KR101645621B1 - 그래핀 열음향 스피커 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 향상된 음압 레벨 특성을 갖는 그래핀 열음향 스피커 및 그 제조방법에 관한 것으로, 그래핀 박막을 소정의 개구율을 갖는 격자구조 지지층으로 지지함으로써 기판으로의 열손실을 최소화되도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 그래핀 열음향 스피커에 따르면, 그래핀 박막을 격자구조 지지층으로 지지함으로써, 인가된 교류 전압에 의해 그래핀 박막에 발생된 열이 주변 매질로 전달되는 양이 최대화되므로 종래기술에 비해 음압 레벨을 향상시킬 수 있다. 또한, 격자구조 지지층을 스크린 프린팅 방법으로 형성함으로써, 향상된 음압 레벨을 갖는 그래핀 열음향 스피커를 간단한 방법으로 제조할 수 있는 효과가 있다.

Description

그래핀 열음향 스피커 및 그 제조방법 {GRAPHENE THERMOACOUSTIC SPEAKER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 그래핀 열음향 스피커 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 음압 레벨이 향상된 그래핀 열음향 스피커 및 그 제조방법에 관한 것이다.

스피커(speaker)는 전기적 신호를 입력받아 이를 음파로 변환시켜 출력하는 장치이다. 스피커에는 그 작동원리에 따라 동전형 스피커(dynamic speaker), 정전형 스피커(electrostatic speaker), 압전형 스피커(crystal speaker) 등 여러 종류가 있으나, 이러한 스피커들은 모두 전기적 신호에 따라 진동판이 기계적으로 진동하면서 주위의 공기를 진동시킴으로써 소리를 출력하는 특징을 가지고 있다.

한편 진동판의 기계적 진동 없이 음파를 출력하는 스피커로는 열음향 스피커(thermo-acoustic speaker)가 있다. 열음향 스피커는 특정 박막에 특정 주파수의 교류 전압을 가해주게 되면 박막에서 열이 발생하고, 그 열이 주변의 매질로 전달되면서 일어나는 열적 팽창 현상을 이용한 스피커이다. 열음향 스피커에서 전기적 신호가 입력되는 특정 박막은 기계적으로 진동하지 않으며, 단지 교류 전압 인가에 따라 열을 발생시켜 그 열에 의해 주변 매질(예를 들어, 공기)에 압력 변동이 야기되어 결국 외부로 음파를 출력하는 효과가 발생하게 된다.

열음향 스피커는 인가된 교류 전압에 의해 발생한 열이 주위 공기로 전달되어야 하므로, 열음향 스피커를 구성하는 박막은 단위 면적당 열용량(heat capacity per unit area)이 작은 것이 바람직하다. 따라서 그 소재로 얇은 알루미늄 등의 금속박막이나 탄소나노튜브 등이 연구되어 왔으며, 최근에는 그래핀(grapheme)을 활용한 열음향 스피커도 연구되고 있다. 그래핀은 탄소 원자의 평면 결합으로 이루어지는 2차원 박막으로, 높은 전자이동도, 탁월한 기계적 강도 및 투명성 등 다양한 장점을 가지고 있을 뿐만 아니라, 특히 매우 작은 단위 면적당 열용량을 가지고 있어 열음향 스피커에의 활용 가능성을 인정받고 있다.

한편 그래핀은 매우 얇은 막이므로 열음향 스피커에 활용할 경우 넓은 면적에서 그래핀을 지지하기 위한 기판이 요구된다. 즉 종래의 그래핀을 사용한 열음향 스피커는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET; polyethylene terephthalate), 종이, 알루미늄 양극 산화물(anodic aluminum oxide) 등의 기판 위에 그래핀 막을 전사시켜 제조하는 것이 일반적이다. 그러나 이러한 열음향 스피커 구조에서는 기판으로의 열손실로 인해 그래핀으로부터 주위 매질로의 열전달 정도가 현저히 낮아지며, 이로 인해 열음향 스피커의 음압 레벨이 낮다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 기판의 영향이 최소화되어 음압 레벨이 향상된 그래핀 열음향 스피커를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 기판의 영향이 최소화되어 음압 레벨이 향상된 그래핀 열음향 스피커를 간단한 방법으로 제조할 수 있는 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 열음향 스피커는, 그래핀 박막 및 상기 그래핀 박막을 지지하는 격자구조 지지층을 포함하는 음파 발생부, 상기 음파 발생부를 지지하는 프레임, 상기 그래핀 박막에 전기적 신호를 인가하기 위한 제1 전극 및 제2 전극을 포함하고, 상기 격자구조 지지층은 격자틀 및 상기 격자틀 사이의 개구홀로 이루어져 상기 개구홀의 상대적인 크기에 따라 일정 값 이상의 개구율을 갖는 것을 특징으로 한다. 이때 상기 개구율은 50% 이상일 수 있다.

음파 발생부를 지지하는 상기 프레임은 중앙에 개구부가 형성되어 상기 음파 발생부의 가장자리를 지지하는 형태일 수 있다.

또한, 상기 그래핀 박막은 복수의 탄소 원자층으로 이루어진 것일 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따른 그래핀 열음향 스피커 제조방법은, 희생기판에 그래핀 박막을 형성하는 단계, 상기 그래핀 박막 위에 격자구조 지지층을 형성하는 단계, 상기 그래핀 박막 및 격자구조 지지층으로 이루어지는 음파 발생부를 지지하기 위한 프레임을 부착하는 단계 및 상기 희생기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 희생기판은 금속촉매층을 포함할 수 있으며, 이때 상기 그래핀 박막을 형성하는 단계는 상기 금속촉매층 상에 화학기상증착법으로 그래핀 박막을 성장시키는 단계를 포함할 수 있으고, 상기 희생기판을 분리하는 단계는 상기 금속촉매층을 식각하는 단계를 포함하는 것일 수 있다. 또한, 상기 금속촉매층은 니켈(Ni), 구리(Cu), 철(Fe), 티타늄(Ti) 또는 코발트(Co) 중 어느 하나의 금속층일 수 있다.

상기 격자구조 지지층을 형성하는 단계는, 상기 그래핀 박막 위에 격자무늬의 개구 부분을 갖는 스크린 마스크를 배치한 후 스크린 프린팅 방법으로 형성하는 것일 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 그래핀 열음향 스피커 제조방법은 상기 그래핀 박막에 전기적 신호를 인가하기 위한 복수의 전극을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 그래핀 열음향 스피커에 의하면, 그래핀 박막을 격자구조 지지층으로 지지함으로써 기판의 영향을 최소화시켜 향상된 음압 레벨을 제공할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명에 따른 그래핀 열음향 스피커 제조방법에 의하면, 기판의 영향이 최소화되어 음압 레벨이 향상된 그래핀 열음향 스피커를 간단한 방법으로 제조할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 열음향 스피커의 개략적인 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 열음향 스피커의 개략적인 사시도이다.
도 3은 격자구조 지지층의 일부 확대 정면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 측면에 따른 그래핀 열음향 스피커 제조방법의 흐름도이다.
도 5는 실시예 및 비교예에 따라 제조된 그래핀 열음향 스피커의 음압 레벨 측정 결과이다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 한정되거나 제한되는 것은 아니다. 본 발명의 다양한 실시예들을 설명함에 있어, 대응되는 구성요소에 대해서는 동일한 명칭 및 동일한 참조부호를 부여하여 설명하도록 한다.

도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 열음향 스피커의 개략적인 단면도 및 사시도이다. 도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 그래핀 열음향 스피커(100)는, 그래핀 박막(210) 및 그래핀 박막(210)을 지지하는 격자구조 지지층(220)을 포함하는 음파 발생부(200), 음파 발생부(200)를 지지하는 프레임(110), 그래핀 박막(210)에 전기적 신호를 인가하기 위한 제1 전극(140) 및 제2 전극(150)을 포함하여 구성된다. 그래핀 박막(210)은 제1 전극(140) 및 제2 전극(150) 사이에 인가되는 교류 전압에 의해 열을 발생시켜 주위 매질을 진동시키기 위한 막으로, 여기서 그래핀 박막(210)은 탄소 원자 단일층으로 이루어지는 그래핀 단일층일 수 있으며, 탄소 원자 복수층으로 이루어지는 박막 또는 복수의 그래핀이 겹쳐져 형성된 막일 수도 있다. 즉 본 발명에서 그래핀 박막(210)이라는 용어는 탄소 원자 단일층만으로 한정해석 되는 것은 아니며, 그 두께 범위는 0.3 내지 100nm 범위일 수 있다.

격자구조 지지층(220)은 그래핀 박막(210)을 지지하는 구성으로, 그래핀 박막(210)의 열손실을 최소화할 수 있도록 격자 무늬를 갖는 것을 특징으로 한다. 도 3은 격자구조 지지층(220)의 일부를 확대한 정면도로서, 도 3에 예시한 바와 같이 격자구조 지지층(220)은 격자틀(221) 및 격자틀(221) 사이의 개구홀(222)로 이루어지며, 개구홀(222)의 상대적인 크기에 따라 전체적인 개구율이 결정된다. 개구율이 클수록 그래핀 박막(210)과의 접촉 면적이 작아지므로, 높은 음압 레벨을 위해서는 개구율은 50% 이상, 바람직하게는 60% 이상, 더욱 바람직하게는 80% 이상일 수 있다. 격자구조 지지층(220)의 격자 무늬는 사각형, 삼각형, 육각형 등 다양한 무늬로 형성될 수 있으며, 본 발명은 격자 무늬를 특정 무늬로 한정하는 것은 아니다.

격자구조 지지층(220)은 폴리이미드(polyimide), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리카보네이트(polycarbonate) 등의 고분자, 또는 산화알루미늄(Al₂O₃), 산화실리콘(SiO₂) 등의 무기물, 그 외에 실리콘, 유리, 플라스틱, 금속, 직물, 종이, 목재류 등 다양한 재료로 구성될 수 있다.

프레임(110)은 음파 발생부(200)를 지지하기 위한 구성으로, 도 1 및 도 2에 도시된 것처럼 격자구조 지지층(220) 측에서 음파 발생부(200)를 지지할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 도 1과 같이 프레임(110)은 중앙에 개구부(111)가 형성되어 음파 발생부(200)의 가장자리를 지지하는 형태로 형성할 수 있다. 프레임(110) 재질은 음파 발생부(200)를 안정적으로 지지할 수 있는 재질이면 특별히 한정되지 않으며, 아크릴, 폴리카보네이트 등이 사용될 수 있다.

제1 전극(140) 및 제2 전극(150)은 적어도 일부분이 그래핀 박막(210)에 접하도록 형성되며, 외부의 전기신호 발생부(미도시)에 연결되어 그래핀 박막(210)에 교류 전압을 인가하기 위한 구성이다. 그래핀 박막의 전체 면적으로 전류가 충분히 흐를 수 있도록 도 2에 도시한 것처럼 제1 전극(140)과 제2 전극(150)은 서로 대향하는 변을 각각 덮도록 형성하는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성의 본 발명에 따른 그래핀 열음향 스피커(100)는, 외부의 전기신호 발생부로부터 제1 전극(140) 및 제2 전극(150)에 교류 전압이 인가되면 그래핀 박막(210)에 열이 발생하고, 그 낮은 단위 면적당 열용량 특성으로 인해 주위로 열을 방출하며, 이러한 열이 주위의 매질, 예를 들어 공기로 전달되면서 공기의 진동이 발생함으로써 음파가 발생된다. 이때 그래핀 박막(210)은 높은 개구율을 갖는 격자구조 지지층(220)으로 지지되므로, 격자구조 지지층(220)으로의 열손실은 최소화되며, 그로 인해 음압 레벨이 향상되는 효과가 있다.

이하 본 발명의 다른 측면에 따른 그래핀 열음향 스피커 제조방법을 설명한다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 그래핀 열음향 스피커 제조방법은, 희생기판에 그래핀 박막을 형성하는 단계(S410), 격자구조 지지층을 형성하는 단계(S420), 프레임을 부착하는 단계(S430) 및 희생기판을 분리하는 단계(S440)을 포함할 수 있다.

S410 단계는 나중에 분리되거나 제거될 희생기판에 그래핀 박막(210)을 형성하는 단계로, 희생기판은 그래핀 박막(210)을 지지하면서 그래핀 박막(210)의 상부에 격자구조 지지층(220)을 형성하기 위해 임시로 요구되는 구성이다. 그래핀 박막은 별도로 형성되어 희생기판 위에 전사될 수도 있으나, 희생기판 상에 화학기상증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition) 또는 플라즈마 화학기상증착법(PECVD; Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등의 방법으로 성장시킬 수도 있다. 또한 일정 두께의 그래핀 박막을 화학기상증착법으로 형성하고 그 위에 별도로 형성된 그래핀 박막을 전사하여 더 두꺼운 그래핀 박막을 형성할 수도 있다.

그래핀 박막이 화학기상증착법으로 성장되기 위해서는 희생기판 표면에 일정 이상의 탄소 용해도를 갖는 금속촉매층이 형성되어 있거나, 희생기판 자체가 금속촉매층이어야 한다. 희생기판 상에 그래핀 박막이 성장되는 경우에, 희생기판은 니켈(Ni), 구리(Cu), 코발트(Co), 티타늄(Ti), 은(Ag) 등의 금속 포일, 또는 니켈(Ni), 구리(Cu), 코발트(Co), 티타늄(Ti), 은(Ag) 등의 금속막이 실리콘 산화막 위에 형성된 기판일 수 있다. 그래핀 박막은 상압의 탄화수소 분위기에서 금속촉매층이 형성된 희생기판을 고온으로 가열함으로써 형성될 수 있다. 고온으로 가열된 금속촉매층에 의해 탄화수소 가스는 분해되고, 분해된 탄소는 금속촉매층 내에 용해된다. 이후 희생기판을 냉각시키면 금속촉매층 내에 과포화된 탄소 원자가 금속촉매층 표면으로 석출되어 그래핀 박막이 형성될 수 있다. 금속촉매층의 탄소 용해도가 충분하다면 이러한 방법으로 단일층 이상의 탄소층으로 이루어진 그래핀 박막을 형성할 수 있다.

그래핀 박막(210)을 형성한 후에는 그래핀 박막(210) 위에 격자구조 지지층(220)을 형성한다(S420). 격자구조 지지층(220)은 다양한 방법으로 형성할 수 있으나, 스크린 프린팅(screen printing) 방법을 사용하면 간단하게 형성할 수 있다. 스크린 프린팅 방법은 일정 패턴으로 개구된 부분을 갖는 스크린 마스크를 기판 위에 올려놓은 상태에서, 스크린 마스크 위에서 증착하고자 하는 물질의 페이스트를 스프레이하거나 누름 수단으로 누르는 등의 방법으로 페이스트가 스크린 마스크의 개구 부분을 통과해 기판에 인쇄되도록 하는 방법이다. 도 3과 같은 형태의 격자구조 지지층(220)을 형성하기 위해, 스크린 마스크는 격자틀(221)에 대응되는 부분만 페이스트가 통과할 수 있는 정도의 메쉬 크기로 개구되어 있을 수 있다.

페이스트로는 점도 1 poise 이상의 액상 물질이 사용될 수 있다. 예를 들어 격자구조 지지층(220)을 폴리이미드로 형성하고자 하는 경우, 페이스트로는 점도 1 poise 이상의 액상 폴리이미드를 사용할 수 있다. 그래핀 박막(210) 위에 스크린 마스크를 올려놓은 상태에서 액상 페이스트를 스크린 프린팅한 후에는 열처리를 진행함으로써 페이스트를 건조시키고 단단한 고체상의 격자구조 지지층(220)을 형성할 수 있다. 페이스트로는 액상의 폴리이미드 뿐만 아니라, 액상의 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리카보네이트(polycarbonate) 등의 고분자, 또는 용제(solvent)와 혼합된 산화알루미늄(Al₂O₃), 산화실리콘(SiO₂) 등의 무기물 페이스트 등 다양한 재료가 사용될 수 있다.

격자구조 지지층(220) 형성 후에는 그래핀 박막(210) 및 격자구조 지지층(220)으로 구성된 음파 발생부(200)가 희생기판 제거 후에도 지지될 수 있도록 프레임(110)을 부착하는 단계(S430)를 진행할 수 있다. 그래핀 박막(210)의 하부에는 희생기판이, 상부에는 격자구조 지지층(220)이 형성되어 있으므로, 프레임(110)은 격자구조 지지층(220) 위에 부착될 수 있다. 프레임(110)은 도 1 및 도 2에 도시된 것처럼 음파 발생부(200)를 가장자리 부분에서만 지지할 수 있도록 중앙 부분에 개구부(111)가 형성된 형태일 수 있다. 프레임(110)을 음파 발생부(200)에 부착하는 방법은 다양한 방법을 사용할 수 있으며, 예를 들어 접착물질을 사용하여 부착할 수 있다.

프레임 부착 후에는 그래핀 박막(210) 하부의 희생기판을 분리하는 단계(S440)를 진행한다. 희생기판 분리단계(S440)는 사용된 희생기판의 종류에 따라 다를 수 있는데, 예를 들어 금속 포일이 희생기판으로 사용된 경우에는 금속 포일을 식각할 수 있는 식각 용액 속에서 금속 포일이 모두 제거될 때까지 담궈 둘 수 있다. 또한 실리콘 기판에 실리콘 산화막 및 금속촉매층을 순차적으로 형성한 기판을 희생기판으로 사용한 경우에는, 우선 불산(HF) 용액 등에서 실리콘 산화막을 식각하여 금속촉매층과 실리콘 기판을 분리한 후, 금속촉매층을 식각할 수 있는 식각 용액 속에서 금속촉매층을 식각하는 방법으로 희생기판을 분리할 수도 있다.

도 4에는 도시하지 않았으나, 희생기판 분리 후에는 그래핀 박막에 교류 전압을 인가하기 위한 제1 전극(140) 및 제2 전극(150)을 형성하는 단계를 진행할 수 있다. 제1, 2 전극(140, 150)은 도 1 및 도 2에 도시된 것처럼 음파 발생부(200)와 프레임(110)에 걸치도록 형성될 수 있으며, 은(Ag) 페이스트 등 도전성 물질을 도포하는 방법으로 형성될 수 있다.

이와 같은 단계들을 진행함으로써 도 1 및 도 2와 같은 구조의 본 발명에 따른 그래핀 열음향 스피커(100)를 제조할 수 있다. 특히 스크린 프린팅 방법을 사용하면 그래핀 박막(210)을 지지하는 격자구조 지지층(220)을 간단한 방법으로 형성할 수 있고, 스크린 마스크의 설계에 따라 격자구조 지지층(220)의 개구율을 손쉽게 조절할 수 있다는 장점이 있다.

이하 본 발명에 따라 그래핀 열음향 스피커의 특성을 실시예 및 비교예를 참조하여 구체적으로 설명한다.

1. 실시예

실리콘 산화막이 형성된 실리콘 기판을 희생기판으로 사용하였으며, 실리콘 산화막 위에 니켈(Ni) 금속촉매층을 스퍼터링법으로 900nm 증착하였다. 니켈 금속촉매층이 증착된 희생기판 위에 플라즈마 화학기상증착법을 이용해 그래핀 박막을 형성하였다. 구체적으로는, 50mTorr 정도의 낮은 압력이 유지되는 챔버 내에 희생기판을 배치하고 940℃에서 7분 동안 에타인(ethyne, C₂H₂) 및 아르곤(Ar) 플라즈마 분위기에서 가열시켜 준 후에, 빠르게 냉각시키는 방법으로 30nm 두께의 그래핀 박막을 형성하였다.

희생기판 위에 형성된 그래핀 박막 위에 정사각형 모양의 격자무늬가 형성된 스크린 마스크를 배치하고 스크린 프린팅 방법으로 격자구조 지지층을 형성하였다. 페이스트로는 액상의 폴리이미드를 사용하였으며, 프린팅 후 열처리하여 고상의 폴리이미드로 이루어진 격자구조 지지층을 형성하였다. 열처리는 180℃, 10분의 1차 열처리 후 300℃, 2시간의 2차 열처리 과정을 진행하였으며, 열처리 분위기는 질소 분위기였다. 스크린 마스크의 개구된 부분의 면적을 조절함으로써, 개구율이 64% 및 81%인 두 종류의 격자구조 지지층을 형성하였다.

프레임으로는 중앙부에 가로 1.7cm, 세로 1.7cm의 정사각형 개구부가 형성된 가로 2.7cm, 세로 2.7cm, 높이 2mm의 정사각형 모양 폴리카보네이트 프레임을 준비하였다. 정사각형 개구부 위에 음파 발생부가 위치하도록 프레임을 격자구조 지지층에 부착하였다.

프레임 부착 후 니켈(Ni) 식각 용액인 1몰 농도의 염화철(FeCl₃) 용액 중에서 24시간 동안 식각을 진행하여 희생기판을 분리하였다. 희생기판이 분리된 그래핀 열음향 스피커는 식각 용액에서 건져 증류수 및 이소프로필알콜(IPA)에서 세척하였다.

2. 비교예

격자구조 지지층 대신 개구율이 0%인 폴리이미드 기판을 사용하였다는 점을 제외하면 실시예와 동일한 방식으로 그래핀 열음향 스피커를 제조하였다. 개구율이 0%인 폴리이미드 기판은 특정 패턴이 형성되어 있지 않고 전체가 개구 부분인 스크린 마스크를 그래핀 박막 위에 배치한 후 스크린 프린팅 방법으로 형성하였다.

3. 음압 레벨 측정 결과

도 5는 실시예 및 비교예에 따라 제조된 그래핀 열음향 스피커의 음압 레벨 측정 결과로서, 개구율이 0%인 비교예에 비해 격자무늬 지지층을 사용한 본 발명의 실시예에 따른 그래핀 열음향 스피커의 음압 레벨이 모든 주파수 범위에서 향상되었음이 확인되었다. 또한, 개구율이 64%인 경우에 비해 개구율이 81%인 경우의 음압 레벨이 더 크게 나타났으며, 이로부터 격자무늬 지지층의 개구율이 더 높을수록 음압 특성이 더 우수함을 확인할 수 있었다.

이상 한정된 실시예 및 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 변형 실시가 가능하다는 점은 통상의 기술자에게 자명할 것이다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 특허청구범위의 기재 및 그 균등 범위에 의해 정해져야 한다.

100: 그래핀 열음향 스피커
110: 프레임
140, 150: 전극
200: 음파 발생부
210: 그래핀 박막
220: 격자구조 지지층
221: 격자틀
222: 개구홀

Claims (10)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 희생기판 위에 그래핀 박막을 형성하는 단계;
   상기 그래핀 박막 위에 격자구조 지지층을 형성하는 단계;
   상기 그래핀 박막 및 격자구조 지지층으로 이루어지는 음파 발생부를 형성한 후, 상기 음파 발생부의 위에 상기 음파 발생부를 지지하기 위한 프레임을 부착하는 단계; 및
   상기 희생기판의 전부를 분리하는 단계;
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 열음향 스피커 제조방법.
6. 제5항에 있어서,
   상기 희생기판은 금속촉매층을 포함하고,
   상기 그래핀 박막을 형성하는 단계는 상기 금속촉매층 상에 화학기상증착법으로 그래핀 박막을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 열음향 스피커 제조방법.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 금속촉매층은 니켈(Ni), 구리(Cu), 철(Fe), 티타늄(Ti) 또는 코발트(Co) 중 어느 하나의 금속층인 것을 특징으로 하는 그래핀 열음향 스피커 제조방법.
8. 제5항에 있어서,
   상기 격자구조 지지층을 형성하는 단계는, 상기 그래핀 박막 위에 격자무늬의 개구 부분을 갖는 스크린 마스크를 배치한 후 스크린 프린팅 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 그래핀 열음향 스피커 제조방법.
9. 제6항에 있어서,
   상기 희생기판을 분리하는 단계는 상기 금속촉매층을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 열음향 스피커 제조방법.
10. 제5항에 있어서,
    상기 그래핀 박막에 전기적 신호를 인가하기 위한 복수의 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 열음향 스피커 제조방법.

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