерной обработки неметаллических материалов от прототипа позволяют исключить их разрушение термоупругими напряжениями при отжиге лазерным импульсом с временной формой, описываемой уравнением (12), и повысить выход годной продукции. Если требуется произвести легирование неметаллических материалов, то в приведенные формулы для определения неразрушающего режима обработки вместо температуры отжига следует подставлять температуру плавления материала.
Claims (22)
- Способ лазерной обработки неметаллических материалов, включающий предварительный нагрев материала до определенной начальной температуры и облучение поверхности импульсом лазерного излучения с плотностью энергии, определяемой по соотношению
- где T f – температура отжига материала, K;
- T 0 – начальная температура материала после предварительного подогрева, K;
- с – удельная теплоемкость материала, Дж/(кг⋅K);
- ρ – плотность материала, кг/м3;
- χ – показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения, м-1;
- R – коэффициент отражения материала на длине волны лазерного излучения,
- отличающийся тем, что для лазерного импульса, описываемого по уравнению
- где: q(t) – плотность мощности лазерного излучения, Вт/см2;
- q m – амплитуда плотности мощности лазерного излучения, Вт/см2;
- t – текущее время от начала воздействия, с;
- τ – длительность лазерного импульса, с,
- начальную температуру материала после подогрева определяют по уравнению
- где σ BP – предел прочности материала на растяжение, Па;
- K – модуль всестороннего сжатия материала, Па;
- α Т – коэффициент линейного расширения материала, К-1;
- е – основание натурального логарифма;
- с0 – скорость звука в материале, м/с.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2020136235A RU2773255C2 (ru) | 2020-11-05 | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2020136235A RU2773255C2 (ru) | 2020-11-05 | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2020136235A3 RU2020136235A3 (ru) | 2022-05-05 |
RU2020136235A RU2020136235A (ru) | 2022-05-05 |
RU2773255C2 true RU2773255C2 (ru) | 2022-06-01 |
Family
ID=
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5567484A (en) * | 1993-11-10 | 1996-10-22 | International Business Machines Corporation | Process for texturing brittle nonmetallic surfaces |
RU2211753C2 (ru) * | 2000-12-22 | 2003-09-10 | Военная академия Ракетных войск стратегического назначения им. Петра Великого | Способ обработки неметаллических материалов |
US20150318091A1 (en) * | 2012-11-08 | 2015-11-05 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Laser processing apparatus and laser irradiation method |
RU2583870C1 (ru) * | 2015-02-25 | 2016-05-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |
RU2602402C1 (ru) * | 2015-08-14 | 2016-11-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |
RU2624989C1 (ru) * | 2016-02-09 | 2017-07-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |
RU2646177C1 (ru) * | 2017-02-03 | 2018-03-01 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
RU2695440C1 (ru) * | 2018-12-06 | 2019-07-23 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5567484A (en) * | 1993-11-10 | 1996-10-22 | International Business Machines Corporation | Process for texturing brittle nonmetallic surfaces |
RU2211753C2 (ru) * | 2000-12-22 | 2003-09-10 | Военная академия Ракетных войск стратегического назначения им. Петра Великого | Способ обработки неметаллических материалов |
US20150318091A1 (en) * | 2012-11-08 | 2015-11-05 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Laser processing apparatus and laser irradiation method |
RU2583870C1 (ru) * | 2015-02-25 | 2016-05-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |
RU2602402C1 (ru) * | 2015-08-14 | 2016-11-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |
RU2624989C1 (ru) * | 2016-02-09 | 2017-07-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |
RU2646177C1 (ru) * | 2017-02-03 | 2018-03-01 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
RU2695440C1 (ru) * | 2018-12-06 | 2019-07-23 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Hibst et al. | Effects of laser parameters on pulsed Er-YAG laser skin ablation | |
Masse et al. | Laser generation of stress waves in metal | |
RU2583870C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин | |
Banaś et al. | Laser shock‐induced mechanical and microstructural modification of welded maraging steel | |
RU2711389C1 (ru) | Способ повышения износостойкости рабочих органов из высокопрочного чугуна CO2 - лазером | |
RU2566138C2 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
RU2773255C2 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
RU2573181C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин | |
RU2633860C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
RU2646177C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
RU2695440C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
RU2630197C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических пластин | |
RU2486628C1 (ru) | Способ обработки неметаллических материалов | |
RU2692004C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
US20020172234A1 (en) | Method of processing substances by short-pulse, wavelength tunable raman laser | |
Altshuler et al. | Application of ultrashort laser pulses in dentistry | |
RU2649054C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин | |
RU2582849C1 (ru) | Способ лазерной пробивки сквозного отверстия в неметаллической пластине | |
RU2763362C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
Kawachi et al. | Observation of strong soft-x-ray amplification at 8.8 nm in the transient collisional-excitation scheme | |
RU2691923C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин | |
RU2785420C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
RU2624989C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин | |
RU2574327C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
RU2649238C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |