RU2724227C1 - Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена - Google Patents

Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена Download PDF

Info

Publication number
RU2724227C1
RU2724227C1 RU2019137030A RU2019137030A RU2724227C1 RU 2724227 C1 RU2724227 C1 RU 2724227C1 RU 2019137030 A RU2019137030 A RU 2019137030A RU 2019137030 A RU2019137030 A RU 2019137030A RU 2724227 C1 RU2724227 C1 RU 2724227C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
graphene
polymer
copper
composite
thermoacoustic
Prior art date
Application number
RU2019137030A
Other languages
English (en)
Inventor
Дмитрий Владимирович Смовж
Евгений Викторович Бойко
Илья Алексеевич Костогруд
Павел Евгеньевич Маточкин
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН)
Priority to RU2019137030A priority Critical patent/RU2724227C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2724227C1 publication Critical patent/RU2724227C1/ru

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области нанотехнологий. Изобретение относится к области использования новых материалов, таких как композиты полимер-графен, полученных методом химического осаждения из паровой фазы (ХОПФ). Изобретение может найти применение в акустике. Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена включает синтез графена методом химического осаждения из паровой фазы (ХОПФ) на каталитической подложке в смеси инертных газов при атмосферном давлении, перенос графена на полимерную поверхность и формирование электродов. Графен синтезируют на каталитической положке в смеси газов Ar/Н/CH, соотношение массового расхода компонентов которой составляет 450:100:1, графен переносят на полимерную поверхность с получением композита полимер-графен-медь методом термического прессования при температуре 110°С в течение 10 минут с усилием 0,1 кгс/см, полученный композит полимер-графен-медь с двух противоположных сторон обклеивают липкой лентой для защиты от удаления двух полос меди при последующем травлении. Липкую ленту после травления и промывки композита отклеивают, а оставшиеся на полученном композите полимер-графен две полосы меди используют в качестве электрических контактов, к которым припаивают провода. В качестве полимерной поверхности используют поверхность полимерного листа, состоящего из полиэтилентерефталата и этиленвинилацетата (ПЭТ и ЭВА). Обеспечивается создание простого и дешевого способа изготовления термоакустического излучателя, основой которого является пленка графена. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относится к области нанотехнологий. Изобретение относится к области использования новых материалов, таких, как композиты полимер-графен, полученных методом химического осаждения из паровой фазы (ХОПФ). Изобретение может найти применение в акустике.
Термоакустический эффект наблюдается на различных тонкопленочных материалах, металлических нанопленках и пленках углеродных нанотрубках (УНТ). Такие акустические излучатели, позволяют добиться генерации акустической волны с помощью электрического сигнала, который вызывает Джоулевый нагрев поверхности и, соответственно, газа, контактирующего с поверхностью. Периодические волны термического расширения газа приводят в возникновению акустической волны. К преимуществам термоакустических устройств относится - большая полоса частот, малая реверберация и искажения, более высокая точность и пространственное разрешение для измерения расстояния и трехмерного изображения, надежный отклик при импульсной работе. Термоакустические преобразователи могут найти широкое применение из-за их высокой надежности, гибкости, прозрачности, отсутствия вибрации, простоты структуры и характеристик. Это могут быть встроенные громкоговорители, зуммеры, наушники, ультразвуковое обнаружение и визуализация, и т.д. Особенно это перспективно в области мультимедиа, бытовой электроники, биологии, медицины и многих других областях. Многослойный графен, оксид индия и олова и проводящие полимеры могут быть использованы в качестве звукоизлучающих компонент [Не Tian, Tian-Ling Ren, Dan Xie, Yu-Feng Wang, Chang-Jian Zhou, Ting-Ting Feng, Di Fu, Yi Yang, Ping-Gang Peng, Li-Gang Wang, and Li-Tian Liu. Graphene-on-Paper Sound Source Devices. Ascnano VOL. 5. NO. 6. p. 4878-4885. 2011; He Tian, Dan Xie, Yi Yang, Tian-Ling Ren, Ting-Ting Feng, Yu-Feng Wang, Chang-Jian Zhou, Ping-Gang Peng, Li-Gang Wang, and Li-Tian Liu. Poly(3,4-ethylenedioxythiophene):poly(styrenesulfonate)-based organic, ultrathin, and transparent sound-emitting device. Appl. Phys. Lett. 99, 233503 (2011)]. Как следует из [He Tian, Tian-Ling Ren, Dan Xie, Yu-Feng Wang, Chang-Jian Zhou, Ting-Ting Feng, Di Fu, Yi Yang, Ping-Gang Peng, Li-Gang Wang, and Li-Tian Liu. Graphene-on-Paper Sound Source Devices. Ascnano VOL. 5. NO. 6. p.4878-4885. 2011], графен имеет максимальные характеристики в сравнении с иными материалами, что объясняется его экстремально низкой теплоемкостью, которая существенно влияет на скорость нагрева и охлаждения поверхности и, соответственно, качества термоакустического преобразователя. В работе [Не Tian, Dan Xie, Yi Yang, Tian-Ling Ren, Yu-Feng Wang, Chang-Jian Zhou, Ping-Gang Peng, Li-Gang Wangab and Li-Tian Liu. Single-layer graphene sound-emitting devices: experiments and modeling. Nanoscale. Volume 4. Number 7. April 2012. Pages 2169-2510] представлен термоакустический преобразователь на основе однослойного графена и показано, что звуковое давление, создаваемое устройством, существенно зависит от характеристик подложки (температуропроводность) в низкочастотном диапазоне (1-20 кГц) и выходит на максимальное значение в высокочастотном диапазоне (20-100000 кГц) [Hanping Ни, Tao Zhu, and Jun Хи. Model for thermoacoustic emission from Solids. Appl. Phys. Lett. 96, 214101 (2010)].
Таким образом, важными критериями при создании термоакустического устройства на основе графена являются методика производства графена (слойность) и формирование подложки, на которой лежит графен. Из представленных литературных данных [Не Tian, Tian-Ling Ren, Dan Xie, Yu-Feng Wang, Chang-Jian Zhou, Ting-Ting Feng, Di Fu, Yi Yang, Ping-Gang Peng, Li-Gang Wang, and Li-Tian Liu. Graphene-on-Paper Sound Source Devices. Ascnano VOL. 5. NO. 6. p.4878-4885. 2011; He Tian, Dan Xie, Yi Yang, Tian-Ling Ren, Ting-Ting Feng, Yu-Feng Wang, Chang-Jian Zhou, Ping-Gang Peng, Li-Gang Wang, and Li-Tian Liu. Poly(3,4-ethylenedioxythiophene): poly(styrenesulfonate)-based organic, ultrathin, and transparent sound-emitting device. Appl. Phys. Lett. 99, 233503 (2011); He Tian, Dan Xie, Yi Yang, Tian-Ling Ren, Yu-Feng Wang, Chang-Jian Zhou, Ping-Gang Peng, Li-Gang Wangab and Li-Tian Liu. Single-layer graphene sound-emitting devices: experiments and modeling. Nanoscale. Volume 4. Number 7. April 2012. Pages 2169-2510; Hanping Hu, Tao Zhu, and Jun Xu. Model for thermoacoustic emission from Solids. Appl. Phys. Lett. 96, 214101 (2010); Ji Won Suk, Karen Kirk, Yufeng Hao, Neal A. Hall, and Rodney S. Ruoff. Thermoacoustic Sound Generation from Monolayer Graphene for Transparent and Flexible Sound Sources. Adv. Mater. 2012], наиболее перспективными устройствами являются одно и двухслойный графен, полученные методом ХОПФ. Наиболее эффективными подложками являются материалы, имеющие низкую температуропроводность с наноструктурированной поверхностью, позволяющей минимизировать контактную поверхность подложка-графен.
Известен термоакустический излучатель [CN 106612486 (А), 2017-05-03, H04R 23/00; H04R 31/00] на основе графена, полученного методом ХОПФ и перенесенного на структурированную методом литографии поверхность.
К недостатком указанного излучателя относится высокая трудоемкость изготовления в части формирования подложки и переноса. Получаемое устройство не гибкое.
Известен термоакустический излучатель с улучшенным уровнем звукового давления [KR 20160070638 (А), 2016-06-20, H04R 23/00], изготавливаемый следующим образом:
1 - синтез тонкой пленки графена на подложке, включающей слой металлического катализатора, методом ХОПФ;
Слой металлического катализатора представляет собой слой из никеля (Ni), меди (Cu), железа (Fe), титана (Ti) или кобальта (Со).
2 - формирование слоя опорной решетки на графеновой пленке методом трафаретной печати;
3 - отделение подложки путем травления слоя металлического катализатора;
4 - формирование множества электродов на тонкой пленке графена.
Диапазон толщин пленки графена составлял от 0,3 до 100 нм. На примерах в указанном изобретении показано, что с ростом коэффициента открытия поддерживающего слоя опорной решетки улучшаются характеристики звукового давления.
Известно устройство, содержащее термоакустический элемент на основе графена [TW 201240486 (А) - 2012-10-01, H04R 23/00], который представляет собой графеновую пленку на подложке. Графеновую пленку получают химическим осаждением из паровой фазы. Графеновая пленка может содержать один слой графена или множество слоев графена, которые перекрывают друг друга или уложены друг на друга. Толщина графеновой пленки 0,34 нм-10 нм. Подложка структурирована. Нитевидные серебряные электроды сформированы на термоакустическом элементе способом печати, таким как трафаретная печать.
Известен способ производства термоакустического элемента на основе графена [TW 201249222 (А) - 2012-12-01, С23С 16/26; H04R 23/00; H04R 31/00], включающий следующие шаги:
1 - получение графеновой пленки методом ХОПФ на металлической подложке;
2. экспонирование пленки графена методом горячего прессования при температуре от 110 до 120°С и давлении от 5 кг до 20 кг;
3. удаление металлической подложки путем травления;
4. формирование по меньшей мере двух электродов на поверхности графеновой пленки.
В указанных аналогах используют сложное текстурирование поверхности подложки, что значительно усложняет технологию производства и удорожает получаемый продукт.
Известен способ получения композита ПЭТ/ЭВА-графен, включающий синтез однослойного или многослойного графена на медной подложке методом ХОПФ и перенос графена на термополимер ПЭТ/ЕВА [Ilya A.Kostogruda, EvgeniyV. Boykoa, DmitryV. Smovzh, The main sources of grapheme damage at transfer from copper to PET/EVA polymer. Materials Chemistry and Physics. 219 (2018). 67-73]. Как показано в статье, при переносе графена на термополимер ПЭТ/ЕВА контакт с полимером изменяется при варьировании температуры переноса за счет наличия газовых пузырей между графеновым слоем и полимером.
Таким образом, сложное текстурирование поверхности, предложенное в известных методиках, ссылки на которые приведены выше, и всех аналогах, предполагающих использование методов литографии, можно заменить на технологию переноса на термополимер при низких температурах запекания образцов, когда наличие большого числа воздушных пузырей нарушают тепловой контакт.
Задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является создание простого и дешевого способа изготовления термоакустического излучателя, основой которого является пленка графена.
Поставленную задачу решают путем создания способа, включающего следующие шаги: синтез графена методом ХОПФ на медной каталитической подложке в смеси инертных газов при атмосферном давлении; перенос графена на полимерную поверхность; удаление меди путем травления; формирование электродов.
Согласно изобретению, графен синтезируют методом химического осаждения из паровой фазы (ХОПФ) на медной каталитической подложке в смеси газов Ar:Н2:CH4, соотношение массового расхода компонентов которой составляет 450:100:1, и переносят на полимерную поверхность ПЭТ/ЭВА методом термического прессования при температуре 110°С в течение 10 минут с усилием 0,1 кгс/см2.
Согласно изобретению, удаление меди осуществляют путем травления в 40%-ом растворе азотной кислоты HNO3 в течение 10-15 минут до приобретения пленкой прозрачного состояния.
Согласно изобретению, формирование электрических контактов на поверхности меди осуществляют следующим образом, после спекания образца с полимером, полученные композиты обклеивают липкой лентой (например, изолентой, скотчем) с двух противоположных сторон таким образом, чтобы защитить от доступа кислоты полосу меди шириной порядка 3 мм. Далее после травления и промывки образца липкую ленту удаляют, а оставшиеся под лентой полосы меди шириной 3 мм используют в качестве электрических контактов, к ним припаивают провода.
Термоакустический излучатель представляет собой композит, состоящий из прозрачного полимера и слоя графена, ПЭТ-ЭВА-Графен, с узкими полосами меди с двух противоположных сторон.
Способ изготовления термоакустического излучателя.
1. Синтез графена методом химического осаждения из паровой фазы на медной каталитической подложке.
Промывка образцов
1) Промывка в ацетоне в течение 30 минут.
2) Промывка в дистиллированной воде в течение 15 минут.
3) Промывка в пропиловом спирте в течение 30 минут.
4) Промывка в дистиллированной воде в течение 15 минут.
5) Сушка в потоке инертного газа Ar течение 3 минут.
Синтез графена
На фиг. 1 показаны стадии синтеза графена в координатах T=f(t), где Т - температура, °С, t - время, мин.
Обозначения стадий процесса:
1) нагрев камеры до температуры 1070°С в протоке газов Ar+H2;
2) отжиг подложки при температуре 1070°С в протоке Н2. В процессе отжига с поверхности меди удаляется оксидный слой. Также увеличивается размер зерна меди.
3) продувка камеры смесью газов Ar+Н2;
4) синтез графена в смеси газов Ar+Н2+СН4;
Однослойный графен синтезируют при температуре - 1070°С, время синтеза - 10 минут, смесь газов - Ar (90 ст.см3/мин)+Н2 (18 ст.см3/мин)+СН4 (0,2 ст.см3/мин).
5) охлаждение образца. Охлаждение осуществляют в смеси синтеза, скорость охлаждения 500°/мин.
2. Перенос графена.
Перенос графена на полимер ПЭТ/ЭВА производят методом термического прессования. Полимер представляет собой жесткий ламинарный лист, в котором ПЭТ играет несущую роль, а ЭВА - роль связующего вещества. Толщина такого полимерного листа составляет 125 мкм. Медную подложку с синтезированным на ней графеном спекают с полимерным листом при температуре 110°С в течение 10 минут, усилие при спекании составляет 0,1 кгс/см2. Последовательность укладки при спекании - ПЭТ-ЭВА-Графен-Медь.
Удаление меди осуществляют путем травления в 40%-ом растворе азотной кислоты HNO3. Травление производят до приобретения пленкой прозрачного состояния (10-15 мин.).
3. Формирование электрических контактов.
Формирование электрических контактов на поверхности меди осуществляют следующим образом, после спекания образца с полимером, полученные композиты обклеивают липкой лентой (например, изолентой, скотчем) с двух противоположных сторон таким образом, чтобы защищать от доступа кислоты полосы меди шириной по 3 мм. Далее после травления и промывки образца липкую ленту удаляют, а оставшиеся под лентой полосы меди используют в качестве электрических контактов, к ним припаивают провода.
Испытания образцов ПЭТ-ЭВА-Графен, изготовленных заявляемым способом, проводились в геометрии, представленной на фиг. 2, где: 1 - образец композита; 2 - микрофон; 3 - генератор; 4 - усилитель; 5 - аудиоанализатор. Размер излучаемой поверхности композита составлял 1,3×20 мм. Расстояние до микрофона - 5 мм.
На фиг. 3 представлена зависимость звукового давления, дБ, от частоты, Гц.
На фиг. 4 представлена зависимость звукового давления, дБ, от мощности, Вт, подводимой к образцу.
Таким образом, акустическая система на основе графена имеет слабую частотную зависимость и может эффективно применяться в ультразвуковом диапазоне частот.

Claims (2)

1. Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена, включающий синтез графена методом химического осаждения из паровой фазы (ХОПФ) на каталитической подложке в смеси инертных газов при атмосферном давлении, перенос графена на полимерную поверхность и формирование электродов, отличающийся тем, что графен синтезируют на каталитической положке в смеси газов Ar/Н2/CH4, соотношение массового расхода компонентов которой составляет 450:100:1, графен переносят на полимерную поверхность с получением композита полимер-графен-медь методом термического прессования при температуре 110°С в течение 10 минут с усилием 0,1 кгс/см2, полученный композит полимер-графен-медь с двух противоположных сторон обклеивают липкой лентой для защиты от удаления двух полос меди при последующем травлении, липкую ленту после травления и промывки композита отклеивают, а оставшиеся на полученном композите полимер-графен две полосы меди используют в качестве электрических контактов, к которым припаивают провода.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве полимерной поверхности используют поверхность полимерного листа, состоящего из полиэтилентерефталата и этиленвинилацетата (ПЭТ и ЭВА).
RU2019137030A 2019-11-19 2019-11-19 Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена RU2724227C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019137030A RU2724227C1 (ru) 2019-11-19 2019-11-19 Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019137030A RU2724227C1 (ru) 2019-11-19 2019-11-19 Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2724227C1 true RU2724227C1 (ru) 2020-06-22

Family

ID=71135703

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019137030A RU2724227C1 (ru) 2019-11-19 2019-11-19 Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2724227C1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201249222A (en) * 2011-05-27 2012-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Method for manufacturing a thermoacoustic element
RU2485214C2 (ru) * 2008-10-24 2013-06-20 Кме Джермани Аг Унд Ко. Кг Композитное покрытие из металла и cnt и/или фуллеренов на ленточных материалах
RU2574451C2 (ru) * 2014-04-23 2016-02-10 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита "НИИграфит" Способ получения водных суспензий малослойных графенов
CN107174211A (zh) * 2017-06-05 2017-09-19 合肥赛英迪光电科技有限公司 一种新型超短脉冲微波热声医用ct机
RU2662535C1 (ru) * 2017-01-31 2018-07-26 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита "НИИграфит" Способ получения гибридного материала на основе прозрачной проводящей графеновой пленки

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2485214C2 (ru) * 2008-10-24 2013-06-20 Кме Джермани Аг Унд Ко. Кг Композитное покрытие из металла и cnt и/или фуллеренов на ленточных материалах
TW201249222A (en) * 2011-05-27 2012-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Method for manufacturing a thermoacoustic element
RU2574451C2 (ru) * 2014-04-23 2016-02-10 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита "НИИграфит" Способ получения водных суспензий малослойных графенов
RU2662535C1 (ru) * 2017-01-31 2018-07-26 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита "НИИграфит" Способ получения гибридного материала на основе прозрачной проводящей графеновой пленки
CN107174211A (zh) * 2017-06-05 2017-09-19 合肥赛英迪光电科技有限公司 一种新型超短脉冲微波热声医用ct机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5134120B2 (ja) 熱音響装置の製造方法
Xu et al. Flexible and transparent graphene-based loudspeakers
JP7176411B2 (ja) フレキシブル電極及びセンサー素子
KR102374090B1 (ko) 그래핀 산화물 기반 음향 트랜스듀서 형성 방법 및 소자
JP5296849B2 (ja) グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法
JP5578640B2 (ja) 導電性膜、導電性基板、透明導電性フィルムおよびこれらの製造方法
JP5379197B2 (ja) グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法
JP6124300B2 (ja) グラフェン積層体の製造方法及び該グラフェン積層体を用いた透明電極の製造方法
CN101990152B (zh) 热致发声装置及其制备方法
Xu et al. Graphene–silver nanowire hybrid films as electrodes for transparent and flexible loudspeakers
JP2011101354A (ja) 熱音響装置
CN102957994B (zh) 石墨烯薄膜式扬声器及其制备方法
JP5243479B2 (ja) カーボンナノチューブフィルムの製造方法及び引き出す装置
US20130266729A1 (en) Method for making strip shaped graphene layer
JP2006347878A (ja) 炭素ナノチューブの製造方法
Lee et al. Analysis of acoustical performance of Bi-layer graphene and graphene-foam-based thermoacoustic sound generating devices
JP2010116317A (ja) カーボンナノチューブ構造体
KR101645621B1 (ko) 그래핀 열음향 스피커 및 그 제조방법
JP6353262B2 (ja) 多層グラフェンの製造方法
RU2724227C1 (ru) Способ изготовления термоакустического излучателя на основе графена
CN109179388A (zh) 一种一氧化碳制备石墨烯的方法
US9774971B2 (en) Method for making thermoacoustic device
Lee et al. Acoustic performance of dual-electrode electrostatic sound generators based on CVD graphene on polyimide film
US9161135B2 (en) Thermoacoustic chip
TWI828913B (zh) 壓電薄膜

Legal Events

Date Code Title Description
QB4A Licence on use of patent

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20201118

Effective date: 20201118